一种氦气检测系统双样件防误判校准方法以及装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种氦气检测系统防误判校准方法及其装置，属于利用惰性气体进行密封性检测技术领域，尤其涉及一种通过在氦气检测系统交替安装密封样件和泄漏样件对氦气检测系统进行防误判校准的方法及其装置。
【背景技术】
[0002]氦气检测是一种以氦气作为示踪气体，使用氦质谱检漏仪进行泄漏检测的密封检测技术。氦质谱检漏方法很多，有喷吹法、氦罩法、吸氦法、预充氦法和真空室法等。对密闭容器整体检漏常用真空室法。该方法的原理是将被检容器放入一个真空室内，真空室与检漏仪相连，用检漏仪(可加辅助泵)对真空室抽真空，到达本底状态后，记录检漏仪测出的本底氦信号值队；打开接在真空室上的标准漏孔，测出标准漏孔开启后的氦信号Ui,关闭标准漏孔待氦信号再次达到本底状态后，通过贯穿真空室与被检容器的密封管路对被检容器内充氦，被检部位如果有漏，氦气通过漏孔(泄漏通道)泄漏到真空室，检漏仪可检测出容器泄漏的氦信号U2,同标准漏孔的信号比对可计算出被检容器的整体漏率值。由此可见，在利用真空室法对待测件进行氦质谱检漏时，需要首先对氦气检测系统的准确性进行校验，才能最好的保证检漏的准确性。
[0003]但是在现有技术中，如中国发明专利说明书CN102494852B中公开了一种校准氦质谱检漏仪的方法，该方法的主要目的在于提供一种校准氦质谱检漏仪的方法，该方法能够对氦质谱检漏仪宽量程范围内进行校准，提高了校准的准确性，校准过程简单易行，测量时间周期短，测量不确定度小，但是这仅仅只是针对氦气检测系统中的氦质谱检漏仪的校准，不能保证整个氦气检测系统的其他部分工作时不产生问题。
[0004]而在中国发明专利说明书CN103822761A中公开了一种密封性检测装置及方法，该发明的检测装置包括:示漏气体源，用于向被检件的一侧提供示漏气体；气密室，连接示漏气体源与被检件的所述一侧，并提供两者间的气密性通道；检漏仪，位于被检件的另一侦牝用于检测穿过被检件的示漏气体。虽然发明可提高密封性检测的准确性，但是仅仅是在该检测装置能够正常工作的情况下得出密封性检测的结构，而如何检验该检测装置是否正常工作的方法以及装置，该发明的说明书中并没有公开。
[0005]在现有技术中，氦气检测系统日常生产时通常由生产人员按照较短的周期(每班/每天/每周等)对氦气检测系统的准确性进行校验，校准链由I个密封样件1、1个大值标准流量头2和I个小值标准流量头3组成，如图1所示。现有的氦气检测系统校准步骤如下:
[0006]1、校准密封样件:将密封样件I放入测量台，氦气通过充气装置充入到密封样件，进行5-10次重复性测量，记录结果；
[0007]2、校准大值标准流量头:不取出密封样件，将大值标准流量头和密封样件一起，进行5-10次重复性测量，记录结果；
[0008]3、校准小值标准流量头:不取出密封样件，将小值标准流量头+密封样件进行5-10次重复性测量，记录结果。三次的测量结果都满足给定的评判范围时即判定氦气检测系统校准合格，即检测结果是准确可信的。
[0009]这种现有技术中校准氦气检测系统准确性的方案存在不足之处:当氦气充气装置出现异常氦气没有充入被测试零件时，步骤1、2、3的测量结果都满足给定的评判范围，但是此种情况下，测得的结构由于本来就没有氦气充入，所以测得结果肯定是合格的，所以该测量系统测得的结果只是一种假象，是不可靠的。
【发明内容】
[0010]针对上述现有技术存在的缺陷，本发明要解决的技术问题是提供一种氦气检测系统双样件防误判校准方法以及一种氦气检测双样件防误判校准系统，利用该方法对氦气检测系统的准确性进行校验不仅简单，而且可靠性高；同时氦气检测双样件防误判校准系统的结构简单、操作方便、兼容性好，不用对现有技术中的氦气检测系统进行大幅度的修改或重新设计。
[0011]为解决上述技术问题，本发明采用了这样一种氦气检测系统双样件防误判校准方法，其在对氦气检测系统进行校准前先利用泄漏样件判定氦气检测系统中的氦气充气装置能够工作。
[0012]在本发明公开了的一种优选实施方案中，所述泄漏样件可拆卸地连接于所述氦气检测系统的真空箱内，并与所述氦气检测系统的氦气充气装置相连。
[0013]在本发明公开了的一种优选实施方案中，利用泄漏样件判定氦气检测系统中的氦气充气装置能够工作的步骤包括:将泄漏样件安装连接于所述氦气检测系统的真空箱内后，利用氦气充气装置向泄漏样件内充入氦气，然后利用所述氦气检测系统的氦质谱检测仪检测是否有氦气泄漏；如果氦质谱检测仪在每次校准时均测量出氦气泄漏，则氦气充气装置校准合格。
[0014]在本发明公开了的一种优选实施方案中，当确认氦气充气装置能够正常释放氦气后，利用密封样件对氦气检测系统进行校准。
[0015]在本发明公开了的一种优选实施方案中，所述密封样件可拆卸地连接于所述氦气检测系统的真空箱内，并与所述氦气检测系统的氦气充气装置相连。
[0016]在本发明公开了的一种优选实施方案中，利用密封样件对氦气检测系统进行校准的步骤包括:密封样件校准、大值标准流量头校准和小值标准流量头校准。
[0017]在本发明公开了的一种优选实施方案中，密封样件、大值标准流量头和小值标准流量头三者的校准测量步骤重复5-10次。
[0018]在本发明公开了的一种优选实施方案中，当密封样件、大值标准流量头和小值标准流量头三者的校准测量结果均在给定的评判范围内时，所述氦气检测系统校准合格。
[0019]本发明还公开了一种氦气检测双样件防误判校准装置，其包括氦气供应装置，充气装置，真空箱，真空泵，氦质谱检测仪，大值标准流量头和小值标准流量头；所述真空箱一端与所述真空泵连接，另一端连接有所述氦质谱检测仪；所述真空箱内可拆卸的连接有密封样件；所述充气装置的输入端与所述氦气供应装置连接；所述充气装置的输出端与所述密封样件连接；所述大值标准流量头和所述小值标准流量头的输入端与所述氦气供应装置的输出端连接；所述大值标准流量头和所述小值标准流量头的输出端与所述真空箱连接，其特征在于:所述密封样件可替换为泄漏样件。
[0020]本发明的有益效果是:本发明结构简单，通过在传统氦气检测系统校准方法的步骤前增加一个确认氦气充气装置正常工作的步骤保证了氦气检测系统中确实有氦气充入，从而使得氦气检测系统的校准更准确，并且该系统装置结构简单，只需要通过设计一个可以与原密封样件替换的泄漏样件装入真空箱内，即可以完成校验。
【附图说明】
[0021]图1是现有技术中的氦气检测系统准确性校验装置的示意图；
[0022]图2是本发明实施例一种氦气检测双样件防误判校准系统的结构示意图；
[0023]图中:1-密封