一种用于半导体器件测试的快速微接触定位工具的制作方法

文档序号:13449367阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于半导体器件测试的快速微接触定位工具,其特征在于:它包括有测试工具头(1)和基板载体(4);所述测试工具头(1)一侧表面为刀刃平面(101);所述刀刃平面(101)与基板载体(4)的上表面之间相互垂直;所述刀刃平面(101)上固定设置有凸台(2);所述凸台(2)的底表面和测试工具头(1)的底表面均为光滑平面;所述测试工具头(1)的底表面和凸台(2)的底表面均与基板载体(4)的上表面平行。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体器件测试的快速微接触定位工具,其特征在于:所述凸台(2)设置在靠近刀刃平面(101)的一侧边上;所述凸台(2)的底表面与测试工具头(1)的底表面均设置在相同的平面上。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体器件测试的快速微接触定位工具,其特征在于:所述凸台(2)的底表面为凸台底表面;所述测试工具头(1)的底表面为测试底表面;所述凸台底表面的水平高度高于测试底表面的水平高度。

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