1.一种硅片盒检测架,其特征在于,包括:
滑动支架(4),滑动支架(4)上连接有硅片模板(7),并带动硅片模板(7)上下移动;
导向柱(5),导向柱(5)插在滑动支架(4)上,并对滑动支架(4)的运动导向;
用于连接待检测硅片盒(10)的定位板(6),定位板(6)固定在导向柱(5)的末端,且定位板(6)上设有与硅片模板(7)位置相对应并用于通过硅片模板(7)的通孔(6-1),滑动支架(4)沿导向柱(5)滑动以使硅片模板(7)穿过上述通孔(6-1)并插入待检测硅片盒(10)。
2.根据权利要求1所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述硅片模板(7)的顶部连接有弹簧(9),所述滑动支架(4)上设有弹簧接口(8),硅片模板(7)通过所述弹簧(9)安装在所述滑动支架(4)的弹簧接口(8)上。
3.根据权利要求2所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述的硅片模板(7)的顶部通过一夹片块与所述弹簧(9)连接,夹片块具有与硅片模板(7)相配合的开槽,硅片模板(7)固定在上述开槽内,夹片块的顶部与弹簧(9)固定连接。
4.根据权利要求3所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述的导向柱(5)设有两个,所述滑动支架(4)的两端开有滑动通孔,导向柱(5)穿过上述滑动通孔,以便滑动支架(4)沿导向柱(5)上下移动。
5.根据权利要求4所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述硅片盒检测架还包括用于驱动滑动支架(4)上下移动的动力机构。
6.根据权利要求5所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述滑动支架(4)的上部设有把手(3)。
7.根据权利要求6所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述的导向柱(5)的顶端安装有限位板(2),限位板(2)上设有锁紧销(1)。
8.根据权利要求1至7任一项所述的硅片盒检测架,其特征在于:所述定位板(6)与待检测硅片盒(10)连接处设有用于与待检测硅片盒(10)上的定位孔相配合的定位块(6-2)。