有源分路源测量单元(smu)电路的制作方法
【技术领域】
[0001] 本公开技术一般涉及源测量单元（SMU)电路，并且更具体而言，涉及有源分路电路 技术的某些方面并入到SMU电路中。
【背景技术】
[0002] 典型的有源分路电路一般使用增益和电容来产生虚拟阻抗，虚拟阻抗是实际电阻 除以增益。图1是图示了传统有源分路电路100的示例的电路图。在示例中，所述有源分 路电路100使用增益G 1(S)和电容Ctl来产生虚拟阻抗Zin，虚拟阻抗Zin是实际电阻R tl 除以增益（α)。
[0003] 图2是图示了传统的两范围自动设换的源测量单元（SMU)电路200的第一示例的 电路图。该SMU电路200包括电压源V-DAC，电流源I-DAC，以及与被测设备（DUT)电耦合 的第一放大器206。
[0004] 所述SMU电路200还包括在DUT和电流源I-DAC之间或DUT和缓冲器210之间（取 决于第一开关S 1的当前位置）电耦合的第二放大器208。第一增益级放大器212和第二增 益级放大器214被电耦合在DUT和电压源V-DAC之间或DUT和缓冲器210之间，这取决于 第二开关S 2的当前位置。第一电阻器Rtl与DUT和缓冲器210电耦合。第二电阻器R1被电 耦合在第一电阻器R tl和第二电阻器R :之间。
[0005] 在示例中，当两个开关SdP S 2在如图所示的向下的位置时，所述SMU电路200提 供跨DUT的电压。SMU电路200具有在DUT和电流感应电阻器之间具有相互作用的控制回 路，其可以由下式确定： 其中Rs是第一电阻器Rtl玫弟二电阻益K
【主权项】
1. 一种用于输出电压和电流到被测设备（DUT)的电路，所述电路包括： 配置成与DUT电耦合的输出；以及 与输出电耦合的电源供应电路，其中所述电源供应电路可操作通过改变通过输出提供 的电流来调节施加到输出的电压，并且其中所述电源供应电路进一步可操作通过改变施加 到输出的电压来调节通过输出提供的电流，所述电源供应包括至少一个检测电阻器，其与 输出串联并且可操作来测量通过输出提供的电流，其中，当所述电源供应电路在调节施加 到输出的电压时，可控的反馈增益被施加到所述至少一个检测电阻器，以减少对电压调节 的表观电阻。
2. 如权利要求1所述的电路，其中，当所述电源供应电路在调节通过输出提供的电流 时，可控的反馈增益并不被施加到所述至少一个检测电阻器。
3. 如权利要求2所述的电路，其中至少一个检测电阻器包括具有与输出电耦合的第一 端的第一电阻器R。。
4. 如权利要求3所述的电路，其中所述电源供应电路包括与第一电阻器RC1并联电耦合 的第一电容器Ctl。
5. 如权利要求4所述的电路，其中所述电源供应电路包括： 与输出电親合的第一放大器； 在输出和第一开关之间电耦合的第二放大器； 在输出和第二开关之间电耦合的第一增益级放大器； 在输出和第一增益级放大器之间电耦合的第二增益级放大器； 在第三放大器和第一电阻器Rtl之间电耦合的第二电阻器R1;以及 与第二电阻器R1并联电耦合的第二电容器Cp
6. 如权利要求5所述的电路，进一步包括作为到第一和第二增益级放大器的反馈增加 的两个电阻器Ra和RB。
7. 如权利要求5所述的电路，其中所述第二电阻器R1的电阻由下式定义： R1 = (k - I) R0。
8. 如权利要求5所述的电路，其中所述第二电容器Ci的电容由下式定义： C1 = C0 / (k - 1)。
9. 如权利要求5所述的电路，其中所述第一开关被配置成切换与输出电耦合的缓冲 器。
10. 如权利要求9所述的电路，其中所述第二开关被配置成切换缓冲器，并且进一步， 其中仅仅第一开关和第二开关中的一个在任何给定的时间与缓冲器电耦合。
11. 如权利要求9所述的电路，其中所述第二开关被配置成切换与输出电耦合的缓冲 器。
【专利摘要】有源分路源测量单元（SMU）电路可以包括SMU或具有与SMU电路的电流测量子电路集成的有源分路电路的电源。有源分路电路可以在SMU电路的电压输出期间有效，并且在SMU电路的电流输出期间无效。
【IPC分类】G01R1-28, G01R1-30
【公开号】CN104808031
【申请号】CN201510034507
【发明人】W.C.格克
【申请人】基思利仪器公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年1月23日
【公告号】EP2899549A1, US20150212110