检测模块、检测方法及具有该检测模块的传输装置与流程

文档序号:17382059发布日期:2019-04-12 23:55阅读:163来源:国知局
检测模块、检测方法及具有该检测模块的传输装置与流程

本发明涉及检测技术领域,尤其涉及一种检测模块、检测方法及具有该检测模块的传输装置。



背景技术:

环形高速电镀线是一种对集成电路产品实现电镀加工的设备。

参图1,环形高速电镀线包括用于承载并输送集成电路产品的钢带1,钢带1在驱动轮2的驱动下运转而携带集成电路产品经过多个工位完成电镀加工。

实际操作中,由于机械零件受到磨损、侵蚀等影响,例如传输钢带1与导向轮3、电镀电极4等周边相关零件的配合状况变差,会导致钢带1运行时在钢带1的法向x上产生位移甚至变形,无法稳定可靠运行,影响产品质量。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种检测模块、检测方法及具有该检测模块的传输装置。

为实现上述发明目的之一,本发明一实施方式提供一种检测模块,用于检测传输带的偏移,所述检测模块包括极板,所述极板与所述传输带之间形成电容,所述检测模块根据电容值的变化量获取所述传输带的偏移量。

作为本发明一实施方式的进一步改进,所述检测模块包括传感单元,所述传感单元用于获取表征所述传输带偏移量的反馈信号,所述传感单元包括位于传输带相对两侧的第一极板及第二极板,所述第一极板与所述传输带之间形成第一电容,所述第二极板与所述传输带之间形成第二电容,所述传输带朝向所述第一极板或所述第二极板的偏移量满足公式δd=(c1-c2)*k*d/c,其中,δd为所述传输带的偏移量,c1为第一电容,c2为第二电容,k为检测灵敏度,d为所述第一极板与所述第二极板之间的间距,c为所述第一极板与所述第二极板之间的电容。

作为本发明一实施方式的进一步改进,所述检测模块还包括转换单元,所述转换单元用于将所述反馈信号转换成电压信号。

作为本发明一实施方式的进一步改进,所述检测模块还包括处理单元及提示单元,所述处理单元用于比较所述反馈信号及设定值,且当所述反馈信号超过所述设定值时,所述提示单元提示异常。

为实现上述发明目的之一,本发明一实施方式提供一种检测方法,用于检测传输带的偏移,包括步骤:

获取极板与传输带之间形成的电容的电容值的变化量;

根据电容值的变化量获取所述传输带的偏移量。

作为本发明一实施方式的进一步改进,所述传输带位于相对设置的第一极板及第二极板之间,所述方法具体包括步骤:

获取传输带与第一极板之间的第一电容及传输带与第二极板之间的第二电容;

获取表征传输带偏移量的反馈信号,所述传输带朝向所述第一极板或所述第二极板的偏移量满足公式δd=(c1-c2)*k*d/c获取传输带的偏移量,其中,δd为所述传输带的偏移量,c1为第一电容,c2为第二电容,k为检测灵敏度,d为所述第一极板与所述第二极板之间的间距,c为所述第一极板与所述第二极板之间的电容。

作为本发明一实施方式的进一步改进,所述方法还包括步骤:

将反馈信号转换为电压信号;

比较所述电压信号及设定值,且当所述电压信号超过所述设定值时,提示异常。

为实现上述发明目的之一,本发明一实施方式提供一种传输装置,包括传输带及如上任意一项技术方案所述的检测模块。

作为本发明一实施方式的进一步改进,所述传输带为钢带。

作为本发明一实施方式的进一步改进,所述传输装置还包括电镀模块,所述钢带用于传输集成电路产品,所述电镀模块用于配合所述钢带电镀所述集成电路产品。

与现有技术相比,本发明的有益效果在于:本发明一实施方式的检测模块利用电容检测可以实现对传输带偏移量的实时监控,避免因传输带偏移而对产品质量造成不良影响。

附图说明

图1是现有技术中环形高速电镀线示意图;

图2是本发明一实施方式的检测模块与传输带的配合侧视图;

图3是本发明一实施方式的检测模块与传输带的配合立体图;

图4是本发明一实施方式的检测模块示意框图;

图5是本发明一实施方式的转换单元示意框图;

图6是本发明一实施方式的提示单元示意图;

图7是本发明一实施方式的检测模块示意图;

