本实用新型涉及电子特性检测技术领域，具体为一种二次电子特性参数检测装置。
背景技术：
所谓二次电子特性参数检测，就是指具有一定能量或速度的电子(或离子)轰击物体表面时，会引起电子从该物体表面发射出来，并且具备一定的能量，但是电子的特性需要检测出来，而且从电子表面散射出来的能量也会呈现一定的分布，其中包括一次电子的弹性散射电子，非弹性散射电子、真二次电子、俄歇电子等，有时还有其它复杂现象伴随二次电子发射过程，如辐射X射线，产生荧光等，但是开始阶段的研究工作进展缓慢，不利于研究电子参数，二十世纪三十年代后，由于电真空器件的发展，二次电子发射问题才逐渐引起了研究人员的注意，这是因为二次电子发射有正反两方面的影响，在某些器件中，由于二次电子发射，导致器件工作不稳定，需要对二次电子发射机理与发射材料自身特性做一个系统的研究，但是目前的检测装置对电子进行形貌分析时，其分辨率远比二次电子像低，而且散射电子能量高，以直线轨迹逸出样品表面，对于背向检测器的样品表面，因检测器无法收集到背散射电子而变成一片阴影，因此，其图象衬度很强,衬度太大会失去细节的层次，不利于分析。
技术实现要素：
针对以上问题，本实用新型提供了一种二次电子特性参数检测装置，设置有真空泵，能够推动真空室检测电子能量，并且真空装置不会导致电 子能量散失，使用检测器对电子参数进行分析，利用数据校对模块进行对于，有利于检测电子的特性，利用一次电子检测器和二次电子检测器能够对检测电子的二次特性，使其检测装置稳定，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种二次电子特性参数检测装置，包括真空泵和电子检测装置，所述真空泵的上表面固定安装有真空室和电子枪，且电子枪设置在真空室的右端，在真空室的正面还固定安装有调制电源，所述真空泵的左端固定安装有检测器，真空泵的两侧还固定安装有可编程控制器和温控电路，且可编程控制器位于温控电路的上方，在温控电路的下端设置有绝缘转轴，且绝缘转轴的一端穿过绝缘层的内部与设置在绝缘层底部的传感器固定连接；所述电子检测装置通过安装在其内侧的转动块固定连接在真空泵的右端，在电子检测装置的表面固定安装有一次电子检测器和二次电子检测器，且在一次电子检测器和二次电子检测器的上表面分别安装有一次前置放大器和二次前置放大器，在二次电子检测器的右端还设置有数据核对模块。
作为本实用新型一种优选的技术方案，所述真空室的右侧面固定安装有触摸控制屏。
作为本实用新型一种优选的技术方案，所述真空室的上表面还固定安装有电子加速器。
作为本实用新型一种优选的技术方案，所述电子检测装置的右侧还设置有热阴极。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该二次电子特性参数检 测装置，通过设置真空泵，推动真空室检测电子能量，并且真空装置不会导致电子能量散失，使用检测器对电子参数进行分析，利用数据校对模块进行对于，有利于检测电子的特性，利用一次电子检测器和二次电子检测器能够对检测电子的二次特性，使用触摸控制屏控制发射电子在电子加速器中加速，使其检测装置稳定，而且提高了分辨率，实用性强。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图中：1-真空泵；2-真空室；3-电子枪；4-调制电源；5-触摸控制屏；6-检测器；7-可编程控制器；8-温控电路；9-绝缘转轴；10-传感器；11-一次电子检测器；12-二次电子检测器；13-数据核对模块；14-一次前置放大器；15-二次前置放大器；16-电子检测装置；17-绝缘层；18-电子加速器；19-热阴极。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例：
请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种二次电子特性参数检测装置，包括真空泵1和电子检测装置16，所述真空泵1的上表面固定安装有真空室2和电子枪3，利用真空室提供真空环境，有利于排除其他因素 的干扰，且电子枪3设置在真空室2的右端，在真空室2的正面固定安装有调制电源4，使用调制电源控制电源的大小，真空室2的右侧面还固定安装有触摸控制屏5，使用触摸控制屏控制电子在电子加速器模块加速，且真空室2的上表面还固定安装有电子加速器18，所述真空泵1的左端固定安装有检测器6，真空泵1的两侧还固定安装有可编程控制器7和温控电路8，且可编程控制器7位于温控电路8的上方，将编程模块放在可编程控制器中，以便更好的控制电子发射，在温控电路8的下端设置有绝缘转轴9，且绝缘转轴9的一端穿过绝缘层17的内部与设置在绝缘层17底部的传感器10固定连接，根据传感器的特性检测电子能量参数；所述电子检测装置16的右侧还设置有热阴极19，且电子检测装置16通过安装在其内侧的转动块固定连接在真空泵1的右端，在电子检测装置16的表面固定安装有一次电子检测器11和二次电子检测器12，且在一次电子检测器11和二次电子检测器12的上表面分别安装有一次前置放大器14和二次前置放大器15，利用二次电子检测器对电子进行第二次检测，使得电子核对参数更加精确，在二次电子检测器12的右端还设置有数据核对模块13，使用检测器与数据核对模块的数据对比，检测电子的特性参数。
本实用新型的工作原理：该二次电子特性参数检测装置，通过设置真空泵，推动真空室检测电子能量，并且真空装置不会导致电子能量散失，使用检测器对电子参数进行分析，利用数据校对模块进行对于，有利于检测电子的特性，利用一次电子检测器和二次电子检测器能够对检测电子的二次特性，使用触摸控制屏控制发射电子在电子加速器中加速，使其检测装置稳定，而且提高了分辨率，实用性强。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。