技术总结
本实用新型涉及一种光谱测量装置及系统。光谱测量装置包括光源产生器、输入模块、输出模块及光谱测量器;所述光源产生器用于产生测量光;所述输入模块包括拉锥光纤单元及输入光纤;所述光源产生器耦合于所述拉锥光纤单元,所述拉锥光纤单元输出准直测量光;所述输入光纤与所述拉锥光纤单元连接,用于将所述准直测量光传导至待测量样品;所述输出模块包括输出光纤,用于收集并传导经所述待测量样品反射、透射、衍射或漫射得到的光线;及所述光谱测量器与所述输出光纤连接。本实用新型提供的光谱测量装置及系统能够准确反映待测量样品薄膜表面的反射率、透射率或光能量数据,且光谱测量装置结构简单、成本低。
技术研发人员:张梦;成学平;刘爱江;刘猛;李梁
受保护的技术使用者:深圳市杰普特光电股份有限公司
技术研发日:2017.12.26
技术公布日:2018.09.04