一种石墨烯风速风向传感器的制作方法

文档序号:13093753阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种石墨烯风速风向传感器,主要结构由氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜阵列、加热电阻、引线柱、基片、玻璃基座、封装外壳组成,检测由基片、纳米薄膜、加热电阻组成,基片下侧布置有纳米薄膜阵列,纳米薄膜由上下两层氮化硼与夹在中间的石墨烯组成,纳米薄膜阵列四周布置了恒功率控制的加热电阻,基片底部外周侧通过封装合金键合在陶瓷基板上构成密封腔体,隔绝了纳米薄膜阵列与外界的直接接触,陶瓷基板通过绝热胶固定在玻璃基座上,纳米薄膜均与电极相连,电极通过引线柱连接外部,该结构设计紧凑,易于集成,传感器可以实现对风速风向即时、准确的检测。

技术研发人员:李孟委;赵世亮;吴承根;王莉
受保护的技术使用者:中北大学
技术研发日:2017.08.14
技术公布日:2017.12.05
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