一种光谱仪检测晶圆专用夹具的制作方法

本实用新型涉及机械制造领域，具体涉及一种船舶水下通道导流罩装置。

背景技术：

传统的光谱仪夹具通过固定在夹面的夹片与夹面配合夹紧待侧物件，该夹片通常是具有弹性的金属片便于夹紧待测物件，或者是夹片通过扭簧固定连接在夹面上；这样的夹具不利于夹紧过于大的物件，如图1所示，夹片在夹持2英寸的晶圆的时候不会产生影响，但当夹片在夹持4英寸晶圆的时候，由于左侧被夹片与夹面的连接处限制位置，便会遮挡旁边的透光孔；此外夹片在长时间使用后容易失去弹性，变得难以夹紧物品。

鉴于此本案发明人采用一种新光谱仪夹具，专门夹持晶圆。能够夹持大物件。

技术实现要素：

为解决以上问题，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种光谱仪检测晶圆专用夹具， 包括基座和竖直的夹面，还包括由上往下依次固定连接有与夹面配合夹紧晶圆的夹片、弹性支撑杆、金属活动软管、固定杆、限位座和螺丝；所述基座设有螺丝孔，所述螺丝与所述螺丝孔相配合连接。

进一步的，夹片为硅胶吸盘。

进一步的，硅胶吸盘为圆形，所述硅胶吸盘上表面呈内凹形状。

优选的，螺丝长度为5cm。

优选的，弹性支撑杆为不锈钢支撑杆。

有益效果：本实用新型通过改变夹具的结构，释放了更多的空间，可以检测更大的物件，夹片采用硅胶吸盘，具有良好的摩擦力来夹具晶圆，同时采用硅胶材料替换金属材料能保护晶圆不被划伤，此外本实用新型通过1个螺丝固定在基座上，利用基座上既有的螺丝孔进行连接，不破坏原本光谱仪的结构。

附图说明

图1本现有技术光谱仪夹具结构及其位置示意图；

图2为本实用新型光谱仪夹具结构及其位置示意图；

图3为本实用新型侧视结构示意图；

图4为本实用新型另一形态结构示意图。

附图标记如下：

1、基座；11、螺丝孔；2、夹面；3、夹片；4、弹性支撑杆；5、金属活动软管；6、固定杆；7、限位座；8、螺丝；9、透光孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明，应当理解，本实用新型的结构并不仅限于以下实施例：

如图1-4所示，一种光谱仪检测晶圆专用夹具， 包括基座1和竖直的夹面2，还包括由上往下依次固定连接有与夹面2配合夹紧晶圆的夹片3、弹性支撑杆4、金属活动软管5、固定杆6、限位座7和螺丝8；所述基座1设有螺丝孔11，所述螺丝8与所述螺丝孔11相配合连接。

安装时螺丝8对齐螺丝孔11配合连接，其中螺丝孔11到夹面2的距离应小于支撑杆与弹性杆的整体长度，保证在夹紧晶圆的时候弹性杆处于收缩状态，提供充足的夹力；安装后金属活动软管5向夹面2弯折，使夹片3与夹面2能够配合夹紧带侧物件，然后用力使弹性支撑杆4收缩，使夹面2与夹片3之间存在空隙，将晶圆放入空隙之中，弹性杆回缩，从而夹紧晶圆进行检测；采用该方案夹面2不设置任何结构，从而增大待测物件的放置空间，从而不会使大尺寸晶圆遮挡透光孔9。

进一步的，夹片3为硅胶吸盘。采用硅胶吸盘可以提供良好的接触面，相比金属圆片，硅胶吸盘具有更加良好的摩擦力来夹紧圆片，而且硅胶吸盘相对柔软，不易于对晶圆造成损伤。

进一步的，硅胶吸盘为圆形，所述硅胶吸盘上表面呈内凹形状。内凹的硅胶吸盘与圆片接触后，可以吸住圆片，进一步增大硅胶吸盘与圆片之间的摩擦力量，从而产生更好的固定效果。

优选的，螺丝8长度为5cm。该方案结构简单，连接稳定。

优选的，弹性支撑杆4为不锈钢支撑杆。采用不锈钢支撑杆可以达到有效的支撑效果。弹性支撑杆4可以是气杆或者内置弹簧的弹性杆。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本领域的技术人应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。