容，所属领域技术人员将想到的。
[0084]虽然本文已经参照具体方面、特征和示例性实施方案阐述了本公开内容，但应当理解，本公开内容的效用不会因此受限制，而是扩展到并且包括许多其他变体、改型和替代实施方案，如基于本文的描述，本公开内容的领域中的普通技术人员将想到的。因此，在下文中所要求保护的本发明旨在被宽泛地解释和理解成包括在本发明的精神和范围内的所有这样的变体、改型和替代实施例。
【主权项】
1.一种用于测定阀结构的可接受性的光电检查系统，包括: 一个检查站，适于定位所述阀结构以用于光电成像； 一个光源，被布置以使光照射在所述阀结构上； 一个相机/透镜组件，被布置以接收由所述阀结构和从所述光源照射在所述阀结构上的光的相互作用引起的光，并且作为响应生成一个光电成像输出； 一个中央处理单元，被布置以接收来自所述相机/透镜组件的所述光电成像输出，并且作为响应生成一个指示所述阀结构是否满足预定的可接受性标准的检查输出。
2.根据权利要求1所述的光电检查系统，其中适于定位用于光电成像的所述阀结构的所述检查站包括一个夹持器，用于将一个包括阀头组件的流体供应封装件固位在用于光电检查的所述位置内，所述阀头组件包括所述阀结构。
3.根据权利要求1所述的光电检查系统，其中所述光源包括一个照明设备，所述照明设备选自由白炽灯、发光二极管、激光器、紫外线灯和红外线灯组成的组。
4.根据权利要求1所述的光电检查系统，其中所述光源发出可见光。
5.根据权利要求1所述的光电检查系统，其中所述光源发出红外线辐射。
6.根据权利要求1所述的光电检查系统，其中所述光源发出紫外线辐射。
7.根据权利要求1所述的光电检查系统，其中所述中央处理单元包括一个处理器，所述处理器生成一个指示所述阀结构是否满足预定的可接受性标准的色度检查输出。
8.根据权利要求7所述的光电检查系统，其中当一个阀结构满足所述预定的可接受性标准时，所述色度检查输出包括一个绿色输出，且当一个阀结构不满足所述预定的可接受性标准时，所述色度检查输出包括一个红色输出。
9.根据权利要求1所述的光电检查系统，其中所述中央处理单元包括一个非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储用于测定一个阀结构的可接受性的机器可执行指令。
10.根据权利要求1所述的光电检查系统，其中所述中央处理单元包括一个非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储可接受的阀结构的标准的一个数据库。
11.根据权利要求1所述的光电检查系统，其中所述中央处理单元适于处理来自所述相机/透镜组件的所述光电成像输出，以测定所述光电成像输出与所述可接受的阀结构的标准的一致性，从而作为响应生成指示所述阀结构是否满足预定的可接受性标准的检查输出。
12.根据权利要求1所述的光电检查系统，还包括一个运输机装置，所述运输机装置适于根据流体供应封装件中的阀结构与所述预定的可接受性标准的匹配程度，将流体供应封装件从所述检查站移动到多个接收区域中的一个。
13.根据权利要求12所述的光电检查系统，其中所述接收区域包括:第一区域，用于接收流体供应封装件的阀结构满足所述预定的可接受性标准的流体供应封装件；以及，第二区域，用于接收流体供应封装件的阀结构不满足所述预定的可接受性标准的流体供应封装件。
14.根据权利要求12所述的光电检查系统，其中所述接收区域包括第三区域，用于接收这样的流体供应封装件:所述流体封装件的阀结构不满足所述预定的可接受性标准，但是处于一个预定的、足够接近所述预定的可接受性标准以内，从而能够重新加工以产生一个满足所述预定的可接受性标准的经重新加工的阀结构。
15.一种用于测定阀结构的可接受性的方法，包括: 将来自一个光源的光照射在所述阀结构上，以引起所照射的光和所述阀结构的相互作用从而产生一个成像响应； 基于所述成像响应，以光电方式生成一个光电成像输出；以及 经由一个接收和处理所述光电成像输出的中央处理单元，以电子方式生成一个指示所述阀结构是否满足预定的可接受性标准的检查输出。
16.根据权利要求15所述的方法，其中所述阀结构是流体供应封装件的阀头组件的一个部件。
