面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构的制作方法

文档序号:11196744阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明为一种面向MEMS湍流探测的共模抑制振动补偿传感器结构,解决了平台振动对海洋湍流探测干扰极大等技术瓶颈问题。本发明包括底座、湍流传感器和补偿传感器,湍流传感器由第一中空壳体、第一传感芯片、保护罩和保护柱组成;补偿传感器由第二中空壳体、第二传感芯片和密封导流罩组成,并且第一中空壳体、第一传感芯片与第二中空壳体、第二传感芯片完全相同。本发明采用具有共模抑制的振动补偿方法,在不改动湍流传感器结构的基础上,利用补偿传感器的对照效果,实现了消除平台振动信号的目的,具有较高的准确性和可行性。

技术研发人员:王任鑫;张国军;任子明;白冰;薛晨阳
受保护的技术使用者:中北大学
技术研发日:2017.06.03
技术公布日:2017.09.29
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