与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置及其使用方法与流程

本发明涉及用纳米压痕仪研究非晶合金材料结构演化与相关力学行为的技术，具体涉及一种与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置及其使用方法。

背景技术：

非晶合金具有高弹、高强度等独特的力学性能，兼具软磁、耐腐蚀等功能性，是一类应用前景广阔的新材料。非晶合金同时是研究非晶态材料变形机理的一种理想的模型材料，因而非晶合金变形的材料结构机制一直是人们的研究重点和热点。非晶合金具有超过2％的名义弹性区段，研究表明，在名义弹性区段内，非晶合金表现出黏弹性、滞弹性、弹性流变屈服等许多独特的力学性质，在该区段内探索非晶合金结构和形变机理尤为重要。研究者们基于实验和计算模拟，提出流变单元模型来理解和解释非晶态物质的物理和力学问题。该模型认为，在非晶合金中存在一些纳米尺度的类似于液体的区域。和周围区域相比，类液体区域表现出较低的原子堆积密度、较低硬度和模量、较高的能态以及容易剪切变形和流动等特性。非晶态材料中的流动单元类似晶态材料中的缺陷，其浓度、尺寸和能量的分布决定非晶合金的力学等性能，老化及其他特性，通过调控非晶合金中的流动单元，可以有效地提高和改进非晶合金的力学等性能。尽管基于流变的弹性单元模型和内耗方法、应力弛豫方法可以表征流变单元激活能和大小及分布，然而，这些模型还不能被直接的实验验证。因为单纯的传统实验方法一般通过材料对所施加荷载的力学响应来分析材料的形变机理，这类方法很难探测到非晶合金变形过程中，特别是在名义弹性区段内的微观局域流动行为，同时缺乏相应的变形过程中结构细节随荷载和时间的演化信息，且由于使用夹具夹持样品，材料的初始的零应变状态很难精确控制，从而难以精确获取变形过程中材料的变形量和应变值，而外力作用下变形过程中的材料结构的演化信息是研究材料形变机理和微观机制的关键。同时，由于受到仪器设备尺寸、样品尺寸及样品室空间尺寸的限制，传统的力学实验设备很难与原位的结构表征实验装置联用。计算模拟虽然提供了很多重要的原子或分子尺度的变形机理，但模拟通常是基于极高的变形速率、极低的温度或极小尺度的样品等目前无法达到的极端条件，因而模拟结果无法用实验进行验证。因此，理论模型的实验验证缺失限制了非晶合金变形机理进一步的研究和科学理解。

另一方面，采用传统的宏观力学实验设备研究非晶合金这类率相关行为表现不如某些聚合物材料显著的材料的室温黏弹性行为等微纳米力学响应时，设备精度、数据采集等方面的缺陷不利于捕捉材料流变力学行为的细节。同时，宏观实验需要大量的实验样品，这在一定程度上提高了对材料制备工艺的要求，因而，实验结果的离散性由于样品制备的过程差异将很难避免。大量研究已经证实，采用纳米压痕仪研究非晶合金的微纳米力学行为是非常合适的。由于具备无损性、高精度等优点，基于纳米压痕仪的力学行为表征特别适应于尺寸受限、室温脆性、率相关性不显著的非晶合金等材料的流变力学行为研究。利用压头纳米压痕仪，人们可以捕捉到非晶合金的流变变形细节，而这些变形细节是材料微观结构的直观反映。但是，由于纳米压痕仪样品室的空间尺寸受限，且测试过程中，测试精度对样品室温度变化非常敏感，即轻微的温度扰动也会产生显著的温漂。因此，很难将传统的大尺寸力学实验设备与纳米压痕仪进行联用以探测受力过程中的微纳米力学行为演化。此外，采用纳米压痕仪进行微纳米力学行为测试，特别是低载模式下，压入深度通常在纳米级，因而对样品表面的平整度要求非常高，一般的大尺寸样品表面机械打磨等方法很难达到测试对样品表面的要求。

如果能在材料变形过程中，或在恒定应变状态下(即应力松弛过程中)，实时表征材料的微纳米力学响应，并基于相应的力学响应分析材料的结构演化信息，将是研究对过程和速率敏感的非晶态材料变形机理的重要突破。所以理想中的适用于研究非晶合金在变形过程中结构演化与相关力学行为的装置需要能够实现非晶合金可控且精度高的变形，并且能够与纳米压痕仪联用，用以研究变形过程中或应力松弛过程中非晶合金的微纳米力学行为变化，探索非晶合金的微观结构及形变机理。本发明一种与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置可以满足上述要求。

