MEMS探针卡测试插座、方法及该插座的弹簧更换方法与流程

本发明mems探针卡测试插座、方法及该插座的弹簧更换方法属于mems探针卡测试技术领域。

背景技术：

全球晶圆探针卡市场中绝大多数份额仍被formfactor、mjc、technoprobe等企业抢占；但在市场分布上，mems探针卡占比达60%左右，其进口替代空间巨大；伴随着集成电路的快速发展以及工艺日趋复杂，芯片设计更加多元，对应的测试方案也更加定制化，制造工艺中关于参数、缺陷检测等要求也越来越高，因此对电子元器件的要求也在不断精进。晶圆探针卡作为一种高精密电子元件，主要应用在ic尚未封装前，通过将晶圆探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块进行接触，从而接收芯片信号，筛选出不良产品；晶圆探针卡是ic制造中影响极大的高精密器件，也是确保芯片良品率和成本控制的重要环节。在对mems芯片进行测试的过程中，通常需要通过测试插座固定在测试用pcb板上，并通过导线(如弹簧探针)与pcb板连通。

现有的测试插座在进行mems芯片的测试，一般通过弹簧探针进行接触，其长期使用，内部的弹簧反复伸缩，易出现损坏，失去弹性，可能需要进行弹簧的更换，更换可能不便捷；同时测试插座中可能缺少防尘、防潮设计，易出现灰尘聚集，潮气过重，也会造成损伤。现在尚没有一种便于内部弹簧更换维护且可进行防尘防潮的mems探针卡测试插座及测试方法。

技术实现要素：

为了解决现有技术的不足，本申请公开了一种mems探针卡测试插座、方法及该插座的弹簧更换方法。

mems探针卡测试插座，包括：底座、底板、旋转挡盘、保护壳体、自锁驱动机构、升降气缸、顶板、压块、加热片、导热片、进气口管、软管、气泵、进气罩、过滤网、接管、圆盘罩、封盖、圆筒、连接管件、连接轴、螺纹顶盖、干燥螺旋竖管、空心圆壳、弹簧、导向杆、载板、温度传感器、第一探针、第二探针、沾灰斜板、吸湿斜板、叶轮、直杆、吸湿条板和沾灰条板；其中，所述底座的底部与所述底板固定连接，所述底座的顶部设置有所述旋转挡盘，所述保护壳体固定连接在所述底座的一侧壁上，所述自锁驱动机构设置在所述保护壳体与所述底座一侧之间，所述自锁驱动机构的输出端与所述旋转挡盘的一侧底部固定连接，所述底座的顶部两侧均固定连接有所述升降气缸，所述升降气缸的输出顶端与所述顶板的底部固定连接，所述顶板的底部固定连接有压块，所述压块的底部固定连接有所述加热片，所述加热片的底部固定连接有所述导热片；所述旋转挡盘的中部开设有上料槽，所述底座的顶部中心位置开设有凹槽，所述底座的内部开设有导向孔，所述导向孔与所述凹槽底部连通安装，所述导向孔与所述导向杆间隙配合连接，所述导向杆的顶端固定连接有所述载板，所述载板位于所述上料槽的底部，所述载板与所述凹槽的顶部间隙配合连接，所述导向孔的内部设置有所述弹簧，所述弹簧与所述导向杆的底端接触，所述凹槽的内部固定连接有若干个所述第一探针和若干个所述第二探针，所述载板表面开设有若干个通孔，所述通孔位于所述第一探针的顶端处，所述载板中部固定嵌合连接有所述温度传感器，所述温度传感器位于所述第二探针的顶端处，所述上料槽中放置有待测探针卡，所述待测探针卡放置在所述载板顶部；所述底座的一侧固定连接有所述进气口管，所述进气口管与所述凹槽的一侧连通安装，所述进气口管的一端与所述软管的一端固定连通安装，所述软管的末端与所述空心圆壳顶部的接口固定连通安装，所述空心圆壳的内部空腔与接口连通安装，所述空心圆壳的底部连通安装有若干个均匀分布的所述干燥螺旋竖管，所述干燥螺旋竖管的底端与所述螺纹顶盖连接，所述螺纹顶盖与所述圆筒顶部螺纹连接，所述圆筒的底端固定连接有所述连接管件，所述连接管件与所述封盖顶部固定连接，所述封盖固定连接在所述圆盘罩的顶部开口处，所述圆盘罩的内部转动连接有所述叶轮，所述叶轮的顶端与所述连接轴的底端固定连接，所述连接轴顶端与所述直杆底端固定连接，所述直杆与所述圆筒的底部中心处转动连接，所述直杆表面沿长度方向等间距固定连接有若干个所述吸湿条板，所述直杆表面还沿长度方向等间距固定连接有若干个所述沾灰条板，所述沾灰条板和所述吸湿条板均位于所述圆筒的内部，所述圆盘罩的一侧与所述接管的一端固定连通安装，所述接管的末端与所述气泵的出气口固定连通安装，所述气泵的进气口与所述进气罩固定连通安装，所述进气罩的一侧固定嵌合连接有所述过滤网，所述进气罩的内部沿竖直方向等间距固定连接有若干个所述沾灰斜板和若干个所述吸湿斜板，所述吸湿斜板位于所述沾灰斜板的一侧。