图8是本发明一实施方式的检测方法步骤图。

具体实施方式

以下将结合附图所示的具体实施方式对本发明进行详细描述。但这些实施方式并不限制本发明,本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本发明的保护范围内。

在本发明的各个图示中,为了便于图示,结构或部分的某些尺寸会相对于其它结构或部分夸大,因此,仅用于图示本发明的主题的基本结构。

另外,本文使用的例如“上”、“上方”、“下”、“下方”等表示空间相对位置的术语是出于便于说明的目的来描述如附图中所示的一个单元或特征相对于另一个单元或特征的关系。

空间相对位置的术语可以旨在包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位,例如,如果将图中的设备翻转,则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“之下”的单元将位于其他单元或特征“上方”,因此,示例性术语“下方”可以囊括上方和下方这两种方位,设备可以以其他方式被定向(旋转90度或其他朝向),并相应地解释本文使用的与空间相关的描述语。

结合图2,为本发明一实施方式的检测模块100与传输带200配合的示意图,检测模块100用于检测传输带200的偏移。

检测模块100包括极板,极板与传输带200之间形成电容,检测模块100根据电容值的变化量获取传输带200的偏移量。

本实施方式的检测模块100利用电容检测可以实现对传输带200偏移量的实时监控,避免因传输带200偏移而对产品质量造成不良影响。

在一具体示例中,结合图3及图4,检测模块100包括传感单元10,传感单元10用于获取表征传输带200偏移量的反馈信号。

传感单元10包括位于传输带200相对两侧的第一极板11及第二极板12。

第一极板11与传输带200之间形成第一电容c1,第二极板12与传输带200之间形成第二电容c2,也就是说,此时的第一极板11、第二极板12及传输带200形成差动电容组。

这里,第一极板11与第二极板12面对面设置,且第一极板11与第二极板12相互平行,第一极板11与第二极板12均固定设置而使得两者的相对位置保持不变。

传输带200为金属带,或者,传输带200的部分区域设置金属而使得传输带200与极板之间可以形成电容。

传输带200位于第一极板11与第二极板12之间,且传输带200的行进方向y平行于第一极板11/第二极板12,此时,当传输带200与周边相关零部件配合状况变差或其他因素发生时,传输带200会发生位移或变形等,即传输带200与第一极板11/第二极板12之间的距离会发生变化,进而会导致第一电容c1、第二电容c2的电容值发生变化。

在本实施方式中,传输带200朝向第一极板11或第二极板12的偏移量满足公式δd=(c1-c2)*k*d/c,其中,δd为传输带200的偏移量,c1为第一电容,c2为第二电容,k为检测灵敏度,d为第一极板11与第二极板12之间的间距,c为第一极板11与第二极板12之间的电容。

需要说明的是,检测灵敏度k与极板(11、12)与传输带200之间的间距、极板、传输带材质等因素有关,也就是说,检测灵敏度k对应传感单元10的检测误差,δd≈(c1-c2)*d/c。

较佳的,传输带200居中设置于第一极板11及第二极板12之间,即当传输带200不发生位移或变形时,传输带200与第一极板11之间的第一距离等于传输带200与第二极板12之间的第二距离,第一电容c1等于第二电容c2,当传输带200发生位移或变形时,第一距离及第二距离的其中之一变小,其中另一变大,此时,第一电容c1及第二电容c2的其中之一变大,其中另一变小,传输带200的偏移量δd也会随之发生变化。

这里,可以实时监控第一电容c1及第二电容c2的电容值,便可根据电容值的变化量实时获取传输带200的偏移量δd。

在本实施方式中,检测模块100还包括转换单元20、处理单元30及提示单元40。

转换单元20用于将反馈信号转换成电压信号。

处理单元30用于比较电压信号(即反馈信号)及设定值,且当电压信号超过设定值时,提示单元提示异常。

这里,传感单元10获取的是表征传输带200偏移量δd的反馈信号,反馈信号实质表示的是一种物理量的变化,转换单元20用于将这种物理量的变化转换为处理单元30可运算的电压信号。

结合图5,转换单元20包括二极管t型电路、检波电路、有效值直流转换电路及差分运算电路,转换单元20可将反馈信号转换为直流模拟电压信号。

处理单元30用于分析电压信号以确定传输带200的运行状态,在一示例中,处理单元30中预先存储有设定值,当处理单元30接收到转换单元20转换得到的电压信号之后,处理单元30将电压信号与设定值做比较,当电压信号超过设定值,或者是电压信号与设定值的差值超过设定阈值时,提示单元40提示异常。

