一种基于MEMS在线式微波功率传感器结构的压力传感器的制作方法

文档序号:11103185阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于MEMS在线式微波功率传感器结构的压力传感器,该压力传感器包括感知压力的腔体薄膜(1)和设置在腔体薄膜(1)上表面的在线式微波功率传感器结构(2);其中,

在线式微波功率传感器结构(2)包括MEMS膜桥(2c)、第一终端式微波功率传感器结构(2a)、与第一终端式微波功率传感器结构(2a)沿MEMS膜桥(2c)中心线对称设置的第二终端式微波功率传感器结构(2b)、设置在腔体薄膜(1)上表面且设置在MEMS膜桥(2c)下方的总共面波导信号线(2d1)、总共面波导地线(2d2)和总共面波导地线(2d3);MEMS膜桥(2c)跨接在第一终端式微波功率传感器结构(2a)和第二终端式微波功率传感器结构(2b)之间;

第一终端式微波功率传感器结构(2a)包括第一共面波导信号线(2a1)、第一共面波导地线(2a2)、第二共面波导地线(2a3)、第一电阻(2a4)、第二电阻(2a5)和第一热电堆(2a6);第一共面波导地线(2a2)和第二共面波导地线(2a3)分别设置在第一共面波导信号线(2a1)两侧且相距一定距离;第一电阻(2a4)布置在第一共面波导信号线(2a1)和第一共面波导地线(2a2)之间,第二电阻(2a5)布置在第一共面波导信号线(2a1)和第二共面波导地线(2a3)之间,第一热电堆(2a6)设置在第一共面波导信号线(2a1)相对的位置且与其相距一定距离;

第二终端式微波功率传感器结构(2b)包括第二共面波导信号线(2b1)、第三共面波导地线(2b2)、第四共面波导地线(2b3)、第三电阻(2b4)、第四电阻(2b5)和第二热电堆(2b6);第三共面波导地线(2b2)和第四共面波导地线(2b3)分别设置在第二共面波导信号线(2b1)两侧且相距一定距离;第三电阻(2b4)布置在第二共面波导信号线(2b1)和第三共面波导地线(2b2)之间,第四电阻(2b5)布置在第二共面波导信号线(2b1)和第四共面波导地线(2b3)之间,第二热电堆(2b6)设置在第二共面波导信号线(2b1)相对的位置且与其相距一定距离;

总共面波导信号线(2d1)和MEMS膜桥(2c)构成耦合电容结构;

当压力发生变化时,造成腔体薄膜(1)发生形变,使总共面波导信号线(2d1)与MEMS膜桥(2c)之间的距离发生改变,从而使得总共面波导信号线(2d1)和MEMS膜桥(2c)构成的耦合电容发生变化。

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