进一步地，所述底板的四周边沿处均匀开设有若干个安装孔，所述底板与底座的连接处固定连接有多个加强筋板。

进一步地，所述底座的正面固定嵌合连接有透明窗板，所述透明窗板位于凹槽的正面。

进一步地，所述自锁驱动机构包括蜗轮、蜗杆、转轴和摇杆，所述蜗杆和所述转轴均与底座转动连接，所述蜗轮与所述转轴固定套接，所述蜗轮与所述蜗杆之间啮合连接，所述转轴的顶端与旋转挡盘固定连接，所述摇杆与保护壳体一侧转动连接，所述摇杆的一端与所述蜗杆一端固定连接。

进一步地，所述底座的顶部开设有凹孔，所述凹孔的内部固定嵌合连接有磁块，所述磁块的顶部设置有铁块，所述铁块与旋转挡盘底部固定嵌合连接。

进一步地，所述叶轮由短轴和转板构成，所述短轴的底端与圆盘罩的底部中间位置转动连接，所述转板的数目为四个，四个所述转板呈环形阵列固定连接在所述短轴的四周。

进一步地，所述圆盘罩的底部边沿处固定连接有多个安装条，所述圆盘罩的底部中间位置转动连接有旋钮，所述旋钮与短轴底端固定连接。

进一步地，所述干燥螺旋竖管包括外管、圆杆和螺旋叶片，所述螺旋叶片固定套接在所述圆杆的圆柱面上，所述螺旋叶片和所述圆杆均设置在所述外管的内部，所述外管的内壁与所述螺旋叶片粘合连接。

进一步地，所述空心圆壳的底部和螺纹顶盖的顶部均开设有若干个均匀分布的螺纹孔，所述螺纹孔与外管的端部螺纹连接。

进一步地，所述连接管件的数目为两个，两个所述连接管件的底部与封盖之间通过螺丝固定连接。

mems探针卡测试方法，包括以下步骤：

步骤a、待测探针卡的放入以及探针的接触，待测探针卡放入上料槽，升降气缸收缩，带动顶板下行，压块下压待测探针卡，同时导热片与待测探针卡接触，持续下压，待测探针卡下压载板，通过导向杆下压弹簧，进行蓄力，持续进行下行，温度传感器与第二探针接触，第一探针与待测探针卡接触，其中第一探针和第二探针连接外部测试设备；

步骤b、加热片的加热以及测试，加热片进行发热，通过导热片导热，为待测探针卡加热，通过温度传感器实施传感，直到达到预设温度，通过第一探针的接触，进行测试、运行传感待测探针卡，实现测试；