17.根据权利要求15所述的方法，其中所述光源包括一个照明设备，所述照明设备选自由白炽灯、发光二极管、激光器、紫外线灯和红外线灯组成的组。
18.根据权利要求15所述的方法，其中所述光源发出可见光。
19.根据权利要求15所述的方法，其中所述光源发出红外线辐射。
20.根据权利要求15所述的方法，其中所述光源发出紫外线辐射。
21.根据权利要求15所述的方法，其中所述检查输出包括一个指示所述阀结构是否满足预定的可接受性标准的色度检查输出。
22.根据权利要求21所述的方法，其中当一个阀结构满足所述预定的可接受性标准时，所述色度检查输出包括一个绿色输出，且当一个阀结构不满足所述预定的可接受性标准时，所述色度检查输出包括一个红色输出。
23.根据权利要求15所述的方法，其中所述中央处理单元包括一个非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储用于测定一个阀结构的可接受性的机器可执行指令。
24.根据权利要求15所述方法，其中所述中央处理单元包括一个非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储可接受的阀结构的标准的一个数据库。
25.根据权利要求15所述的方法，其中所述中央处理单元适于处理所述光电成像输出，以测定所述光电成像输出与所述可接受的阀结构的标准的一致性，从而作为响应生成指示所述阀结构是否满足预定的可接受性标准的检查输出。
26.根据权利要求15所述的方法，还包括在生成所述检查输出之后，根据流体供应封装件中的阀结构与所述预定的可接受性标准的匹配程度将包括所述阀结构的流体供应封装件机械地移动到多个接收区域中的一个。
27.根据权利要求26所述的光电检查系统，其中所述接收区域包括:第一区域，用于接收流体供应封装件的阀结构满足所述预定的可接受性标准的流体供应封装件；以及，第二区域，用于接收流体供应封装件的阀结构不满足所述预定的可接受性标准的流体供应封装件。
28.根据权利要求26所述的方法，其中所述接收区域包括第三区域，用于接收这样的流体供应封装件:所述流体供应封装件的阀结构不满足所述预定的可接受性标准，但是在一个预定的、足够接近所述预定的可接受性标准以内，从而能够重新加工以产生一个满足所述预定的可接受性标准的经重新加工的阀结构。
29.一种非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储机器可执行指令，当所述机器可执行指令被执行时，实施对包括阀结构的流体分配阀的质量保证测定，其中光已经被照射在所述阀结构上，以产生一个成像响应，所述成像响应被以光电方式转换成一个光电成像输出，其中所述光电成像输出被处理，以生成一个指示所述阀结构是否满足预定的可接受性标准的检查输出。
30.根据权利要求29所述的非暂态计算机可读介质，其中处理所述光电成像输出包括使所述光电成像输出与用于正在经受质量保证测定的一种类型的阀的流体分配阀基线信息相关联，所述流体分配阀基线信息来自用于多种阀类型的流体分配阀基线信息的一个数据库。
【专利摘要】描述了一种光电检查系统，可用于流体分配阀的质量保证测定，所述流体分配阀如被安装在流体存储和分配容器上，以及描述了相关联的方法和非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储用于这样的质量保证测定的机器可执行指令。所述光电检查适用于流体存储和分配封装件上所使用的流量控制阀，所述流体存储和分配封装件包括基于物理吸收和/或压力调节的容器，诸如被用于供应在半导体产品、平板显示器以及太阳能板的制造中使用的过程流体。
【IPC分类】G01N21-88, G01B11-00, H01L21-66
【公开号】CN104870983
【申请号】CN201380064238
【发明人】T·查特顿, S·千
【申请人】恩特格里斯公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2013年10月12日
【公告号】US20150276619, WO2014059395A1