1.一种多目标晶圆测试方法,其特征在于,包括步骤:
定义多目标晶圆上组的坐标为(x,y),其中,x和y均为整数;
定义每个组内管芯的坐标为(x.i,y.j),其中,i和j均为整数;
在探针台中设置每个管芯的坐标以及每个管芯在每个组中的实际距离;
使用探针台通过一次测试将所有组内的管芯均记录在同一张测试图上。
2.如权利要求1所述的多目标晶圆测试方法,其特征在于,所述探针台在每个组的管芯之间的实际运行距离根据每个管芯在每个组中的实际距离进行设置。
3.如权利要求1所述的多目标晶圆测试方法,其特征在于,所述组内的管芯至少包括一种类型。
4.如权利要求1所述的多目标晶圆测试方法,其特征在于,所述组内的管芯之间的间距相同或不同。
5.如权利要求1所述的多目标晶圆测试方法,其特征在于,所述组内的管芯坐标系与所述多目标晶圆上组的坐标系相同。