技术实现要素：

针对现有实验装置的不足，本发明的目的在于提供一种与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置及其使用方法，该装置能够研究在不同温度下、不同成分的非晶合金涂层样品在拉伸过程中、不同恒定应变拉伸状态下的微纳米力学性质变化，进而反映材料在变形过程中的结构演化信息。

根据本发明的第一个实施方案，提供一种与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置。

一种与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置，该装置包括底座、高精度涡轮式粗微调微分头、固定立柱、活动挡板、固定挡板、弹性基片、电机、电机电源。底座的一端设有固定挡板。底座的另一端设有固定立柱。高精度涡轮式粗微调微分头设置在固定立柱上，并且由伸缩杆连接件与活动挡板连接。活动挡板位于固定挡板和固定立柱之间。弹性基片被夹持于活动挡板与固定挡板之间，且不与底座接触。电机与高精度涡轮式粗微调微分头连接并驱动高精度涡轮式粗微调微分头。电机电源与电机连接(或者实现电连接)。

优选的是，该装置还包括控制系统。控制系统包括接收装置和遥控装置。控制系统连接并控制电机电源和/或电机。

在本发明中，电机通过齿轮或皮带与高精度涡轮式粗微调微分头连接。

在本发明中，高精度涡轮式粗微调微分头包括微调钮、粗调钮、粗微调切换钮和伸缩杆。伸缩杆的一端与活动挡板上的伸缩杆连接件固定连接。微调钮与粗调钮均与伸缩杆连接并控制伸缩杆的伸长或缩短。或者，微调钮与粗调钮控制伸缩杆的移动。粗微调切换钮控制电机与微调钮或粗调钮交替连接。

优选的是，粗微调切换钮位于高精度涡轮式粗微调微分头背离活动挡板一端的端部。

优选的是，该装置还包括限位螺母。其中高精度涡轮式粗微调微分头通过限位螺母固定在固定立柱上，伸缩杆穿过固定立柱和限位螺母与活动挡板上的伸缩杆连接件连接。

在本发明中，该装置长为50-150mm，优选80-120mm，更优选为90-110mm，例如106mm。宽为30-80mm，更优选40-70mm，优选为50-65mm，例如60mm。高为10-50mm，优选15-40mm，更优选为20-30mm，例如26mm。

在本发明中，高精度涡轮式粗微调微分头的位移精度达到0.5μm，应变精度达到2.5*10^-5。

根据本发明的第二个实施方案，提供一种与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置的使用方法。

一种与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置的使用方法，该方法包括以下步骤：

1)预压：通过高精度涡轮式粗微调微分头的微调钮和粗调钮对弹性基片进行预压，旋紧粗微调切换钮；

2)镀膜：在弹性基片上进行非晶合金镀膜，在弹性基片上形成厚度均匀的连续涂层样品；

3)卸载：将镀有连续涂层样品的非晶合金涂层拉伸装置放入纳米压痕仪的工作室，对弹性基片进行卸载；

4)微纳米力学行为测试：通过控制电机的转速而控制弹性基片的卸载速率，非晶合金涂层样品拉伸达到预设应变量后，电机停止转动，纳米压痕仪对非晶合金涂层样品进行微纳米力学行为测试；

5)微纳米力学行为连续测定：重新启动微型电机，重复步骤4)，连续测定不同拉伸应变状态下涂层样品的的微纳米力学行为；

6)定量测定：启动电机至预设的应力松弛初始应变值后，电机停止工作，开始记录时间，纳米压痕仪以一定的时间间隔测定非晶合金的微纳米力学行为，实现材料在应力松弛过程中力学响应变化的定量测定。

在本发明中，其中步骤1)所述的预压是通过高精度涡轮式粗微调微分头实现，高精度涡轮式粗微调微分头的微调钮和粗调钮精确控制压缩位移量至预设值，待预压弹性基片至预定值后，由粗微调切换钮固定粗调钮。

优选的是，所述的对弹性基片的预压力由高精度涡轮式粗微调微分头顶压施加，微分头顶压力可达到39.2N。

在本发明中，其中步骤3)所述的对弹性基片进行卸载的具体操作为：将非晶合金涂层拉伸装置整体放入纳米压痕仪的工作室，待温度场保持稳定后，通过遥控装置和接收装置，开启电机，带动高精度涡轮式粗微调微分头的微调钮转动，对弹性基片进行卸载。