步骤c、测试时的实时防尘，气泵持续进行抽气，通过过滤网过滤后，通过沾灰斜板和吸湿斜板进行沾灰和吸湿，接着进入气泵，通过接管进入到圆盘罩中，通过接管的气流为叶轮提供吹到，使得叶轮、连接轴、直杆一起转动，同时圆盘罩中的气流通过连接管件进入到圆筒中，转动的直杆转动时，吸湿条板和沾灰条板一起转动，进一步的进行沾灰和吸湿，接着气流进入到干燥螺旋竖管，沿干燥螺旋竖管内部流通，沿干燥螺旋竖管内部通过螺旋叶片形成螺旋型的通道，增大流动路径，同时螺旋叶片上粘附的干燥剂层进行吸湿，进一步进行干燥，接着软管，气流进入到凹槽中，提供干燥、无尘的空气；

步骤d、待测探针卡的取出，测试后，升降气缸上行，压块松开待测探针卡，通过弹簧的弹力，使得待测探针卡上行，手动取出待测探针卡。

mems探针卡测试插座的弹簧更换方法，包括以下步骤：

步骤a、旋转挡盘的转动，通过摇动摇杆，使得蜗杆转动，通过蜗杆和蜗轮的啮合传动，使得转轴带动旋转挡盘转动，直到挡盘正向转动°为止，取消对载板顶部的覆盖；

步骤b、弹簧的取出和更换，手动取下载板以及与载板一体的导向杆，接着借助外部的针杆挑出弹簧，放入新的弹簧；

步骤c、载板重新覆盖，将载板重新放入，导向杆插入导向孔中，反向转动摇杆，使得挡盘反向转动°为止，重新覆盖载板，完成安装。

本申请的有益之处在于：

整个mems探针卡测试插座用于mems探针卡的检测使用，与传统技术相比较其便于进行弹簧的更换以及凹槽内部的清洁，凹槽的顶部具有旋转挡盘，可为载板提供阻挡限位，保障了结构的稳定性，同时旋转挡盘通过自锁驱动机构提供连接，旋转挡盘可在底座顶部进行转动，从而可实现载板顶部限位的解除，进行凹槽内部的清洁处理以及载板的取下，进一步实现弹簧的更换，其操作通过转动摇杆实现，操作简单，通过自锁驱动机构进行传动，从而实现旋转挡盘的转动，同时自身具有的自锁功能，保障了使用的稳定性，同时在旋转挡盘和底座上增设了磁块和铁块，通过磁力吸附，实现相互之间的限位，进一步保障了限位的效果。

整个mems探针卡测试插座还可为凹槽内部提供通气，形成正压，在进行使用过程中，通入正压气流，避免了外界空气的进入，从而避免了灰尘的进入，起到了防尘的效果，其中在进气罩上增设了过滤网，进行空气的过滤，配合内部的沾灰斜板的沾灰作用，保障了空气的洁净无尘，进一步具有吸湿斜板，可进行吸湿，可降低进入空气的水分，进一步可通过接管进入到圆盘罩中，通过气流的作用，可驱动叶轮进行转动，从而实现直杆的驱动，使得吸湿条板和沾灰条板在圆筒中进行转动，空气通过连接管件进入到圆筒中，通过吸湿条板和沾灰条板可进行一步进行空气的吸湿和沾灰，进一步保障了空气的干燥和无尘，其转动通过气流的流通驱动，无需借助其他的外部驱动装置。

空气在通过干燥螺旋竖管时，通过干燥螺旋竖管形成的螺旋型通道，从而提高了空气的流通路径，通过圆杆-和螺旋叶片-上的干燥剂层，可进行吸湿，吸湿效果好。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是根据本申请一种实施例的一种mems探针卡测试插座的结构示意图；

