一种基于微波谐振的薄膜检测装置的制作方法

文档序号:23443817发布日期:2020-12-29 09:43阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,包括同步传输框架(1)、设置在同步传输框架(1)顶端并与同步传输框架(1)滑动连接的上检测架(2)、设置在同步传输框架(1)底端并与同步传输框架(1)滑动连接的下检测架(3)以及设置在上检测架(2)与下检测架(3)之间的薄膜检测间隙(4);

所述上检测架(2)包括设置在同步传输框架(1)顶端的上微调架(21)、设置在上微调架(21)内的上谐振腔(22)、设置在上谐振腔(22)内的谐振发生器(23)以及设置在上微调架(21)底侧的上导纸板(24),所述下检测架(3)包括设置在同步传输框架(1)底端的下微调架(31)、设置在下微调架(31)内的下谐振腔(32)、设置在下谐振腔(32)内的谐振接收器(33)以及设置在下微调架(31)顶侧的下导纸板(34)。

2.根据权利要求1所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述上微调架(21)包括设置在同步传输框架(1)顶端的上安装板(211)、设置在上安装板(211)底侧的多组上支架板(212)以及设置在上支架板(212)上并与上支架板(212)铰接的上挂耳板(213);

所述上支架板(212)上设有多组呈弧形分布的上角度调节孔(214),所述上角度调节孔(214)的旋转圆心与上支架板(212)和上挂耳板(213)的铰接点重合,所述上支架板(212)上设有多组与上角度调节孔(214)对应的上固定孔(215),所述上固定孔(215)内设有上固定螺栓(216),所述上固定螺栓(216)依次穿过上角度调节孔(214)和上固定孔(215)并将上支架板(212)和上挂耳板(213)的相对位置固定。

3.根据权利要求1所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述下微调架(31)包括设置在同步传输框架(1)底端的下安装板(311)、设置在下安装板(311)底侧的多组下支架板(312)以及设置在下支架板(312)上并与下支架板(312)铰接的下挂耳板(313);

所述下支架板(312)上设有多组呈弧形分布的下角度调节孔(314),所述下角度调节孔(314)的旋转圆心与下支架板(312)和下挂耳板(313)的铰接点重合,所述下支架板(312)下设有多组与下角度调节孔(314)对应的下固定孔(315),所述下固定孔(315)内设有下固定螺栓(316),所述下固定螺栓(316)依次穿过下角度调节孔(314)和下固定孔(315)并将下支架板(312)和下挂耳板(313)的相对位置固定。

4.根据权利要求1所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述下导纸板(34)上设有与下导纸板(34)垂直设置的涡流传感器(5),所述涡流传感器(5)的测量端朝向上导纸板(24)设置。

5.根据权利要求1所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述上导纸板(24)以及下导纸板(34)边侧并位于进纸侧和出纸侧分别设有上导纸辊(241)以及下导纸辊(341)。

6.根据权利要求1所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述同步传输框架(1)包括外框架(11)以及设置在外框架(11)内的传输装置(12),所述外框架(11)包括上梁(111)、与上梁(111)平行设置的下梁(112)、分别设置在上梁(111)两侧并位于上梁(111)与下梁(112)之间的左侧梁(113)和右侧梁(114);

所述传输装置(12)包括设置在左侧梁(113)上的输送电机(121)、设置在右侧梁(114)上的主动轮(122)、设置在输送电机(121)与主动轮(122)之间的传动装置(123)、分别设置在上梁(111)和下梁(112)靠近右侧梁(114)一端的从动轮(124)、分别设置在上梁(111)和下梁(112)靠近左侧梁(113)一端的变向轮(125)、分别设置在上梁(111)和下梁(112)内并依次绕过主动轮(122)、变向轮(125)以及从动轮(124)的上传输带(126)和下传输带(127),所述上微调架(21)设置在上梁(111)上并与上传输带(126)下带面连接,所述下微调架(31)设置在下梁(112)内并与下传输带(127)上带面连接。

7.根据权利要求6所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述上梁(111)以及下梁(112)内侧均设有高精度基准面(6)。

8.根据权利要求6所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述上梁(111)上设有行程开关(7)。

9.根据权利要求6所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述左侧梁(113)内侧设有分别与上微调架(21)和下微调架(31)平行设置的测距千分表(8)。

10.根据权利要求6所述的基于微波谐振的薄膜检测装置,其特征在于,所述上微调架(21)和下微调架(31)内均设有安装架(9)、所述安装架(9)上设有分别与上传输带(126)和下传输带(127)啮合的同步压板(10),所述同步压板(10)上设有分别与上传输带(126)和下传输带(127)啮合的同步齿(101)。


技术总结
本实用新型公开了一种基于微波谐振的薄膜检测装置,属于薄膜生产领域。包括同步传输框架、设置在同步传输框架顶端并与同步传输框架滑动连接的上检测架、设置在同步传输框架底端并与同步传输框架滑动连接的下检测架以及设置在上检测架与下检测架之间的薄膜检测间隙,本实用新型实现了薄膜物理参数动态测量,圆谐振腔上下两部分间隙和同轴度的微米级调节,并采用微波谐振方法同时测量薄膜厚度和水份浓度精度高,测量范围广。

技术研发人员:谢明;徐程松;刘伟雄;张杨;肖伟
受保护的技术使用者:绵阳人众仁科技有限公司
技术研发日:2020.03.19
技术公布日:2020.12.29
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