在本发明中，其中非晶合金涂层拉伸的变形的控制由高精度涡轮式粗微调微分头的微调钮实现，位移精度达到0.5μm，应变精度达到2.5*10^-5。

在本发明中，对于在弹性基片上选定的区域进行非晶合金镀膜没有特殊要求，采用的是公知技术。弹性基片的材料可根据拉伸非晶合金的总应变需求、镀膜工艺的需要等综合选取。

在本发明中，该装置能够实现非晶合金从零应变开始的连续拉伸变形，精确控制应变，非晶合金拉伸的变形的控制由粗微调测微头的微调钮实现。

在本发明中，上述方法通过遥控装置和微型电机实现对非晶合金的拉伸变形，因而工作时能保持工作室温度稳定，样品测试区的装置高度和装置整体外形尺寸均很小，满足纳米压痕仪低载模式工作的空间要求，可以与纳米压痕仪联用，测试非晶合金在不同的拉伸变形状态、应力松弛过程中的硬度、黏弹性响应、滞弹性响应、蠕变、应力松弛等微纳米力学行为的变化。除非晶合金外，本装置和方法同样适用于弹性基片上其他可通过镀膜方法形成涂层的材料，如聚合物涂层。

在本发明中，固定挡板固定设置在底座的一端。固定立柱优选为下端固定设置在底座上、上端分开为两根立柱的装置，分开的部分用于高精度涡轮式粗微调微分头的伸缩杆穿过。

在本发明中，高精度涡轮式粗微调微分头的伸缩杆一端与高精度涡轮式粗微调微分头内部的调节装置连接，伸缩杆的另一端与活动挡板上的伸缩杆连接件连接。伸缩杆可以是自由伸缩的装置，也可以是固定长度的装置，粗微调切换钮控制电机与微调钮或粗调钮连接。微调钮和粗调钮均与伸缩杆连接，微调钮和粗调钮控制伸缩杆的伸长或缩短，或者微调钮与粗调钮控制伸缩杆的移动，从而使得伸缩杆带动活动挡板远离或靠近固定挡板，即实现调整活动挡板和固定挡板间的距离，从而控制了弹性基片的压缩或拉伸。

在本发明中，弹性基片被夹持于活动挡板与固定挡板之间，弹性基片的一端与固定挡板固定连接，弹性基片的另一端与活动挡板上的伸缩杆连接件固定连接。伸缩杆连接件为固定于活动挡板上，与伸缩杆相连，用于增强伸缩杆与活动挡板的连接。

在本发明中，电机的选择没有特殊要求，由于本发明的装置较小，一般选用微型电机。

在本发明中，控制系统包括接收装置和遥控装置，接收装置和遥控装置通过信号连接，实现隔离控制本发明的装置。

在本发明中，限位螺母的作用是将高精度涡轮式粗微调微分头固定在固定立柱上。高精度涡轮式粗微调微分头的伸缩杆可以自由移动。

在本发明中，微分头顶压力指微分头旋动微分头粗、微调钮使伸缩杆行进，在行进过程中通过压片对弹性基片产生的压力。

在本发明中，涂层样品的厚度一般为0.5μm～10μm，优选为1μm～8μm，更优选为1.5-5μm。

在本发明中，对弹性基片进行卸载，即旋动微分头微调钮使伸缩杆退回，在退回过程中卸除通过压片对弹性基片施加的压力)。一般地，卸载速率由遥控装置控制电机电源和/或电机进行控制，根据电机的转速，卸载速率可在5μm/s～120μm/s间选择。说明：微分头的微调钮旋转一圈对应的伸缩杆行进位移为5μm，实施例中电动马达的电机转速为匀速可控，转速在6转/分钟-60转/分钟(0.1转/秒-1转/秒)，故对应的卸载速率可达到0.5μm/s～5μm/s，以弹性基片20mm为例，卸载的应变速率可达2.5*10^-5s^-1～2.5*10^-4s^-1。

