一种半导体测试装置的制作方法

本实用新型涉及一种半导体测试装置，属于半导体测试技术领域。

背景技术：

半导体测试装置（椭偏仪）是一种用于探测半导体薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器；目前椭偏仪在进行使用时需要对起偏器与检偏器的位置进行调节，严重影响半导体的测试时间。为解决上述问题，特提供一种新的技术方案。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种半导体测试装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的本实用新型采用以下技术方案：一种半导体测试装置，包括机体和样品台，所述机体上设置有起偏器、检偏器、支撑脚、传动螺母、轴孔与调节螺丝，所述起偏器通过螺丝安装固定于机体上方左侧，所述检偏器通过螺丝安装固定于机体上方右侧，所述支撑脚通过螺纹连接于机体底部边角上，所述传动螺母通过轴承过盈连接于机体前端顶部中间，所述轴孔开设于机体前端顶部，且轴孔分布于传动螺母两侧，所述调节螺丝通过螺纹连接于机体前端顶部，且调节螺丝分布于轴孔两侧，所述样品台放置于起偏器与检偏器之间。

优选的，所述样品台上设置有中吊耳与侧吊耳，所述中吊耳焊接于样品台底部中间，所述侧吊耳对称焊接于样品台底部两侧。

优选的，所述中吊耳上通过转轴连接有传动螺杆，所述传动螺杆与传动螺母螺纹连接。

优选的，所述侧吊耳上通过转轴连接有光轴，所述光轴嵌套于轴孔内，光轴底部通过转轴连接有底板，所述底板顶部两侧与机体底部之间焊接有弹簧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型传动螺杆与传动螺母螺纹连接，可通过传动螺母轻松带动样品台直线上升或下降；底板顶部两侧与机体底部之间焊接有弹簧，可通过弹簧使底板时刻保持平衡；调节螺丝通过螺纹连接于机体前端顶部，可通过调节螺丝轻松对底板进行左右按压。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型机体结构示意图；

图3为本实用新型样品台结构示意图；

图中：1-机体；2-样品台；3-起偏器；4-检偏器；5-支撑脚；6-传动螺母；7-轴孔；8-调节螺丝；9-中吊耳；10-侧吊耳；11-传动螺杆；12-光轴；13-底板；14-弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的阐述。

如图1-3所示，一种半导体测试装置，包括机体1和样品台2，机体1上设置有起偏器3、检偏器4、支撑脚5、传动螺母6、轴孔7与调节螺丝8，起偏器3通过螺丝安装固定于机体1上方左侧，检偏器4通过螺丝安装固定于机体1上方右侧，支撑脚5通过螺纹连接于机体1底部边角上，传动螺母6通过轴承过盈连接于机体1前端顶部中间，轴孔7开设于机体1前端顶部，且轴孔7分布于传动螺母6两侧，调节螺丝8通过螺纹连接于机体1前端顶部，且调节螺丝8分布于轴孔7两侧，样品台2放置于起偏器3与检偏器4之间。

具体使用方式：将需要测试的半导体放置在样品台2上，随后根据测试需要的位置或角度，对样品台2进行调节：旋拧传动螺母6带动传动螺杆11上下进行移动，传动螺杆11上下移动对样品台2的位置高度进行调节；随后旋拧调节螺丝8对底板13的一端进行挤压，底板13受到挤压后带动一侧的光轴12顺着轴孔7直线向下进行滑动，同时另一侧光轴12顺着轴孔7直线向上进行滑动，此时样品台2的角度完成调节。

以上所述为本实用新型较佳实施例，对于本领域的普通技术人员而言，根据本实用新型的教导，在不脱离本实用新型的原理与精神的情况下，对实施方式所进行的改变、修改、替换和变型仍落入本实用新型的保护范围之内。