技术总结
本实用新型公开一种探针测试机及其载台。该载台包括顶座，包括朝下的吸附平面；位于所述吸附平面下方的底座，包括向上伸出的抽气管；位于所述吸附平面与底座之间的承载座，包括套装在所述抽气管上且竖直贯穿所述承载座的吸附孔，以及设置在所述吸附平面下方且朝向所述吸附平面的吸附口；用于连通真空源与所述吸附孔的第一通道；以及用于连通所述真空源与所述吸附口的第二通道；其中，所述承载座能沿所述抽气管滑动，所述第一通道长于所述第二通道。采用该载台的探针测试机在测试晶圆过程中真空源出现故障时能避免探针与晶圆互作用而导致的晶圆或探针损坏。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2018.11.14
技术公布日：2019.09.17