图2是图1所示实施例中进气罩内部的结构示意图；

图3是图1所示实施例中圆筒内部的结构示意图；

图4是图1所示实施例中叶轮的结构示意图；

图5是图1所示实施例中干燥螺旋竖管的结构示意图；

图6是图1所示实施例中螺纹顶盖的顶部的结构示意图；

图7是图1所示实施例中底座和旋转挡盘截面的结构示意图；

图8是图1所示实施例中第一探针和第二探针分布的结构示意图；

图9是图1所示实施例中叶轮、接管和圆盘罩的结构示意图；

图10是图1所示实施例中蜗轮和蜗杆的结构示意图。

图中附图标记的含义：

底座101，底板102，加强筋板103，透明窗板104，旋转挡盘105，保护壳体106，摇杆107，升降气缸108，上料槽109，顶板110，压块111，加热片112，导热片113，进气口管114，软管115，气泵116，进气罩117，过滤网118，接管119，圆盘罩120，封盖121，旋钮122，安装条123，圆筒124，连接管件125，连接轴126，螺纹顶盖127，干燥螺旋竖管128，外管128-1，圆杆128-2，螺旋叶片128-3，空心圆壳129，接口130，转轴131，蜗轮132，蜗杆133，铁块134，凹孔135，磁块136，凹槽137，导向孔138，弹簧139，导向杆140，载板141，温度传感器142，通孔143，待测探针卡144，第一探针145，第二探针146，沾灰斜板147，吸湿斜板148，叶轮149，短轴149-1，转板149-2，直杆150，吸湿条板151，沾灰条板152，螺纹孔153。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本申请及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本申请中的具体含义。

此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

具体实施方式一

以下是本发明mems探针卡测试插座的具体实施方式。

参照图1至图10，mems探针卡测试插座，包括：底座101、底板102、旋转挡盘105、保护壳体106、自锁驱动机构、升降气缸108、顶板110、压块111、加热片112、导热片113、进气口管114、软管115、气泵116、进气罩117、过滤网118、接管119、圆盘罩120、封盖121、圆筒124、连接管件125、连接轴126、螺纹顶盖127、干燥螺旋竖管128、空心圆壳129、弹簧139、导向杆140、载板141、温度传感器142、第一探针145、第二探针146、沾灰斜板147、吸湿斜板148、叶轮149、直杆150、吸湿条板151和沾灰条板152。

参照图1至图7，作为具体方案，其中，底座101的底部与底板102固定连接，底座101的顶部设置有旋转挡盘105，保护壳体106固定连接在底座101的一侧壁上，自锁驱动机构设置在保护壳体106与底座101一侧之间，自锁驱动机构的输出端与旋转挡盘105的一侧底部固定连接，旋转挡盘105与自锁驱动机构连接，其通过自锁驱动机构可进行驱动，可在底座101顶部进行转动，从而可进行载板141的限位或限位的取消，载板141和导向杆140可进行取下，从而可进行弹簧139的取下，便于进行更换，其具有自锁的功能，旋转挡盘105在进行载板141的阻挡限位时，其不会出现非人为性的移动，稳定性好。

参照图1，作为具体方案，底座101的顶部两侧均固定连接有升降气缸108，升降气缸108的输出顶端与顶板110的底部固定连接，顶板110的底部固定连接有压块111，压块111的底部固定连接有加热片112，加热片112的底部固定连接有导热片113，通过加热片112进行加热，通过导热片113进行导热，在进行压动待测探针卡144时，与待测探针卡144接触，可为待测探针卡144进行加热，同时下压时，可进一步下压弹簧139，从而使得待测探针卡144和温度传感器142与第一探针145和第二探针146接触，进行检测。