在本发明中，对非晶合金涂层样品拉伸的预设应变量一般可达到0～0.02。此处应变0.02是指该装置能实现的非晶合金涂层的最大拉伸应变，实际上，如果涂层厚度很小，可以实现更大的拉伸应变直至非晶合金断裂，因为本发明的目的主要是考察非晶合金弹性段内，材料变形过程中的微纳结构演化，所以，非弹性段的塑性或者破坏阶段暂时没有考虑。另0.02是大部分非晶合金弹性应变上限，超过此应变值一般会发生塑性变形或断裂，0-0.02是根据需要设定，如需要知道应变为0.01的拉伸状态下非晶合金的微纳米力学行为，则本装置的预设应变量即为0.01，这也是本装置的一个很大的特点，当在0-0.02之间选择n个应变值测定微纳米力学行为后，以应变值为横坐标，微纳米力学行为的测定值为纵坐标，即可得到非晶合金在拉伸变形过程中微纳米力学行为的演化规律。

在本发明中，纳米压痕仪对非晶合金的微纳米力学行为的时间间隔根据所需进行的微纳米力学实验可以不同，比如，做硬度、黏弹性、滞弹性实验时，时间间隔一般为卸载至涂层达到所需应变。通过实验方案设计，如0.002，0.006，0.01等。不同拉伸应变状态的时间根据电机转速，以转速为24转/分钟的电机为例[位移速率2μm/s，应变速率1*10^-4s^-1]，则该时间间隔为20s，60s，100s。测试系统温度稳定后即可进行；又比如，应力松弛过程中的实验时，先将非晶合金卸载至所需应变(通过实验方案设计，可以为0～0.02的任一应变值)，之后以一定的时间间隔测定非晶合金在恒定应变时随时间增加过程中，材料的微纳力学行为变为，如硬度、黏弹性、滞弹性等，应力松弛是指材料在恒定应变时，应力随时间而降低的现象，本装置可以定量测量松弛过程中材料微纳力学行为随时间的变化，进而间接地反映出材料在此过程中的结构演化。在松弛过程中，起始阶段纳米压痕测试的时间间隔应较小，根据纳米压痕仪的工作机制，松弛过程中每次纳米压痕工作的时间间隔可以为10s～180s。

在本发明中，压缩位移量的预设值是指弹性基片压缩预设值，根据微分头能实现的最大压力，以及弹性基片的材料及其弹性模量和截面尺寸，该值最大可达0.022。

在本发明中，纳米压痕仪的温度根据涂层样品而设定，纳米压痕仪的工作温度范围，此温度范围是根据弹性基片的软化温度或玻璃化转变温度而定，如实施例中选用了聚氨酯作为弹性基片，该材料的软化温度为一般为100℃，故本装置推荐适用的实验温度范围在室温～80℃之间。不同温度下材料在拉伸变形过程中会表现出不同的特征，也可由本装置结合纳米压痕仪的微纳米力学实验进行表征。

在本发明中，高精度涡轮式粗微调微分头的位移精度由微分头生产厂家标定，即通过微分头的微调旋钮可实现的位移控制精度。应变精度根据位移精度、弹性基片纵向长度确定，因微分头的位移精度达到0.5μm，本装置中弹性基片在实施例中的纵向长度为20mm，故应变精度达到0.5μm/20mm＝0.000025，即2.5*10^-5。

除与纳米压痕仪联用外，本装置还适用于与其他实验设备(能谱扫描仪等)联用，以观测或实测涂层材料在拉伸过程中的其他物理量变化。

与现有的拉伸装置相比，本发明所具有的有益效果为：

1、装置外形尺寸小，安装拆卸方便，能够与纳米压痕仪联用进行硬度测试和黏弹性、滞弹性等微纳米流变力学行为测试；

2、可以实现非晶合金连续拉伸变形，变形量和应变可控且精度高；

3、可保持恒定应变，实现非晶合金的应力松弛过程；

4、适用于不同种类的非晶合金材料，实验温度可控且温度场稳定；

5、所测试的样品表面平整，精度高，样品初始的零应变状态控制准确。

附图说明

图1为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置的结构示意图；

图2为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置的主视图；

图3为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置的俯视图；

图4为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置的左视图；

图5为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置的E-E剖面视图；

图6为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置实验状态的结构示意图；

图7为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置实验状态的主视图；

图8为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置实验状态的俯视图；

图9为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置实验状态的左视图；

图10为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置实验状态的F-F剖面视图；

图11为本发明与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置实验状态M部位的局部放大图。

附图标记：A：纳米压痕仪；B：非晶合金涂层拉伸装置；1：底座；2：高精度涡轮式粗微调微分头；201：微调钮；202：粗调钮；203：粗微调切换钮；204：伸缩杆；3：固定立柱；4：活动挡板；401：伸缩杆连接件；5：固定挡板；6：弹性基片；7：电机；8：电机电源；9：接收装置；10：齿轮；11：遥控装置；12：限位螺母；13：涂层样品；14：控制系统。

