基于X射线衍射仪的腐蚀产物逐层面分析装置及方法与流程

文档序号:11108159阅读:来源:国知局

技术特征:

1.基于X射线衍射仪的腐蚀产物逐层面分析装置,有一个样品台(100),其特征在于:样品台(100)底部有纵向燕尾导轨(102)和第一螺母座(101),样品台(100)与往复台(200)通过纵向燕尾导轨(102)和往复台(200)上的纵向燕尾槽(201)间隙配合连接,往复台(200)上固定有纵向驱动电动机(300),纵向驱动电动机(300)输出轴与第一锥齿轮(301)固定连接,第一锥齿轮(301)与第二锥齿轮(302)啮合,第二锥齿轮(302)与纵向滚珠丝杠(303)固定连接,纵向滚珠丝杠(303)与样品台(100)底部的第一螺母座(101)间隙配合连接,纵向驱动电动机(300)能够带动样品台(100)沿着往复台(200)上下滑动;往复台(200)通过其底部横向燕尾导轨(202)与底座(400)上的横向燕尾槽(401)间隙配合连接,底座(400)上固定有横向驱动电动机(500),该电动机输出轴与横向滚珠丝杠(501)固定连接,横向滚珠丝杠(501)穿过底座(400)底部的轴承(402),与往复台(200)底部的第二螺母座(203)间隙配合连接,横向驱动电动机(500)驱动往复台(200)沿着横向燕尾槽(401)左右滑动。

2.根据权利要求1所述的基于X射线衍射仪的腐蚀产物逐层面分析装置,其特征在于沿着样品台(100)左侧边和下侧边均有一条略高出前表面的凸台,样品台(100)后表面中心有一个第一螺母座(101),第一螺母座(101)两侧是两条平行的纵向燕尾导轨(102)。

3.根据权利要求1所述的基于X射线衍射仪的腐蚀产物逐层面分析装置,其特征在于所述两条纵向燕尾槽(201)确定的平面应当与两条横向燕尾槽(401)确定的平面垂直。

4.基于X射线衍射仪的腐蚀产物逐层面分析装置的方法,其步骤为:

(1)安装样品:在本发明装置已经固定在常规X射线衍射仪样品架基础上,将待测块体样品(700)的待测面朝外固定于样品台(100)前表面上;

(2)启动X射线衍射仪:按照常规X射线衍射仪启动方式启动设备,设定X射线衍射仪初始及终了检测角度、扫描步长、文档存储位置;

(3)检测位置初始化:调剂样品台(100)位置,使X射线发射窗口正对样品某一初始位置;

(4)测试:关闭X射线衍射仪防护门,从预设起始角度开始测试该点物相信息;

(5)移动测试位置:上一点测试结束后,样品台(100)带动样品(700)移动,使入射X射线正对样品(700)表面的下一个待测位置后停止,保证X射线发射窗口正对该待测位置,重复第(4)步骤,测定该点物相信息;

(6)继续检测:第二点测试结束后,重复第(5)步骤,依次测定样品表面所有待测位置;

(7)抛磨样品:待试样表面所有待测点测量结束后,取下样品(700),用金相砂纸等物品抛磨其被测过的表面,以去除腐蚀产物;

(8)再次安装样品:去除样品(700)表面一层材料后,按照第一步方法,将样品(700)再次固定于样品台(100)上,需保证这次固定在样品台(100)上的样品(700)位置和方向与第一次固定的完全一致;

(9)再次检测:按照第(3)步骤至第(6)步骤,完成样品第二层面所有待测位置处检测,要求该层面上每一个检测点位置应当与第一层面上对应检测点位置重合;

(10)若需要检测第三、第四等层面信息,则重复第(8)、第(9)步骤;

(11)测试结束:完成测试后,取下样品,复位并关闭设备,清理干净仪器设备;

(12)数据处理:分析每一层面上每一点上物相种类及含量,再在(X,Y,Z)三坐标系统中,分别标记出所有测试点处各物相含量。

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