一种磨片装置的制造方法

文档序号:8486371阅读:380来源:国知局
一种磨片装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种磨片装置,尤其适用于如硅片、电池片等的薄片型样品。
【背景技术】
[0002]目前,在光伏行业,为了对样品(如硅片、电池片等)进行检测,一般采用扫描电镜进行表面形貌观察和断口失效分析等作业。而在进行上述检测之前,一般需要对样品进行磨片作业,以将样片的需要观察分析处显露出来。
[0003]现有技术中,一般采用普通的磨片机进行磨片作业,即用手拿住硅片(或电池片),对着砂轮进行磨片。但这种方式存在如下问题:(I)由于磨片时会产生大量热量,引起硅片发热,导致烫手无法拿捏;(2)用手对着砂轮进行磨片时,磨片角度单一,无法进行特殊角度的磨片作业,且磨片厚度不可控、硅片工作面不平。
[0004]针对上述问题,现场操作人员采用了一些夹持用具,如夹子,虽然解决了上述第一个问题,但仍然无法解决第二个问题。此外,由于夹持用具夹持样片的力很难控制,且在磨片时,样品接触砂轮的力也很难控制,还会产生磨片碎裂的问题。
[0005]因此,开发一种磨片装置,以实现任意角度的精确地磨片,且能有效防止磨片碎裂的问题,显然具有积极的现实意义。

【发明内容】

[0006]本发明的发明目的是提供一种磨片装置。
[0007]为达到上述发明目的,本发明采用的技术方案是:一种磨片装置,包括机架和设于机架上的磨片机,还包括夹持机构,
所述夹持机构包括可升降平台,可升降平台的表面固设有旋转轴台,且旋转轴台的旋转滑台的旋转面位于竖直平面内,使旋转滑台相对于可升降平台具有旋转自由度;
所述旋转轴台的旋转滑台上固设有连接板,连接板的一端固定连接于旋转滑台上,另一端固设有上下微调机构;
所述上下微调机构包括固定板、精密线型导轨和锁紧块,所述固定板的一侧与所述连接板固定连接,固定板内设有精密线型导轨,并使精密线型导轨相对于固定板具有上下运动的自由度;精密线型导轨上固设有锁紧块;
还包括样品台,样品台与所述锁紧块构成可拆卸连接结构。
[0008]上文中,所述磨片机可以采用现有技术,例如采用砂轮磨片机。
[0009]所述可升降平台是用来实现样品上下位置的调整;所述旋转轴台是用来实现样品周向旋转位置的调整(竖直平面内);
所述上下微调机构不仅可以用来实现样品上下位置的微量调整,而且还可以控制磨片时的进给量。
[0010]上述技术方案中,所述样品台包括样片定位体、样片压板,
所述样片定位体上设有定位孔,定位孔内设有磁铁,所述样片压板上设有配合的导位柱,使样片压板磁性连接于样片定位体上;
所述样片定位体上设有样片放置凹槽,样片压板上设有配合的压块;
所述样片定位体上还设有至少2个导向孔,所述锁紧块上设有配合的插位销。
[0011]所述样片定位体上设有至少2个导向孔,锁紧块上设有配合的插位销;从而使样片定位体旋转着变换方位,实现样品周向旋转位置的调整(水平平面内)。
[0012]上述技术方案中,所述可升降平台包括上下平行设置的压板和底板,底板和压板之间设有至少2根压板导柱,底板和压板之间的压板导柱上设有弹簧,各压板导柱上均设有锁紧螺母,使压板相对于底板实现上下运动。
[0013]上述技术方案中,所述旋转轴台包括旋转滑台锁紧板、旋转滑台,旋转滑台的一侧设有大角度限位锁紧螺丝,另一侧设有微调角度支撑板、微调角度千分尺和微调角度限位锁紧螺丝。
[0014]上述技术方案中,所述固定板和精密线型导轨之间通过弹性伸缩挂钩连接,且固定板的顶部还设有上下移动千分尺,使精密线型导轨相对于固定板具有上下运动的自由度。
[0015]上述技术方案中,所述锁紧块呈T形,其端面与精密线型导轨固定连接,另一面上设有锁紧螺丝,样品台上设有配合的锁紧孔,使样品台与锁紧块构成可拆卸连接结构。
[0016]由于上述技术方案运用,本发明与现有技术相比具有下列优点:
1、本发明设计了一种新的磨片装置,通过设置可升降平台来实现样品上下位置的调整、设置旋转轴台来实现样品周向旋转位置的调整,从而实现了任意角度的精确磨片,大角度可调范围为0~360度,精度为I度,微角可调范围为0~5度,精度为0.2度,具有积极的现实意义;
2、本发明设置了上下微调机构,在磨片时可以通过该机构来控制样品的进给量,由于上下微调机构的精度非常小,移动精度为0.02 mm,可实现可控尺寸的磨片,因此能有效防止磨片碎裂的问题;
3、本发明的样片定位体上设有样片放置凹槽,且样片压板磁性连接于样片定位体上,可以实现可靠的夹持,避免了现有人工夹持样片存在的烫手问题,实现了自动化;
4、本发明的结构简单,成本较低,适于推广应用。
【附图说明】
[0017]图1是本发明实施例一的立体图。
[0018]图2是本发明实施例一中旋转轴台的立体图。
[0019]图3是本发明实施例一中上下微调机构的立体分解图。
[0020]图4是本发明实施例一中样品台的立体图。
[0021]图5是本发明实施例一中样片定位体的立体图。
[0022]其中:1、底板;2、压板;3、弹簧;4、压板导柱;5、锁紧螺母;6、夹持机构;7、旋转滑台支撑板;8、微调角度支撑板;9、微调角度千分尺;10、大角度限位锁紧螺丝;11、微调角度限位锁紧螺丝;12、旋转滑台;13、连接板;14、固定板;15、上下移动千分尺;16、弹性伸缩挂钩;17、挂钩杆;18、限位销;19、精密线型导轨;20、锁紧块;21、锁紧螺丝;22、插位销;23、样片定位体;24、磁铁;25、样片压板;26、导位柱;27、导向孔;28、锁紧孔。
【具体实施方式】
[0023]下面结合附图和实施例对本发明进一步描述。
[0024]实施例一:
参见图1~5所示,一种磨片装置,包括机架和设于机架上的磨片机,还包括夹持机构6,所述夹持机构包括可升降平台,可升降平台的表面固设有旋转轴台,且旋转轴台的旋转滑台的旋转面位于竖直平面内,使旋转滑台相对于可升降平台具有旋转自由度;
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