结合图6,提示单元40可以是显示装置,提示单元40可具有显示屏或者警报喇叭等,提示单元40可将传输带200的运行状态提供给用户。

提示单元40不仅可以提示异常,也可提示正常、异常种类、异常发生区域、异常严重程度等等。

这里,检测模块100还可包含无线单元50,传感单元10、转换单元20、处理单元30与提示单元40之间可以通过无线单元50实现通信。

需要说明的是,检测模块100可以是一整个设备,即传感单元10、转换单元20、处理单元30、提示单元40及无线单元50可以设置在同一设备中。

当然,检测模块100中的各个单元也可独立设置或多个组合设置,例如,结合图7,传感单元10、转换单元20及无线单元50作为第一设备101邻接传输带200设置,而处理单元30、提示单元40及无线单元50作为第二设备102(例如电脑、手机等)独立于第一设备101设置,第一设备101与第二设备102之间通过无线单元50实现通信。

在实际操作中,继续参图7,一个第二设备102可与多个第一设备101实现通信,即此时可在一根传输带200上设置多个第一设备101以实现多个监测点,或是在多个传输带200上设置多个第一设备101以实现多个传输带200的监测,如此,可实现多方位的运行状态监控。

可以看到,本实施方式可以通过设置检测模块100实现传输带200的实时监控,并可将传输带200发生的偏移、变形等异常故障及时通知操作人员,便于操作人员及时处理,避免对产品质量造成不良影响。

本发明一实施方式还提供一种检测方法,用于检测传输带200的偏移,结合前述检测模块100的说明,检测方法包括步骤:

获取极板与传输带200之间形成的电容的电容值的变化量;

根据电容值的变化量获取传输带200的偏移量。

本实施方式利用电容检测可以实现对传输带200偏移量的实时监控,避免因传输带200偏移而对产品质量造成不良影响。

传输带200位于相对设置的第一极板11及第二极板12之间,检测方法包括步骤:

获取传输带200与第一极板11之间的第一电容c1及传输带200与第二极板12之间的第二电容c2;

获取表征传输带偏移量200的反馈信号,传输带200朝向第一极板11或第二极板12的偏移量满足公式δd=(c1-c2)*k*d/c获取传输带200的偏移量,其中,δd为传输带200的偏移量,c1为第一电容,c2为第二电容,k为检测灵敏度,d为第一极板11与第二极板12之间的间距,c为第一极板11与第二极板12之间的电容;

将反馈信号转换为电压信号;

比较电压信号及设定值,且当电压信号超过设定值时,提示异常。

具体的,结合图8及前述检测模块100的说明,检测方法包括如下步骤:

s1:开始;

这里,可以是通过控制按钮开启检测,或者是在传输带200运行的同时开启检测等等。

s2:检测模块100初始化;

s3:传感单元10基准值校对;

s4:实时采集传感单元10的反馈信号;

s5:将反馈信号转换为电压信号;

s6:判断电压信号是否超过设定值,若是,则进入步骤s7,发送“警报”,若否,则进入步骤s8,发送“正常”;

s9:提示单元40接收并显示,即显示步骤s7、s8发送的检测结果。

本发明的检测方法的其他说明可以参考前述检测模块10的说明,在此不再赘述。

本发明一实施方式还提供一种传输装置,包括传输带200及如上所述的检测模块100。

这里,传输带200可以是钢带200。

传输装置还包括电镀模块,钢带200用于传输集成电路产品,电镀模块用于配合钢带200电镀集成电路产品

也就是说,传输装置是针对集成电路产品的电镀加工设备,通过设置检测模块100可以实时监控钢带200的运行状态,避免因为钢带200的偏移或变形而影响集成电路产品的电镀效果。

当然,传输装置也可以是其他设备,可以根据实际情况而定。

综上所述,本发明的检测模块100利用电容检测可以实现对传输带200偏移量的实时监控,避免因传输带200偏移而对产品质量造成不良影响。

而且,可将传输带200发生的偏移、变形等异常故障及时通知操作人员,便于操作人员及时处理,避免对产品质量造成不良影响。

应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施方式中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明,它们并非用以限制本发明的保护范围,凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

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