膜厚的检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本申请涉及薄膜厚度检测的技术领域，具体而言，涉及一种膜厚的检测装置。
【背景技术】
[0002]薄片状物品，如纸张、票据、塑料薄膜、纺织物品等的在线连续厚度测量，在其产品的生产、检测、处理、回收等过程中处于越来越重要的地位。当前，薄膜厚度的检测技术要包括霍尔、反射型超声波、透射型超声、电磁感应式、涡流式等技术。但这些技术对应的检测装置体积较大，成本较高，不利于这些技术的应用。
[0003]近年来，通过电极间的静电感应进行薄膜厚度的检测技术在不断研究探索之中，例如公开号CN210302446Y的专利公开的了一种电容式纸厚传感器，其主要是将电容器的容量变化转化成振荡频率的变化，再通过频压转换模块将频率的变化转换成电压的变化。公开号为CN103363887A的专利也公开了一种材料厚度的检测方法，利用平板电容的极板作为厚度检测的敏感器件，实测对象的厚度变化引起的电容活动极板产生位移，导致平板电容器的容量发生变化。
[0004]上述这些通过电极间的静电感应的检测薄膜厚度的技术在一定程度上减小了检测装置的体积，但仍需要传动机构，因此与检测设备的小型化发展还不相符。
[0005]另外，现有技术中的检测装置不能精确测量薄膜的厚度，不利于薄膜产品厚度的精确监控，进而不利于薄膜产品质量的监控。
【发明内容】
[0006]本申请旨在提供一种膜厚的检测装置，以解决现有技术中的检测装置不能准确地检测出薄膜的厚度的问题。
[0007]为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种膜厚的检测装置，该装置包括:公共电极、至少一个检测电极与检测电路，其中，各检测电极与上述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，且上述公共电极的第一公共表面与各上述检测电极的第一检测表面相对，上述第一公共表面与各上述第一检测表面之间形成待测膜的检测通道；检测电路与各上述检测电极电连接，上述检测电路包括误差消除单元，上述误差消除单元用于消除噪音信号，上述噪音信号为上述公共电极未加载电压时，上述检测电极上的电信号。
[0008]进一步地，上述检测电路还包括复位单元，上述复位单元与上述误差消除单元电连接，其中，上述复位单元用于存储上述噪音信号。
[0009]进一步地，上述检测电路还包括:移位控制单元与放大单元，其中，移位控制单元包括输入端，上述输入端与各上述检测电极电连接，上述移位控制单元用于控制多个上述检测电极的电信号的输出顺序；放大单元一端与上述移位控制单元的输出端电连接，另一端分别与上述复位单元和上述误差消除单元电连接，上述放大单元用于放大接收到的上述电信号。
[0010]进一步地，上述检测装置中包括多个上述检测电极，且多个上述检测电极被分为沿第二方向间隔设置的多个检测电极组，上述第二方向与上述待测膜的移动方向垂直，且与上述第一方向垂直，各上述检测电极组包括两个检测电极，上述移位控制单元包括两个移位控制模块，各上述检测电极组中的两个上述检测电极与两个上述移位控制模块的输入端对应电连接。
[0011]进一步地，上述放大单元为差分放大单元。
[0012]进一步地，上述检测电路还包括信号传输时序控制单元，上述信号传输时序控制单元设置在上述放大单元与上述复位单元之间，上述信号传输时序控制单元用于控制上述放大单元是否向上述复位单元输入上述电信号。
[0013]进一步地，上述检测装置还包括:第一基板与第二基板，其中，上述公共电极设置在上述第一基板的第一表面上，上述第一基板的第一表面与上述第一方向垂直；第二基板与上述第一基板在上述第一方向上间隔设置，上述第二基板的第一表面朝向上述第一基板的第一表面，并且与上述第一基板的第一表面平行，各上述检测电极设置在上述第二基板的第一表面上。
[0014]进一步地，上述第一基板与上述第二基板均为陶瓷基板。
[0015]进一步地，上述检测装置还包括:第一框体与第二框体，其中，上述第一基板设置在上述第一框体的第一表面上；第二框体与上述第一框体在上述第一方向上间隔设置，上述第二基板设置在上述第二框体的第一表面上。
[0016]进一步地，上述检测装置中还包括:第一保护层与第二保护层，其中，第一保护层设置在上述第一公共表面上；第二保护层设置在所有上述第一检测表面上。
[0017]进一步地，上述检测装置中还包括:第一导电薄膜与第二导电薄膜，其中，第一导电薄膜设置在上述公共电极与上述第一保护层之间；第二导电薄膜设置在所有上述检测电极与上述第二保护层之间。
[0018]应用本申请的技术方案，当公共电极上未加载电压时，检测电极由于外界的因素已经感应出一定量的电荷，这样的电信号实际为噪音信号，如果不消除这样的噪音信号直接进行检测，检测出的结果并不准确。本申请中利用误差消除单元消除检测电极上的噪音信号，进而消除了由于这一部分信号带来的检测误差，使得该检测装置的检测结果更加准确。
【附图说明】
[0019]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中:
[0020]图1示出了本申请一种典型实施方式提出的膜厚的检测装置的结构示意图；
[0021]图2示出了一种优选实施例提供的部分膜厚的检测装置的剖面结构示意图；
[0022]图3示出了一种优选实施例提供的部分膜厚的检测装置的剖面结构示意图；以及
[0023]图4示出了一种优选实施例提供的部分膜厚的检测装置的剖面结构示意图。
[0024]其中，上述附图包括以下附图标记:
[0025]2、检测电极组；3、检测电路；10、公共电极；20、检测电极；30、第一基板；40、第二基板；50、第一框体；60、第二框体；11、第一导电薄膜；12、第一保护层；21、第二导电薄膜；22、第二保护层；31、移位控制单元；32、放大单元；33、信号传输时序控制单元；34、复位单元；35、误差消除单元；201、第一检测电极；202、第二检测电极；311、第一移位控制模块；312、第二移位控制模块。
【具体实施方式】
[0026]应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0027]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述【具体实施方式】，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0028]正如【背景技术】所介绍的，现有技术中的检测装置不能精确测量薄膜的厚度，为了解决如上的技术问题，本申请提出了一种膜厚的检测装置。
[0029]本申请的一种典型的实施方式中，如图1所示，提供了一种膜厚的检测装置，该装置包括公共电极10、至少一个检测电极20与检测电路3。其中，各检测电极20与上述公共电极10在第一方向上相对且间隔设置，且上述公共电极10的第一公共表面与每个上述检测电极20的第一检测表面相对，上述第一公共表面与各上述第一检测表面之间形成待测膜的检测通道，检测电路3与各上述检测电极20电连接，上述检测电路3包括误差消除单元35，上述误差消除单元35用于消除噪音信号，上述噪音信号为上述公共电极未加载电压时，上述检测电极20上的电信号。
[0030]该检测装置中的该检测装置中，公共电极10与各检测电极20都是平面电极，公共电极10与检测电极20在第一方向上相对且间隔设置，公共电极10与每个检测电极20形成类似平板电容结构，并且二者之间没有固定的介质填充而是形成一个传输通道。当公共电极10上带电荷后，各检测电极20上就能感应出电荷。
[0031]检测电极20上感应出电荷的多少取决于相对设置