一种延迟线型声表面波传感器阵列的制作方法

文档序号:11587621阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种延迟线型声表面波传感器阵列,包括:至少两个延迟线型声表面波传感器;每个延迟线型声表面波传感器包括:压电基底;叉指换能器,设置于压电基底上;反射栅组,设置于压电基底上,且位于叉指换能器的一侧;反射栅组和叉指换能器之间具有第一间距;其中,任意两个延迟线型声表面波传感器中的第一间距不相等;任意两个延迟线型声表面波传感器中的压电基底和反射栅组相同。本发明实现了并行传感(敏感),且读取速度快。具有标定简单的优点。另外,阵列中各延迟线型声表面波传感器的反射栅时延信息互相作为参考,可以有效消除空间环境的干扰,大大提高了抗干扰能力。

技术研发人员:武瑞德;黄鑫;邱浩洋;武俊安;张文全
受保护的技术使用者:雅泰歌思(上海)通讯科技有限公司
技术研发日:2017.04.10
技术公布日:2017.08.08
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