一种同面电容阵列成像传感空/满场设定方法与流程

文档序号:12592783阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种同面电容阵列成像传感空/满场设定方法,其包括以下步骤:(1)、将被测物放置于传感器极板上,测量此时被测物的电容值作为物场电容值;(2)、以传感器极板的几何中心为轴心,将被测物逆时针旋转90度,测量此时被测物的电容值作为空场电容值;(3)、继续将被测物逆时针旋转90度,测量此时被测物的电容值作为满场电容值;(4)、将空场电容值与满场电容值分别与物场电容值做差,并分别对两组差值电容进行图像重建,观察所得差值重建图像;(5)、比较两幅差值重建图像中红蓝两区域是否符合相应的旋转角度关系,确定缺陷。该方法简易了空场、满场设定过程,提高了介电场图像重建质量。

技术研发人员:张玉燕;孙东涛;温银堂;张振达;贾文涛;孙娜
受保护的技术使用者:燕山大学
文档号码:201710024565
技术研发日:2017.01.11
技术公布日:2017.06.09

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