信号值，利用标准浓度值和第三SO 2浓度传感器12.3感应的信号值，采用最小二乘法对第三SO2浓度传感器12.3进行标定；
[0084]S206:通过标定进气口依次分别通入5种浓度的SF6#准气体(SF 6浓度:99.9%,99%,98.5%,98%,97.5%,97% ),每种气体通入2分钟，通过监控主机25自动记录每次SF6纯度传感器10感应的信号值，利用标准浓度值和SF6纯度传感器10感应的信号值，采用最小二乘法对SF6纯度传感器10进行标定；
[0085]S207:通过标定进气口通入浓度为99.9%纯SF6气体，I分钟后，通过监控主机25控制关闭第九电磁阀5.9和第十电磁阀5.10 ;通过监控主机25控制打开第七电磁阀5.7和第八电磁阀5.8，I分钟后，再通过监控主机25控制关闭第七电磁阀5.7和第八电磁阀5.8 ;通过监控主机25控制打开第五电磁阀5.5和第六电磁阀5.6，I分钟后，再通过监控主机25控制关闭第五电磁阀5.5和第六电磁阀5.6 ;从而使第一 SO2浓度检测单元20、第二 SO 2浓度检测单元21和第三SO2浓度检测单元22充有约I个大气压的纯SF 6气体，保证第一 SO 2浓度传感器12.1、第二 SO2浓度传感器12.2、第三SO2浓度传感器12.3达到运行环境压力的要求；
[0086]S208:手动关闭第一球阀8.1和第二球阀8.2，完成SF6纯度传感器10、第一 SO 2浓度传感器12.1、第二 SO2浓度传感器12.2和第三SO 2浓度传感器12.3的标定。
[0087]所述步骤S3在本发明初装或检修时进行如下步骤:
[0088]S300:将真空泵连接至抽真空口 18 ；
[0089]S301:手动打开第三球阀8.3和第四球阀8.4，调整减压阀7出口压力至2个大气压；通过监控主机25打开第一电磁阀5.1、第二电磁阀5.2、第三电磁阀5.3、第四电磁阀5.4、第^ 电磁阀5.11和第十二电磁阀5.12 ；
[0090]S302:启动真空泵，对除第一 SO2浓度检测单元20、第二 SO2浓度检测单元21和第三SO2浓度检测单元22外的所有气路抽真空，同时观察监控主机25测得的第一压力传感器
11.1和第二压力传感器11.2的压力值，达到真空度要求时，监控主机25自动关闭第一电磁阀5.1、第二电磁阀5.2、第三电磁阀5.3、第四电磁阀5.4、第^^一电磁阀5.11和第十二电磁阀5.12，手动关闭第四球阀8.4，最后关闭真空栗。
[0091]本说明书未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
【主权项】
1.一种多通道六氟化硫绝缘电气设备在线监测装置，其特征在于:包括取样检测气路系统(24)、监控主机(25)，所述取样检测气路系统(24)包括SF6纯度检测单元(19)、第一SO2浓度检测单元(20)、第二 SO2浓度检测单元(21)、第三SO2浓度检测单元(22)、共用回气通道(23)，还包括第一接口转换阀(2.1)、第二接口转换阀(2.2)、第三接口转换阀(2.3)、第一过滤器(3.1)、第二过滤器(3.2)、第三过滤器(3.3)、第一三通(4.1)、第二三通(4.2)、第三三通(4.3)、第五三通(4.5)、第六三通(4.6)、第一电磁阀(5.1)、第二电磁阀(5.2)、第三电磁阀(5.3)、第四电磁阀(5.4)、第^ 电磁阀(5.11)、第十二电磁阀(5.12)、第一四通(6.1)、第二四通(6.2)、第三四通(6.3)、第四四通(6.4)、第二球阀(8.2)、第三球阀(8.3)、第四球阀(8.4)、第二流量计(9.2)、第二压力传感器(1L2)、缓冲单元(13)、真空加压泵(14)、微水传感器(15)、电控四通切换阀(16)、第一单向阀(17.1)、第二单向阀(17.2)、第三单向阀(17.3)、抽真空口(18)，其中: 