一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器与流程

【技术领域】

本发明涉及倾角传感器技术领域，特别涉及一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器。

背景技术：

倾角传感器，尤其是高精度全量程倾角传感器的重要性是不言而喻的。高档数控机床和机器人、航空航天装备、高性能医疗器械这三个领域都与传感器，尤其是高精度倾角传感器密切相关，可以说，实现高精度全量程倾角传感器是建设制造强国的重要条件之一。

谐振式mems倾角传感器作为一种高精度传感器一直受到各国研究者的青睐和重视。其一般由敏感元件、谐振元件及信号处理电路组成，传感器的敏感元件被用以感受面内重力加速度，该重力信号由谐振元件转化为频率信号，再由信号处理电路处理并反演角度值。对于谐振式倾角传感器，其测量精度受到传感器敏感元件的拓扑结构、加工工艺、驱动与检测原理以及振荡器频率稳定性等因素的影响。在绝大数情况下，微弱的重力加速度变化引起的谐振频率变化淹没在闭环振荡器的本底噪声中，从而导致无法精确的测量微重力变化。因此，近十年来各国研究者在努力提高加速度传感器标度因数的同时，也在不断探索新的方法来降低振荡器的本底噪声。

2013年，本专利申请人及其剑桥大学的合作者分别在不同拓扑结构下发现了模态耦合和非线性幅值饱和效应对于提高硅微振荡器频率稳定性的作用，同年，本专利申请人的合作者设计了通过静电力相互作用的两个微音叉梁振荡器，并首次观察到了mems中的同步现象，同时发现了同步引起振荡器频率稳定性提高、本底噪声降低的现象。

基于现有公开专利cn105737811a，本专利申请人进行了理论和实践上的优化和改进，并将同步测量原理引入倾角传感器的设计、加工和测试，构建了新一代全量程倾角传感器，该传感器能够在之前的测量精度基础上提升两个数量级，实现分辨率为10⁵度(170ng)的角度(重力加速度)测量。

技术实现要素：

为进一步提升现有技术的测量精度，本发明的目的是提供一种基于谐振器同步振荡的频率检测方法及其倾角传感器，实现平面内倾角的全量程、超高精度测量。

为达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：

一种基于同步振荡频率检测的mems全量程倾角传感器，包括用于感受重力加速度的质量块，该质量块的四周布置有放大梁、检测元件和同步元件；所述质量块将感受到的重力加速度转换为压力或拉力施加于放大梁上，该力经过放大梁传递并放大施加于检测元件，改变三个检测元件的刚度及固有频率。

所述检测元件的主体为检测谐振子，该检测谐振子的两侧分别布置有第一电容平板和第二电容平板，检测谐振子的两端分别连接放大梁和第一固定端，第一固定端上溅射有第一金属电极层；在第一电容平板的对侧设有第三电容平板，第一电容平板和第三电容平板构成第一平板电容，第三电容平板被固定于第二固定端上，第二固定端上溅射有第二金属电极层。

所述同步元件的主体为同步谐振子，两侧分别布置第四电容平板和第五电容平板，顶部和底部分别布置有第三固定端和第五固定端，第三固定端上溅射有第三金属电极层；在第四电容平板的对侧设有第六电容平板，第四电容平板和第六电容平板构成第二平板电容，第六电容平板被固定于第四固定端上，第四固定端上溅射有第二金属电极层，第五电容平板与第二电容平板相对并构成第三平板电容。

具有自动增益控制的振荡电路包括依次连接的馈通电流消除电路、放大器、带通滤波、移相电路、比较器和幅值调节电路，其中，馈通电流消除电路与第一金属电极层或第三金属电极层连接，幅值调节电路与第二金属电极层或第四金属电极层连接。

该传感器包括单晶硅基底、生长在单晶硅基底上的绝缘层，以及生长在绝缘层上的单晶硅结构层，所述质量块、放大梁、检测元件和同步元件都位于单晶硅结构层上，单晶硅基底起到支撑作用，保证单晶硅结构层悬空并可以自由振动。