参照图1和图7，作为具体方案，旋转挡盘105的中部开设有上料槽109，上料槽109用于待测探针卡144进行放入，通过载板141为待测探针卡144提供承载，上料槽109与待测探针卡144相适配，用于嵌合，在受压时，可进行下降，与第一探针145和第二探针146接触，底座101的顶部中心位置开设有凹槽137，底座101的内部开设有导向孔138，导向孔138与凹槽137底部连通安装，导向孔138与导向杆140间隙配合连接，导向杆140的顶端固定连接有载板141，载板141位于上料槽109的底部，载板141与凹槽137的顶部间隙配合连接，导向孔138的内部设置有弹簧139，弹簧139与导向杆140的底端接触，凹槽137的内部固定连接有若干个第一探针145和若干个第二探针146，载板141表面开设有若干个通孔143，通孔143位于第一探针145的顶端处，载板141中部固定嵌合连接有温度传感器142，温度传感器142位于第二探针146的顶端处，上料槽109中放置有待测探针卡144，待测探针卡144放置在载板141顶部，通孔143用于第一探针145的穿过，与待测探针卡144进行接触，实现检测，其中第一探针145和第二探针146通过导线与外部的检测设备连接。

参照图1和图4，作为具体方案，底座101的一侧固定连接有进气口管114，进气口管114与凹槽137的一侧连通安装，进气口管114的一端与软管115的一端固定连通安装，软管115的末端与空心圆壳129顶部的接口130固定连通安装，空心圆壳129的内部空腔与接口130连通安装，空心圆壳129的底部连通安装有若干个均匀分布的干燥螺旋竖管128，干燥螺旋竖管128的底端与螺纹顶盖127连接，螺纹顶盖127与圆筒124顶部螺纹连接，圆筒124的底端固定连接有连接管件125，连接管件125与封盖121顶部固定连接，封盖121固定连接在圆盘罩120的顶部开口处，圆盘罩120的内部转动连接有叶轮149，叶轮149的顶端与连接轴126的底端固定连接，连接轴126顶端与直杆150底端固定连接，直杆150与圆筒124的底部中心处转动连接，直杆150表面沿长度方向等间距固定连接有若干个吸湿条板151，直杆150表面还沿长度方向等间距固定连接有若干个沾灰条板152，沾灰条板152和吸湿条板151均位于圆筒124的内部，圆盘罩120的一侧与接管119的一端固定连通安装，接管119的末端与气泵116的出气口固定连通安装，气流通过接管119进入到圆盘罩120中，通过气流的作用，可驱动叶轮149进行转动，从而实现直杆150的驱动，使得吸湿条板151和沾灰条板152在圆筒124中进行转动，空气通过连接管件125进入到圆筒124中，通过吸湿条板151和沾灰条板152可进行一步进行空气的吸湿和沾灰，进一步保障了空气的干燥和无尘，气泵116的进气口与进气罩117固定连通安装，进气罩117的一侧固定嵌合连接有过滤网118，进气罩117的内部沿竖直方向等间距固定连接有若干个沾灰斜板147和若干个吸湿斜板148，进气罩117上增设了过滤网118，进行空气的过滤，配合内部的沾灰斜板147的沾灰作用，保障了空气的洁净无尘，吸湿斜板148位于沾灰斜板147的一侧，进一步具有吸湿斜板148，可进行吸湿，可降低进入空气的水分，吸湿斜板148和吸湿条板151上粘合一层干燥层，由干燥剂构成，沾灰斜板147和沾灰条板152上涂抹有粘胶，用于沾灰。

参照图1，采用这样的方案，底板102的四周边沿处均匀开设有若干个安装孔，底板102与底座101的连接处固定连接有多个加强筋板103，安装孔提供了安装的孔位，用于固定安装，加强筋板103提高了底板102与底座101之间的连接强度。

参照图1，采用这样的方案，底座101的正面固定嵌合连接有透明窗板104，透明窗板104位于凹槽137的正面，透明窗板104用于观察凹槽137内部。

参照图7和图10，作为具体方案，自锁驱动机构包括蜗轮132、蜗杆133、转轴131和摇杆107，蜗杆133和转轴131均与底座101转动连接，蜗轮132与转轴131固定套接，蜗轮132与蜗杆133之间啮合连接，转轴131的顶端与旋转挡盘105固定连接，摇杆107与保护壳体106一侧转动连接，摇杆107的一端与蜗杆133一端固定连接，通过蜗轮132和蜗杆133之间的啮合，实现传动，同时通过蜗轮132和蜗杆133实现自锁，用于限位。

