一种基于晶元片检测的探针组件的制作方法

本实用新型涉及晶元片检测技术领域，尤其涉及一种基于晶元片检测的探针组件。

背景技术：

普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元片。晶元是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片，一个圆盘状的晶元片上分布有很多一格格的晶元，晶元呈阵列排布，为了将不良的晶元筛选掉，防止后续制成不良的芯片，晶元在封装制造成芯片之前必须要对所有的晶元进行检测，通常每个晶元片上存在成百上千个晶元，人工检测工作量大，而且容易漏检，目前为了降低成本、提高检测效率，通常采用检测设备进行检测，探针是晶元片检测设备上的重要部件，将晶元片固定后，通过探针依次在晶元片表面移动来检测每个晶元的性能，为了提高检测效率，通常一个检测头上有多根探针，多根探针同时检测，检测效率显著提高；探针后上的任何一根探针损坏后都需要更换，目前更换探针时都需要将整个探针头拆卸下来，然后对损坏的探针进行更换，更换后再装上去，整个更换过程存在较长的等待时间，从而造成停机等待，降低检测效率。

技术实现要素：

本实用新型为了解决现有技术中存在的上述问题，提供了一种基于晶元片检测的探针组件，该种探针组件能快速的对每一根探针进行单独更换，更换时间短，减小换探针时的停机更等待时间。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种基于晶元片检测的探针组件，包括探针座，所述探针座内设有若干竖直的探针孔，每个探针孔内均设有探针，所述探针与探针孔之间间隙配合，所述探针座的上端设有第一接头，每根探针的上端分别与第一接头插接连接，所述探针座的右侧上端设有L形支架，所述L形支架上设有连接孔，L形支架的侧面设有总接线座，所述第一接头的外端通过数据线连接有第二接头，每个第二接头分别与总接线座连接；所述探针座的左侧面设有与探针孔垂直贯通的通孔，所述探针座的左侧设有压板，所述压板的上端设有两根滑杆，所述探针座上设有与滑杆一一对应的滑孔，所述滑杆穿过滑孔与滑孔形成滑动连接，所述滑杆的右端之间设有连接板，所述连接板的中间部位与探针座的右侧面之间设有复位压簧；所述压板上设有与连接孔一一同轴对应的销孔，所述的销孔内设有滑销，滑销的前端伸入连接孔内，销孔的左端设有端盖，所述端盖与滑销之间设有压簧，所述探针的外表面位于探针孔的下端处设有限位凸环。

使用时，L形支架上的连接孔与检测设备连接，检测设备上的数据接头与总接线座连接；需要更换探针时，不需要拆卸探针座，只需要按下连接板，连接板向探针座移动，压板与探针座分离，此时就能将损坏的探针从探针孔内拔出来，然后装上新的探针，松开连接板，在复位压簧的作用下，压板向探针座靠近，滑销伸入通孔内压紧探针，滑销是通过压簧压紧探针，因此不会损坏探针，检测时探针均是受压的，探针的轴向通过限位凸环限位，探针的径向通过滑销弹性压紧限位，定位稳定，使用方便。

作为优选，所述探针座的顶面设有凹槽，所述的第一接头置于凹槽内，所述凹槽的开口端设有盖板，所述盖板与凹槽之间卡接连接，所述盖板上设有引线槽，所述的数据线穿过引线槽。

作为优选，所述探针座的右侧面设有压簧限位孔，所述压簧限位孔的底部设有限位螺栓，所述连接板的内侧中心也设有限位螺栓，复位压簧的两端分别与两个限位螺栓连接。

因此，本实用新型具有探针更换快捷方便、定位稳定的有益效果。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图。

图2为图1中剖视图。

图3为图1中A-A处剖视图。

图4为图2中B处局部放大示意图。

图5为更换探针时的状态图。

图中：探针座1、探针孔2、探针3、第一接头4、L形支架5、连接孔6、总接线座7、数据线8、第二接头9、通孔10、压板11、滑杆12、滑孔13、连接板14、复位压簧15、压簧限位孔16、限位螺栓17、销孔18、滑销19、端盖20、压簧21、限位凸环22、凹槽23、盖板24、引线槽25。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：

如图1、图2、图3和图4所示的一种基于晶元片检测的探针组件，包括探针座1，探针座内设有若干竖直的探针孔2，每个探针孔内均设有探针3，探针与探针孔之间间隙配合，探针座的上端设有第一接头4，每根探针的上端分别与第一接头插接连接，探针座的右侧上端设有L形支架5，L形支架上设有连接孔6，L形支架的侧面设有总接线座7，第一接头的外端通过数据线8连接有第二接头9，每个第二接头分别与总接线座连接；探针座的左侧面设有与探针孔垂直贯通的通孔10，探针座的左侧设有压板11，压板的上端设有两根滑杆12，探针座上设有与滑杆一一对应的滑孔13，滑杆穿过滑孔与滑孔形成滑动连接，滑杆的右端之间设有连接板14，连接板的中间部位与探针座的右侧面之间设有复位压簧15，探针座的右侧面设有压簧限位孔16，压簧限位孔的底部设有限位螺栓17，连接板的内侧中心也设有限位螺栓，复位压簧的两端分别与两个限位螺栓连接；压板上设有与连接孔一一同轴对应的销孔18，销孔内设有滑销19，滑销的前端伸入连接孔内，销孔的左端设有端盖20，端盖与滑销之间设有压簧21，探针的外表面位于探针孔的下端处设有限位凸环22。

探针座1的顶面设有凹槽23，第一接头置于凹槽内，凹槽的开口端设有盖板24，盖板与凹槽之间卡接连接，盖板上设有引线槽25，所述的数据线穿过引线孔。

结合附图，本实用新型的使用方法如下：使用时，L形支架上的连接孔与检测设备连接，检测设备上的数据接头与总接线座连接；需要更换探针时，不需要拆卸探针座，只需要按下连接板，连接板向探针座移动，压板与探针座分离，如图5所示，此时就能将损坏的探针按图5中箭头所示的方向从探针孔内拔出来，然后装上新的探针，松开连接板，在复位压簧的作用下，压板向探针座靠近，滑销伸入通孔内压紧探针，如图2所示；检测时探针下端均是受压的，探针的轴向通过限位凸环限位，探针的径向通过滑销弹性压紧限位，定位稳定、探针更换方便。