1.一种二次电子特性参数检测装置，包括真空泵(1)和电子检测装置(16)，所述真空泵(1)的上表面固定安装有真空室(2)和电子枪(3)，且电子枪(3)设置在真空室(2)的右端，在真空室(2)的正面还固定安装有调制电源(4)，其特征在于：所述真空泵(1)的左端固定安装有检测器(6)，真空泵(1)的两侧还固定安装有可编程控制器(7)和温控电路(8)，且可编程控制器(7)位于温控电路(8)的上方，在温控电路(8)的下端设置有绝缘转轴(9)，且绝缘转轴(9)的一端穿过绝缘层(17)的内部与设置在绝缘层(17)底部的传感器(10)固定连接；所述电子检测装置(16)通过安装在其内侧的转动块固定连接在真空泵(1)的右端，在电子检测装置(16)的表面固定安装有一次电子检测器(11)和二次电子检测器(12)，且在一次电子检测器(11)和二次电子检测器(12)的上表面分别安装有一次前置放大器(14)和二次前置放大器(15)，在二次电子检测器(12)的右端还设置有数据核对模块(13)。
2.根据权利要求1所述的一种二次电子特性参数检测装置，其特征在于：所述真空室(2)的右侧面固定安装有触摸控制屏(5)。
3.根据权利要求1所述的一种二次电子特性参数检测装置，其特征在于：所述真空室(2)的上表面还固定安装有电子加速器(18)。
4.根据权利要求1所述的一种二次电子特性参数检测装置，其特征在于：所述电子检测装置(16)的右侧还设置有热阴极(19)。