所述第一接口转换阀(2.1)的一端连接待测的第一 SF6绝缘电气设备(1.1)，第一接口转换阀(2.1)的另一端连接第一过滤器(3.1)的一端，第一过滤器(3.1)的另一端连接第一三通(4.1)的第一接口，第一三通(4.1)的第二接口通过第一电磁阀(5.1)连接第一四通(6.1)的第一接口，所述第一四通(6.1)的第二接口通过第四电磁阀(5.4)连接第二四通(6.2)的第一接口，所述第二接口转换阀(2.2)的一端连接待测的第二 SF6绝缘电气设备(1.2)，第二接口转换阀(2.2)的另一端连接第二过滤器(3.2)的一端，第二过滤器(3.2)的另一端连接第二三通(4.2)的第一接口，第二三通(4.2)的第二接口通过第二电磁阀(5.2)连接第二四通(6.2)的第二接口，所述第三接口转换阀(2.3)的一端连接待测的第三SF6绝缘电气设备(1.3)，第三接口转换阀(2.3)的另一端连接第三过滤器(3.3)的一端，第三过滤器(3.3)的另一端连接第三三通(4.3)的第一接口，第三三通(4.3)的第二接口通过第三电磁阀(5.3)连接第二四通(6.2)的第三接口，所述第二四通(6.2)的第四接口连接SF6纯度检测单元(19)的输入端，SF6纯度检测单元(19)的第一输出端连接第三四通(6.3)的第一接口，SF6纯度检测单元(19)的第二输出端通过第十一电磁阀(5.11)接入第一四通(6.1)的第三接口，第一四通(6.1)的第四接口连接第六三通(4.6)的第一接口，第三四通(6.3)的第二接口连接第一 SO2浓度检测单元(20)的输入端，第一 SO 2浓度检测单元(20)的输出端连接第四四通(6.4)的第一接口，第三四通(6.3)的第三接口连接第二SO2浓度检测单元(21)的输入端，所述第二 SO2浓度检测单元(21)的输出端连接第四四通(6.4)的第二接口，所述第三四通(6.3)的第四接口连接第三302浓度检测单元(22)的输入端，所述第三SO2浓度检测单元(22)的输出端连接第四四通(6.4)的第三接口，第四四通(6.4)的第四接口连接第五三通(4.5)的第一接口，第五三通(4.5)的第二接口通过第三球阀(8.3)与缓冲单元(13)的第一接口连接，缓冲单元(13)的第二接口连接真空加压泵(14)的输入端，真空加压泵(14)的输出端与电控四通切换阀(16)的第一接口连接，所述第五三通(4.5)的第一接口与第四四通(6.4)的第四接口之间设有第二流量计(9.2)，所述第五三通(4.5)的第三接口连接第二球阀(8.2)，所述缓冲单元(13)的第三接口连接第二压力传感器(11.2)，缓冲单元(13)的第四接口连接微水传感器(15)，缓冲单元(13)的第五接口通过第十二电磁阀(5.12)与第六三通(4.6)的第三接口连接，所述第六三通(4.6)的第二接口通过第四球阀(8.4)与抽真空口(18)连接，所述电控四通切换阀(16)的第二接口连接第一单向阀(17.1)的输入端，第一单向阀(17.1)的输出端连接第一三通(4.1)的第三接口，电控四通切换阀(16)的第三接口连接第二单向阀(17.2)的输入端，第二单向阀(17.2)的输出端连接第二三通(4.2)的第三接口，电控四通切换阀(16)的第四接口连接第三单向阀(17.3)的输入端，第三单向阀(17.3)的输出端连接第三三通(4.3)的第三接P ; 