参照图7，作为具体方案，底座101的顶部开设有凹孔135，凹孔135的内部固定嵌合连接有磁块136，磁块136的顶部设置有铁块134，铁块134与旋转挡盘105底部固定嵌合连接，通过磁块136与铁块134之间进行磁性吸附，实现限位，提高了限位的效果。

参照图4，作为具体方案，叶轮149由短轴149-1和转板149-2构成，短轴149-1的底端与圆盘罩120的底部中间位置转动连接，转板149-2的数目为四个，四个转板149-2呈环形阵列固定连接在短轴149-1的四周，用于转动驱动，在受到气流吹动时，转板149-2受到气流，可使得短轴149-1进行转动。

参照图1，作为具体方案，圆盘罩120的底部边沿处固定连接有多个安装条123，圆盘罩120的底部中间位置转动连接有旋钮122，旋钮122与短轴149-1底端固定连接，旋钮122用于短轴149-1的手动转动，在不进行使用时，手动进行调整，便于维护时，吸湿条板151和沾灰条板152的处理。

参照图5，作为具体方案，干燥螺旋竖管128包括外管128-1、圆杆128-2和螺旋叶片128-3，螺旋叶片128-3固定套接在圆杆128-2的圆柱面上，螺旋叶片128-3和圆杆128-2均设置在外管128-1的内部，外管128-1的内壁与螺旋叶片128-3粘合连接，圆杆128-2和螺旋叶片128-3上粘附了一层干燥剂，通过圆杆128-2和螺旋叶片128-3使得外管128-1内部形成螺旋型的通道，气流流通时，与圆杆128-2和螺旋叶片128-3上粘附一层干燥剂接触，从而提高了气流流通时的流通路径，便于进行接触，进行吸潮。

参照图1和图6，作为具体方案，空心圆壳129的底部和螺纹顶盖127的顶部均开设有若干个均匀分布的螺纹孔153，螺纹孔153与外管128-1的端部螺纹连接，螺纹孔153用于干燥螺旋竖管128端部的螺纹连接，提供了安装，便于进行拆装操作，使用简单。

参照图1，采用这样的方案，连接管件125的数目为两个，两个连接管件125的底部与封盖121之间通过螺丝固定连接，连接管件125用于圆盘罩120和圆筒124的连通安装。

本申请的技术方案，整个mems探针卡测试插座100用于mems探针卡的检测使用，与传统技术相比较其便于进行弹簧139的更换以及凹槽137内部的清洁，凹槽137的顶部具有旋转挡盘105，可为载板141提供阻挡限位，保障了结构的稳定性，同时旋转挡盘105通过自锁驱动机构提供连接，旋转挡盘105可在底座101顶部进行转动，从而可实现载板141顶部限位的解除，进行凹槽137内部的清洁处理以及载板141的取下，进一步实现弹簧139的更换，其操作通过转动摇杆107实现，操作简单，通过自锁驱动机构进行传动，从而实现旋转挡盘105的转动，同时自身具有的自锁功能，保障了使用的稳定性，同时在旋转挡盘105和底座101上增设了磁块136和铁块134，通过磁力吸附，实现相互之间的限位，进一步保障了限位的效果。

