技术特征：
技术总结
本发明涉及一种基于消偏振分光棱镜的同步相移干涉测量装置，属于光学干涉检测技术领域。该系统包括激光器(1)、第一透镜(2)、针孔滤波器(3)、第二透镜(4)、偏振片(5)、第一消偏振分光棱镜(6)、偏振分光棱镜(7)、参考镜(8)、测试镜(9)、1/4波片(10)、第二消偏振分光棱镜(11)、反射镜(12)、偏振相移阵列(13)、CMOS相机(14)。该装置可以实时获取两幅干涉图样，降低了对环境的要求，在操作中不需要改变光路，也不需要移动任何实验器件，操作方便灵活，稳定性高，系统复杂性低，较基于正交光栅分光的同步相移干涉装置而言，其结构简单、成本更低。
技术研发人员：于雪莲;张嘉成;宋仁康;杨德凯;吴佳哲;吴淼
受保护的技术使用者：哈尔滨理工大学
技术研发日：2017.06.30
技术公布日：2017.09.15