具体实施方式

根据本发明的第一个实施方案，提供一种与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置。

一种与纳米压痕仪A联用的非晶合金涂层拉伸装置B，该装置B包括底座1、高精度涡轮式粗微调微分头2、固定立柱3、活动挡板4、固定挡板5、弹性基片6、电机7、电机电源8。底座1的一端设有固定挡板5。底座1的另一端设有固定立柱3。高精度涡轮式粗微调微分头2设置在固定立柱3上，并且与活动挡板4上的伸缩杆连接件401连接。活动挡板4位于固定挡板5和固定立柱3之间。弹性基片6被夹持于活动挡板4与固定挡板5之间，且不与底座1接触。电机7与高精度涡轮式粗微调微分头2连接并驱动高精度涡轮式粗微调微分头2。电机电源8与电机7实现电连接。

优选的是，该装置B还包括控制系统14。控制系统14包括接收装置9和遥控装置11。控制系统14连接并控制电机电源8和/或电机7。

在本发明中，电机7通过齿轮10或皮带与高精度涡轮式粗微调微分头2连接。

在本发明中，高精度涡轮式粗微调微分头2包括微调钮201、粗调钮202、粗微调切换钮203和伸缩杆204。伸缩杆204的一端与活动挡板4上的伸缩杆连接件401固定连接。微调钮201与粗调钮202均与伸缩杆204连接并控制伸缩杆204的伸长或缩短。或者，微调钮201与粗调钮202控制伸缩杆204的移动。粗微调切换钮(203)控制电机7与微调钮201或粗调钮202交替连接。

优选的是，粗微调切换钮203位于高精度涡轮式粗微调微分头2背离活动挡板4一端的端部。

优选的是，该装置B还包括限位螺母12。其中高精度涡轮式粗微调微分头2通过限位螺母12固定在固定立柱3上，伸缩杆204穿过固定立柱3和限位螺母12与活动挡板4上的伸缩杆连接件401连接。

在本发明中，该装置B长为50-150mm，优选80-120mm，更优选为90-110mm，例如106mm。宽为30-80mm，更优选40-70mm，优选为50-65mm，例如60mm。高为10-50mm，优选15-40mm，更优选为20-30mm，例如26mm。

在本发明中，高精度涡轮式粗微调微分头2的位移精度达到0.5μm，应变精度达到2.5*10^-5。

根据本发明的第二个实施方案，提供一种与纳米压痕仪联用的非晶合金涂层拉伸装置的使用方法。

一种与纳米压痕仪A联用的非晶合金涂层拉伸装置B的使用方法，该方法包括以下步骤：

1)预压：通过高精度涡轮式粗微调微分头2的微调钮201和粗调钮202对弹性基片6进行预压；

2)镀膜：在弹性基片6上进行非晶合金镀膜，在弹性基片6上形成厚度均匀的连续涂层样品13；

3)卸载：将镀有连续涂层样品13的非晶合金涂层拉伸装置B放入纳米压痕仪A的工作室，对弹性基片6进行卸载；

4)微纳米力学行为测试：通过控制电机7的转速而控制弹性基片6的卸载速率，非晶合金涂层样品13拉伸达到预设应变量后，电机7停止转动，纳米压痕仪A对非晶合金涂层样品13进行微纳米力学行为测试；

5)微纳米力学行为连续测定：重新启动微型电机7，重复步骤4)，连续测定不同拉伸应变状态下涂层样品13的的微纳米力学行为；

6)定量测定：启动电机7至预设的应力松弛初始应变值后，电机7停止工作，开始记录时间，纳米压痕仪A以一定的时间间隔测定非晶合金的微纳米力学行为，实现材料在应力松弛过程中力学响应变化的定量测定。

在本发明中，其中步骤1)所述的预压是通过高精度涡轮式粗微调微分头2实现，高精度涡轮式粗微调微分头2的微调钮201和粗调钮202精确控制压缩位移量至预设值，待预压弹性基片6至预定值后，由粗微调切换钮203固定粗调钮202。

优选的是，所述的对弹性基片6的预压力由高精度涡轮式粗微调微分头2顶压施加，微分头顶压力可达到39.2N。。

在本发明中，其中步骤3)所述的对弹性基片6进行卸载的具体操作为：将非晶合金涂层拉伸装置B整体放入纳米压痕仪A的工作室，待温度场保持稳定后，通过遥控装置11和接收装置9，开启电机7，带动高精度涡轮式粗微调微分头2的微调钮201转动，对弹性基片6进行卸载。