所述的放大梁、检测元件和同步元件成为一个整体并呈放射状均匀分布于质量块周围。

所述的电容平板的间距为0.1μm-2μm。

所述的检测谐振子与同步谐振子的固有频率比例为1:1、1:3或1:9时，振荡器稳定性提升效果最为显著。

一种基于同步振荡频率检测的mems全量程倾角传感器的角度测量方法，质量块在受到面内重力加速度时，同时对放大梁产生压力或拉力，该力经放大梁放大并施加于检测元件上，以改变检测谐振子的固有频率，由于三个检测元件和三个同步元件被置于具有自动增益控制的振荡电路中，形成同步自激振荡，通过检测三个同步自激振荡电路的振荡频率及其变化，即可反演出整个器件所受倾角值。

通过第三平板电容的静电耦合实现两个振荡器的同步振动，以大幅降低振荡器的本底噪声，提升检测元件的频率稳定性；当第一振荡电路与第二振荡电路的自激振荡频率为1:1、1:3或1:9时，实现检测元件频率变化的同步放大，提高检测元件的检测灵敏度。

与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：本发明在设置检测元件的同时，还设置有同步元件，该同步元件与检测元件静电耦合。这样，当质量块在受到面内重力加速度时，对放大梁产生压力或拉力，该力经放大梁传递并放大施加于检测元件上，以改变检测谐振子的固有频率，由于检测谐振子和同步谐振子被置于具有自动增益控制的振荡电路中，因此形成同步自激振荡，通过检测三个同步自激振荡的振荡频率及其变化，即可计算出整个器件所受倾角值。基于硅微谐振器的振荡器频率稳定、噪音低、易于集成，依此设计的倾角传感器体积小、灵敏度高、测量范围大；基于谐振器同步振荡的频率检测方法可以实现更低的本底噪声和更高的频率稳定性，从而实现超高精度的倾角测量。

【附图说明】

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明的单晶硅结构层的俯视图。

图3为本发明的测量电路原理图。

图4为本发明的改进的测量电路原理图。

【具体实施方式】

下面结合附图对本发明进一步详细描述。

参见图1，基于同步振荡频率检测的mems全量程倾角传感器，包括单晶硅基底01，其厚度范围为400um-1000um，单晶硅基底01上生长一层二氧化硅绝缘层02，生长厚度范围为2-3um，二氧化硅绝缘层02上设有单晶硅结构层03，其厚度范围为10-25um。

参见图2，所述的单晶硅结构层03是传感器的核心部分，由质量块1、放大梁2、检测元件3和同步元件4四个模块组成。质量块1的作用是感受面内重力加速度，并将加速度转换为压力或拉力施加于放大梁2上。放大梁2、检测元件3和同步元件4构成一个整体并呈放射状均匀分布于六边形的质量块1周围，具体地说，放大梁2、检测元件3和同步元件4形成的整体布置在六边形的质量块1的边上，六边形的质量块1悬空并仅靠放大梁2支撑，放大梁2的另一端与检测元件3相连。

放大梁2包括输入梁2-1、杠杆2-2、支点2-3和输出梁2-4，输入梁2-1与六边形质量块1相连接并作为力的输入端，该力经杠杆2-2和支点2-3的放大，施加于输出梁2-4上，输出梁2-4另一端与检测谐振子3-1相连，支点2-3较细的部分悬空(支点较细的部分指支点2-3与杠杆2-2连接的部分)，起到支点的作用，较粗的部分与单晶硅基底01相接，起固定作用，即支点2-3的固定点。更具体地说，所述输入梁2-1为一对，分别与质量块6相连且位于质量块某一边的两端，所述杠杆2-2分别自输入梁朝向中间延伸而成。所述输出梁2-4也为一对，与各自相应的杠杆2-2和支点2-3连接。也就是说，杠杆2-3的一端连接输入梁2-1，另外一端连接输出梁2-4。

