1.一种单片集成的MEMS气体传感器，其特征在于，包括含有读出电路的衬底，所述衬底上依次设有碳化硅层、二氧化硅薄膜、绝缘层，所述绝缘层上设有若干个均匀分布的加热电极，所述加热电极贯穿所述碳化硅层、二氧化硅薄膜、绝缘层的连接金属与所述衬底中的读出电路电连接，所述两相邻加热电极上依次设有热敏层、气体敏感层和气敏型金属氧化物薄膜，所述热敏层与所述加热电极电连接，所述气体敏感层上的气敏型金属氧化物薄膜材质不同或相同。
2.根据权利要求1所述的一种单片集成的MEMS气体传感器，其特征在于，所述衬底、碳化硅层、二氧化硅薄膜、绝缘层、加热电极、热敏层及气体敏感层之间分别通过粘结层相连接。
3.根据权利要求1所述的一种单片集成的MEMS气体传感器，其特征在于，所述衬底上蚀刻有隔热腔。
4.根据权利要求1所述的一种单片集成的MEMS气体传感器，其特征在于，所述碳化硅层、二氧化硅薄膜、绝缘层设有垂直的通孔，所述连接金属通过所述通孔与所述衬底上的读出电路连接。
5.根据权利要求1所述的一种单片集成的MEMS气体传感器，其特征在于，所述气体敏感层材料为二氧化锡或三氧化钨。
6.根据权利要求1所述的一种单片集成的MEMS气体传感器，其特征在于，所述热敏层为硅或锗掺杂的聚乙烯薄膜或掺杂Al的聚乙烯薄膜。
7.根据权利要求1所述的一种单片集成的MEMS气体传感器，其特征在于，所述连接金属为Al、Cu或钨、TiN。
8.根据权利要求2所述的一种单片集成的MEMS气体传感器，其特征在于，所述粘结层为Cr金属薄膜或Ti/Cr合金薄膜。