在本发明中，其中非晶合金涂层拉伸的变形的控制由高精度涡轮式粗微调微分头2的微调钮201实现，位移精度达到0.5μm，应变精度达到2.5*10^-5。

实施例1

如图1，一种与纳米压痕仪A联用的非晶合金涂层拉伸装置B，该装置B包括底座1、高精度涡轮式粗微调微分头2、固定立柱3、活动挡板4、固定挡板5、弹性基片6、电机7、电机电源8。底座1的一端设有固定挡板5。底座1的另一端设有固定立柱3。高精度涡轮式粗微调微分头2设置在固定立柱3上，并且与活动挡板4上的伸缩杆连接件401连接。活动挡板4位于固定挡板5和固定立柱3之间。弹性基片6被夹持于活动挡板4与固定挡板5之间，且不与底座1接触。电机7通过齿轮10与高精度涡轮式粗微调微分头2连接并驱动高精度涡轮式粗微调微分头2。电机电源8与电机7实现电连接。

高精度涡轮式粗微调微分头2包括微调钮201、粗调钮202、粗微调切换钮203和伸缩杆204。伸缩杆204的一端与活动挡板4上的伸缩杆连接件401固定连接。微调钮201与粗调钮202均与伸缩杆204连接并控制伸缩杆204的伸长或缩短。粗微调切换钮202控制电机7与微调钮201或粗调钮202交替连接。粗微调切换钮203位于高精度涡轮式粗微调微分头2背离活动挡板4一端的端部。该装置B还包括限位螺母12。其中高精度涡轮式粗微调微分头2通过限位螺母12固定在固定立柱3上，伸缩杆204穿过固定立柱3和限位螺母12与活动挡板4上的伸缩杆连接件401连接。该装置长宽高为106mm*60mm*26mm。

实施例2

重复实施1，只是该装置B还包括控制系统14。控制系统14包括接收装置9和遥控装置11。控制系统14连接并控制电机电源8和电机7。

实施例3

重复实施2，只是电机7通过齿轮与高精度涡轮式粗微调微分头2连接。

实施例4

重复实施2，只是微调钮201与粗调钮202控制伸缩杆204的移动。

实施例5

重复实施2，底座1、固定立柱3、活动挡板4及固定挡板5为中碳钢。高精度涡轮式粗微调微分头2为日本西格玛光机公司生产的WGP-13，行程0-13mm，额定静载荷39.2N，粗调最小读数5μm，微调最小读数0.5μm。纳米压痕仪A为美国Hysitron公司的TriboIndenter微纳米综合力学测试系统低载模式纳米压痕模块。弹性基片6为聚氨酯，经测试2.5％应变范围内的室温弹性模量为17MPa，弹性基片6外形尺寸为长*宽*高＝20mm*8mm*20mm，截面内开孔尺寸为宽*高＝4mm*14mm。经计算，在高精度涡轮式粗微调微分头2的额定静荷载作用下可实现的预压应变范围为0-2.2％。

实施例6

一种与纳米压痕仪A联用的非晶合金涂层拉伸装置的使用方法，使用实施例5中的装置，通过旋动高精度涡轮式粗微调微分头2对弹性基片6进行预压，高精度涡轮式粗微调微分头2的微调钮201和粗调钮202精确控制压缩位移量至预设值0.4mm后，由粗微调切换钮203固定粗调部。在弹性基片6上选定的区域利用射频磁控溅射进行非晶合金镀膜，在弹性基片6上形成约2μm左右厚度均匀的连续涂层样品13。将装置整体放入纳米压痕仪A的工作室，待温度场保持稳定后，通过遥控装置11和接收装置9，开启微型电机7，带动高精度涡轮式粗微调微分头2的微调钮201转动，对弹性基片6进行卸载。通过精确控制微型电机7的转速而控制弹性基片6的卸载速率，非晶合金涂层拉伸达到预设应变量后，微型电机7停止转动，纳米压痕仪A进行微纳米力学行为测试。重新启动微型电机7，重复上一步操作，连续测定不定拉伸应变状态下非晶合金的微纳米力学行为。启动微型电机7至预设的应力松弛初始应变值后，微型电机7停止工作，开始记录时间，纳米压痕仪A以一定的时间间隔测定非晶合金的微纳米力学行为，实现材料在应力松弛过程中力学响应变化的定量测定。