一种具有快响应特性的柔性湿度传感器的制作方法

文档序号:17917632发布日期:2019-06-14 23:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种制备同时具有快响应特点的离子液体湿度传感器的方法,包括以下步骤:

1)配制混合预聚物:将有机硅低聚物、偶联剂混合;

2)制备具有纳米线的结构的硅聚合物基底:将步骤1)所得液态预聚物滴加至阳极氧化铝(AAO)模板上,加热进行聚合固化反应,然后将其浸泡在腐蚀液中3小时除去模板;

3)制备离子液体层:在基底上滴加离子液体的有机溶剂溶液,蒸发溶剂。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述有机硅低聚物为聚合度为60左右的端乙烯基的聚二甲基硅氧烷;所述交联剂为端甲基的聚二甲基硅氧烷。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述有机硅低聚物、偶联剂的比例为(10-20g):(1-2g)。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤2)所用阳极氧化铝模板直径为90-400nm。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤2)所用阳极氧化铝模板深度为1-60μm。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤2)所用阳极氧化铝模板包括单通阳极氧化铝模板和双通阳极氧化铝模板。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤3)离子液体为咪唑类离子液体。

8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤3)所述的离子液体的酒精溶液为5-10g/ml。

9.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤3)所滴加的离子液体的酒精溶液量为1-2ml/cm2

10.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤3)所使用的有机溶剂包括乙醇、甲醇、丙酮。

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