参见图2，检测元件3的主体为检测谐振子3-1，其两侧设有第一电容平板3-2和第二电容平板3-3，顶部设有第一固定端3-5，第一固定端3-5上溅射有第一金属电极层3-4，在第一电容平板3-2的对侧设有第三电容平板3-8，第一电容平板3-2和第三电容平板3-8构成第一平板电容，第三电容平板3-8被固定于第二固定端3-7上，第二固定端3-7上溅射有第二金属电极层3-6。

参见图2，所述同步元件4与所述检测元件3的结构类似，其主体为同步谐振子4-1，两侧设有第四电容平板4-2和第五电容平板4-3，顶部设有第三固定端4-5，第三固定端4-5上溅射有第三金属电极层4-4，在第四电容平板4-2的对侧设有第六电容平板4-8，第四电容平板4-2和第六电容平板4-8构成第二平板电容，第六电容平板4-8被固定于第四固定端4-7上，第四固定端4-7上溅射有第四金属电极层4-6，第五电容平板4-3与第二电容平板3-3相对并构成第三平板电容，同步信号由此传递，同步谐振子4-1底部设有第五固定端4-9，第五固定端4-9较细的部分起连接作用(即第五固定端4-9通过较细的梁与同步谐振子4-1连接)并悬空设置，较粗的部分与单晶硅基地01相连接，起固定作用。

参见图2，所述第一至第四固定端都为正方形，其边长范围为180μm-600μm，第五固定端呈多边形，所述金属电极板都为略小于固定端的正方形，边长范围为150μm-250μm，所述电容平板长度范围为50μm-200μm，两个对应的电容平板的间距为0.1μm-2μm。

参见图2，典型的用于倾角测量的谐振子为双端固定谐振音叉，但对于本发明，任何适用的梁式谐振器或体模态谐振器都可以被采用。

参见图3，所述谐振元件3和同步元件4分别被置于具有自动增益控制的第一振荡电路和第二振荡电路中，振荡电路包括馈通电流消除电路5-1、放大器5-2、带通滤波5-3、移相电路5-4、比较器5-5和幅值调节电路5-6，在特定的电路参数下，所述谐振元件3和同步元件4分别与振荡电路形成自激振荡，且振荡频率为谐振子的固有频率，该频率可通过频率测量装置5-7读取。

参见图4，在上述测试方法的基础上，加入锁相环(phase-lockloop，pll)。锁相环包括了鉴相器5-8(phasediscriminator，pd)，环路滤波器5-9(loopfilter，lf)和压控振荡器5-10(voltagecontrolledoscillator，vco)，其功能相当于高q值的带通滤波器，可以替代带通滤波器5-3，使得本底噪声更小，频率稳定性更高。

本发明的工作原理为：

质量块1在受到面内重力加速度时，同时对三对放大梁2产生压力或拉力，该力经放大梁2传递并放大施加于检测元件3上，改变了检测谐振子3-1的固有频率；由于三个检测谐振子和三个同步谐振器件被分别置于三个具有自动增益控制的同步振荡电路中，形成同步自激振荡，通过检测三个同步自激振荡电路的振荡频率及其变化，即可反演出整个器件所受的倾角值。

当同步元件4不工作时，六边形质量块1、放大梁2、检测元件3和第一振荡电路可以构成一个完整的倾角测试系统，但是由于硅微振荡器本身存在的噪声及由外界环境带来的漂移，其测试精度受到一定限制(参见专利cn105737811a)。当同步元件4工作时，其闭环电路内也将以同步谐振子4-1的固有频率产生自激振荡，由于同步元件4和检测元件3静电耦合，二者将形成同步自激振荡。当同步谐振子4-1与检测谐振子3-1的固有频率呈1:1、3:1或9:1时，同步效果最好，此时由检测谐振子3-1构成的振荡器频率稳定性将大大提高，由频率测量装置5-7读取的频率信号信噪比也将大大提升，从而提高了倾角传感器的测试精度。