所述监控主机(25)包括气路控制模块、信号预处理模块、A/D采集模块、DSP处理器模块、故障诊断模块、状态显示模块和通讯模块，其中，所述DSP处理器模块的第一接口连接气路控制模块的信号输入端，气路控制模块的信号输出端通过信号线分别连接取样检测气路系统中的第一电磁阀(5.1)、第二电磁阀(5.2)、第三电磁阀(5.3)、第四电磁阀(5.4)、第五电磁阀(5.5)、第六电磁阀(5.6)、第七电磁阀(5.7)、第八电磁阀(5.8)、第九电磁阀(5.9)、第十电磁阀(5.10)、第^^一电磁阀(5.11)、第十二电磁阀(5.12)、第一流量计(9.1)、第二流量计(9.2)、真空加压泵14和电控四通切换阀16的控制端，所述预处理模块的信号输入端通过信号线分别连接SF6纯度传感器(10)、第二压力传感器(11.2)、微水传感器(15)、SF6纯度检测单元(19)的第一压力传感器(11.1)、第一 SO2浓度检测单元(20)的第一 SO2浓度传感器(12.1)、第二 SO2浓度检测单元(21)的第二 SO2浓度传感器(12.2)、第三SO2浓度检测单元(22)的第三SO2浓度传感器(12.3)的信号输出端，预处理模块的信号输出端连接A/D采集模块的信号输入端，A/D采集模块的信号输出端连接DSP处理器的第二接口，DSP处理器的第三接口连接故障诊断模块的信号输入端，故障诊断模块的信号输出端连接状态显示模块的信号输入端，所述DSP处理器的第四接口连接通讯模块。
2.根据权利要求1所述的一种多通道六氟化硫绝缘电气设备在线监测装置，其特征在于:所述SF6纯度检测单元(19)包括减压阀(7)、第四三通(4.4)、第一流量计(9.1)5?6纯度传感器(10)、第一球阀(8.1)、第一压力传感器(11.1)，其中，所述第四三通(4.4)的第一接口通过减压阀(7)与第二四通(6.2)的第四接口连接，第四三通(4.4)的第二接口与第三四通(6.3)的第一接口连接，所述第四三通(4.4)的第二接口通过第一流量计(9.1)、第一压力传感器(11.D和SF6纯度传感器(10)连接第三四通(6.3)的第一接口，所述第四三通(4.4)的第二接口还通过第一流量计(9.1)和SF6纯度传感器(10)连接第十一电磁阀(5.11)的输入端，所述第四三通(4.4)的第三接口连接第一球阀(8.1)，所述3匕纯度传感器(10)还连接第一压力传感器(11.1)。
3.根据权利要求1所述的一种多通道六氟化硫绝缘电气设备在线监测装置，其特征在于:所述第一 SO2浓度检测单元(20)包括第五电磁阀(5.5)、第一 SO2浓度传感器(12.1)、第六电磁阀(5.6)，所述第一 SO2浓度传感器(12.1)的进气口通过第五电磁阀(5.5)与第三四通(6.3)的第二接口连接，所述第一 SO2浓度传感器(12.1)的出气口通过第六电磁阀(5.6)与第四四通(6.4)的第一接口连接。
4.根据权利要求1所述的一种多通道六氟化硫绝缘电气设备在线监测装置，其特征在于:所述第二 SO2浓度检测单元(21)包括第七电磁阀(5.7)、第二 SO 2浓度传感器(12.2)、第八电磁阀(5.8)，所述第七电磁阀(5.7)和第八电磁阀(5.8)之间的管路设置第二 S02&度传感器(12.2)，第七电磁阀(5.7)与第三四通(6.3)的第三接口连接，第八电磁阀(5.8)与第四四通(6.4)的第二接口连接。
5.根据权利要求1所述的一种多通道六氟化硫绝缘电气设备在线监测装置，其特征在于:所述第三SO2浓度检测单元(22)包括第九电磁阀(5.9)、第三SO 2浓度传感器(12.3)、第十电磁阀(5.10)，所述第九电磁阀(5.9)和第十电磁阀(5.10)之间的管路设置第三SO2浓度传感器(12.3)，第九电磁阀(5.9)与第三四通(6.3)的第四接口连接，第十电磁阀(5.10)与第四四通