技术特征：
技术总结
所述的检查辅助具(3)是包括：电极(34a)；探针(Pr)，具有后端部(P2)及用以接触凸块(BP)的前端部(P1)；及支撑构件(31)，其是支撑探针(Pr)；探针(Pr)是包含：具有导电性的外侧筒状体(Pa)；及具有导电性的筒状的内侧筒状体(Pb)，所述内侧筒状体(Pb)是贯穿于外侧筒状体(Pa)的筒内；在外侧筒状体(Pa)形成有外侧弹簧部(SO1、SO2)，所述外侧弹簧部(SO1、SO2)是朝轴方向伸缩并且弹推后端部(P2)；在内侧筒状体(Pb)形成有内侧弹簧部(SI1、SI2)，所述内侧弹簧部(SI1、SI2)是朝轴方向伸缩；内侧筒状体(Pb)的一端被设为前端部(P1)，前端部(P1)是从外侧筒状体(Pa)的一端突出；支撑构件(31)是以通过外侧弹簧部(SO1、SO2)的弹推力使后端部(P2)接触电极(34a)的方式保持外侧筒状体(Pa)。
技术研发人员：金井敏彦;太田宪宏;横田友佑
受保护的技术使用者：日本电产理德股份有限公司
技术研发日：2017.04.26
技术公布日：2019.02.05