整个mems探针卡测试插座100还可为凹槽137内部提供通气，形成正压，在进行使用过程中，通入正压气流，避免了外界空气的进入，从而避免了灰尘的进入，起到了防尘的效果，其中在进气罩117上增设了过滤网118，进行空气的过滤，配合内部的沾灰斜板147的沾灰作用，保障了空气的洁净无尘，进一步具有吸湿斜板148，可进行吸湿，可降低进入空气的水分，进一步可通过接管119进入到圆盘罩120中，通过气流的作用，可驱动叶轮149进行转动，从而实现直杆150的驱动，使得吸湿条板151和沾灰条板152在圆筒124中进行转动，空气通过连接管件125进入到圆筒124中，通过吸湿条板151和沾灰条板152可进行一步进行空气的吸湿和沾灰，进一步保障了空气的干燥和无尘，其转动通过气流的流通驱动，无需借助其他的外部驱动装置。

空气在通过干燥螺旋竖管128时，通过干燥螺旋竖管128形成的螺旋型通道，从而提高了空气的流通路径，通过圆杆128-2和螺旋叶片128-3上的干燥剂层，可进行吸湿，吸湿效果好。

具体实施方式二

以下是本发明mems探针卡测试方法的具体实施方式。

本实施方式下的mems探针卡测试方法，在具体实施方式一所述的mems探针卡测试插座上实现，所述mems探针卡测试方法包括以下步骤：

步骤a、待测探针卡144的放入以及探针的接触，待测探针卡144放入上料槽109，升降气缸108收缩，带动顶板110下行，压块111下压待测探针卡144，同时导热片113与待测探针卡144接触，持续下压，待测探针卡144下压载板141，通过导向杆140下压弹簧139，进行蓄力，持续进行下行，温度传感器142与第二探针146接触，第一探针145与待测探针卡144接触，其中第一探针145和第二探针146连接外部测试设备；

步骤b、加热片112的加热以及测试，加热片112进行发热，通过导热片113导热，为待测探针卡144加热，通过温度传感器142实施传感，直到达到预设温度，通过第一探针145的接触，进行测试、运行传感待测探针卡144，实现测试；

步骤c、测试时的实时防尘，气泵116持续进行抽气，通过过滤网118过滤后，通过沾灰斜板147和吸湿斜板148进行沾灰和吸湿，接着进入气泵116，通过接管119进入到圆盘罩120中，通过接管119的气流为叶轮149提供吹到，使得叶轮149、连接轴126、直杆150一起转动，同时圆盘罩120中的气流通过连接管件125进入到圆筒124中，转动的直杆150转动时，吸湿条板151和沾灰条板152一起转动，进一步的进行沾灰和吸湿，接着气流进入到干燥螺旋竖管128，沿干燥螺旋竖管128内部流通，沿干燥螺旋竖管128内部通过螺旋叶片128-3形成螺旋型的通道，增大流动路径，同时螺旋叶片128-3上粘附的干燥剂层进行吸湿，进一步进行干燥，接着软管115，气流进入到凹槽137中，提供干燥、无尘的空气；

步骤d、待测探针卡144的取出，测试后，升降气缸108上行，压块111松开待测探针卡144，通过弹簧139的弹力，使得待测探针卡144上行，手动取出待测探针卡144。

具体实施方式三

以下是本发明mems探针卡测试插座的弹簧更换方法的具体实施方式。

本实施方式下的mems探针卡测试插座的弹簧更换方法，在具体实施方式一所述的mems探针卡测试插座上实现，所述mems探针卡测试插座的弹簧更换方法包括以下步骤：

步骤a、旋转挡盘105的转动，通过摇动摇杆107，使得蜗杆133转动，通过蜗杆133和蜗轮132的啮合传动，使得转轴131带动旋转挡盘105转动，直到挡盘105正向转动180°为止，取消对载板141顶部的覆盖；

步骤b、弹簧139的取出和更换，手动取下载板141以及与载板141一体的导向杆140，接着借助外部的针杆挑出弹簧139，放入新的弹簧139；

步骤c、载板141重新覆盖，将载板141重新放入，导向杆140插入导向孔138中，反向转动摇杆107，使得挡盘105反向转动180°为止，重新覆盖载板141，完成安装。

以上所述仅为本申请的具体实施方式而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。