探针测试机及其载台的制作方法

文档序号:18696915发布日期:2019-09-17 22:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种探针测试机的载台,其特征在于,包括:

顶座,包括朝下的吸附平面;

位于所述吸附平面下方的底座,包括向上伸出的抽气管;

位于所述吸附平面与底座之间的承载座,包括套装在所述抽气管上且竖直贯穿所述承载座的吸附孔,以及设置在所述吸附平面下方且朝向所述吸附平面的吸附口;

用于连通真空源与所述吸附孔的第一通道;以及

用于连通所述真空源与所述吸附口的第二通道;

其中,所述承载座能沿所述抽气管滑动,所述第一通道长于所述第二通道。

2.根据权利要求1所述的载台,其特征在于,所述抽气管内设置有节流环。

3.根据权利要求1所述的载台,其特征在于,所述第一通道上的弯折数量多于所述第二通道上的弯折数量。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的载台,其特征在于,所述顶座包括水平设置且设置有通孔的吸附板,所述吸附平面为所述吸附板的底面;

所述承载座还包括与所述吸附板平行且中部与所述通孔对齐的基板;

所述吸附口设置有多个,多个所述吸附口均匀地分布在所述基板的边缘。

5.根据权利要求4所述的载台,其特征在于,所述承载座还包括从所述基板的中部向上凸出且插入所述通孔的凸台,所述吸附孔从所述基板的底面延伸到所述凸台的顶面;

所述吸附口未所述吸附平面时,所述凸台的顶面高于或平齐于所述吸附板的顶面。

6.根据权利要求5所述的载台,其特征在于,所述通孔为圆孔,所述凸台为与所述通孔间隙配合的圆台。

7.根据权利要求4所述的载台,其特征在于,所述承载座包括多根从所述基板向所述吸附平面伸出的吸附管;

所述吸附口为位于所述吸附管顶端的管口。

8.根据权利要求7所述的载台,其特征在于,所述载台还包括套装在所述吸附管上的弹簧;

所述弹簧在未被压缩时长于吸附管。

9.根据权利要求4所述的载台,其特征在于,所述顶座还包括从所述吸附板的边缘向下方伸出的多块侧板,

所述底座和所述承载座均容纳于多块所述侧板和所述吸附板围合出的盒体内。

10.根据权利要求7所述的载台,其特征在于,底座还包括基座,所述抽气管从所述基座的顶部向上延伸。

11.根据权利要求10所述的载台,其特征在于,

所述基座的底部设置有抽气口,所述基座内还设置有连通所述抽气口与所述抽气管相连的抽气通道;

所述基板上还设置有垂直贯穿所述基板的吸气通道;

所述载台还包括一端连通于所述吸气通道的第一支管、一端连通于所述抽气口的第二支管以及一端用于连接于所述真空源的主管道,所述主管道的另一端连通于所述第一支管和所述第二支管的另一端;

其中,所述第一通道包括依次连通的所述抽气管、所述抽气通道、所述抽气口、所述第二支管、所述主管道的内腔,所述第二通道包括依次连通的所述吸附管、所述吸气通道、所述第一支管、所述主管道的内腔。

12.一种探针测试机,其特征在于,包括如权利要求1~11所述的载台。

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