一种MEMS惯性组合测量模块的制作方法

文档序号:11684088阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种MEMS惯性组合测量模块,其特征在于,包括通过设置在电路板平面直角处的多个固定装置(3)进行层叠固定的MEMS惯性测量单元电路板(1)和辅助信息测量单元电路板(2);

所述MEMS惯性测量单元电路板(1)包括X轴惯性处理板(11)、Y轴惯性处理板(12)和Z轴惯性处理板(13);

所述辅助信息测量单元电路板(2)和所述MEMS惯性测量单元电路板(1)之间通过接插件插座(20)与接插件插针(10)进行电路连接。

2.如权利要求1所述的MEMS惯性组合测量模块,其特征在于,所述MEMS惯性测量单元电路板(1)的一侧设置有第一凹槽,与第一凹槽垂直的另一侧设置有第二凹槽;

所述X轴惯性处理板(11)通过卡接的方式安装于第一凹槽处,所述Y轴惯性处理板(12)通过卡接的方式安装于第二凹槽处;

所述Z轴惯性处理板(13)设置在所述MEMS惯性测量单元电路板(1)平面上;

所述X轴惯性处理板(11)、Y轴惯性处理板(12)和Z轴惯性处理板(13)在三维空间X、Y、Z方向互相垂直正交。

3.如权利要求2所述的MEMS惯性组合测量模块,其特征在于,所述X轴惯性处理板(11)在相对的两侧分别设置有X轴凹槽,所述X轴凹槽与所述MEMS惯性测量单元电路板(1)的电路板具有相同宽度,宽度差小于预定误差;所述X轴凹槽垂直卡接于所述第一凹槽内;

所述X轴凹槽周围分布有焊盘,通过焊接的方式与所述MEMS惯性测量单元电路板(1)上的X轴焊盘(14)进行电路连接。

4.如权利要求2所述的MEMS惯性组合测量模块,其特征在于,所述Y轴惯性处理板(12)在相对的两侧分别设置有Y轴凹槽,所述Y轴凹槽与所述MEMS惯性测量单元电路板(1)的电路板具有相同宽度,宽度差小于预定误差;所述Y轴凹槽垂直卡接于所述第二凹槽内;

所述Y轴凹槽周围分布有焊盘,通过焊接的方式与所述MEMS惯性测量单元电路板(1)上的Y轴焊盘(15)进行电路连接。

5.如权利要求2所述的MEMS惯性组合测量模块,其特征在于,所述Z轴惯性处理板(13)通过焊接的方式与所述MEMS惯性测量单元电路板(1)上的Z轴焊盘(16)进行电路连接。

6.如权利要求2所述的MEMS惯性组合测量模块,其特征在于,所述X轴惯性处理板(11)包括X轴电路板和设置于X轴电路板上的X轴MEMS惯性传感器(111);

所述Y轴惯性处理板(12)包括Y轴电路板和设置于Y轴电路板上的Y轴MEMS惯性传感器(121);

所述Z轴惯性处理板(13)包括Z轴MEMS惯性传感器(131)。

7.如权利要求6所述的MEMS惯性组合测量模块,其特征在于,所述X轴MEMS惯性传感器(111)、Y轴MEMS惯性传感器(121)和Z轴MEMS惯性传感器(131)分别包括MEMS陀螺仪和/或MEMS加速度计。

8.如权利要求1所述的MEMS惯性组合测量模块,其特征在于,还包括设置于所述MEMS惯性测量单元电路板(1)上或者设置于所述辅助信息测量单元电路板(2)上的GNSS接收机(21)、磁力计(22)和气压计(23)中的一种或几种。

9.如权利要求2所述的MEMS惯性组合测量模块,其特征在于,所述X轴惯性处理板(11)超出所述MEMS惯性测量单元电路板(1)的顶面高度,低于层叠高度;所述Y轴惯性处理板(12)超出所述MEMS惯性测量单元电路板(1)的顶面高度,低于层叠高度。

10.如权利要求8所述的MEMS惯性组合测量模块,其特征在于,所述辅助信息测量单元电路板(2)的一侧呈L形内凹。

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