技术特征:
技术总结
本发明提供了一种表面增强拉曼散射基底及制备方法和应用。所述方法包括:对硅衬底依次进行清洗和疏水性处理;在所述硅衬底上形成聚合物层;采用紫外激光干涉光刻在所述聚合物层上形成纳米方块阵列结构;采用感应耦合等离子刻蚀所述聚合物层纳米方块阵列结构,以转移形成硅纳米方块结构;镀金属活性层在所述硅纳米方块结构上,得到所述的SERS基底。本发明所使用的方法工艺简便、成本低,可以快速大面积的制备,且该SERS基底上的周期性金纳米方块结构端点处尖锐,结构尖端之间的间隙大小可控,有利于拉曼信号的增强,非常适用于大规模生产应用。
技术研发人员:杨军星;张渊;胡治朋;黄广飞
受保护的技术使用者:华南师范大学
技术研发日:2018.05.17
技术公布日:2018.11.16