膜厚的检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本申请涉及膜厚的检测领域，具体而言，涉及一种膜厚的检测装置。
【背景技术】
[0002]在金融领域中，验钞机、ATM机与清分机通过各种方式对纸币的真伪进行鉴别并筛选，其中，很多都是通过对纸币的厚度的检测来辨别纸币的真伪。而纸币厚度的检测大多都采用压轮的检测方式，即纸币通过压轮时，测量压轮的间隙，进而通过间隙来判断纸币的厚度。这种检测方式存在很多缺点，包括检测结构庞大、分辨率不高、高速送入纸币时容易造成卡钞，且检测精度较低，例如，当纸币上贴有较小的异物时，不容易检测出来。
【发明内容】
[0003]本申请的主要目的在于提供一种膜厚的检测装置，以解决现有技术中的检测装置庞大且检测精度较低的问题。
[0004]为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种膜厚的检测装置，该检测装置包括至少一个公共电极与至少一个检测芯片，其中，各上述检测芯片包括:检测电极阵列，与上述公共电极在第一方向上相对且间隔设置，上述公共电极与上述检测电极阵列之间的间隔构成待测膜的传输通道，上述检测电极阵列包括多个检测电极;复位单元，与上述检测电极阵列中的各上述检测电极电连接，用于将各上述检测电极的电信号进行复位;初始放大单元，与上述检测电极阵列中的各上述检测电极电连接，上述初始放大单元用于放大各上述检测电极的电信号;移位控制单元，与上述初始放大单元电连接，上述移位控制单元用于控制放大后的多个上述电信号的输出顺序;扫描位总线，包括多个扫描连接点，一个上述扫描连接点与上述移位控制单元电连接;逻辑控制单元，用于接收外界的输入信号、产生控制上述检测芯片的控制信号与输出检测信号。
[0005]进一步地，上述检测芯片还包括:增益放大单元，包括第一输入端与第二输入端，上述第一输入端与一个上述扫描连接点电连接。
[0006]进一步地，上述初始放大单元为初始放大器阵列，上述初始放大器阵列包括多个初始放大器，上述初始放大器与上述检测电极一一对应，各上述初始放大器的输入端与对应的检测电极电连接。
[0007]进一步地，上述复位单元为复位开关阵列，上述复位开关阵列包括多个复位开关，上述复位开关与上述检测电极一一对应，各上述复位开关包括复位开关第一端、复位开关第二端与复位开关第三端，各上述复位开关第一端接入固定电压，上各述复位开关第二端接入复位信号，各上述复位开关第三端与对应的检测电极电连接，上述复位信号控制上述复位开关接通，将对应的上述检测电极的电信号进行复位。
[0008]进一步地，上述移位控制单元包括:移位开关阵列，包括多个移位开关，上述移位开关与上述初始放大器一一对应，各上述移位开关包括移位开关第一端、移位开关第二端与移位开关第三端，各上述移位开关第一端与对应的初始放大器的输出端电连接;移位控制电路与各上述移位开关第二端电连接，上述移位控制电路用于控制各上述移位开关的接通与关断。
[0009]进一步地，上述检测芯片还包括:扫描存储开关阵列，包括多个扫描存储开关，上述扫描存储开关与上述初始放大器一一对应，各上述扫描存储开关包括扫描存储开关第一端、扫描存储开关第二端与扫描存储开关第三端，各上述扫描存储开关第一端与对应的初始放大器的输出端电连接，各上述扫描存储开关第二端接入扫描开关信号；扫描存储电容阵列，包括多个扫描存储电容，上述扫描存储电容包括扫描电容第一端与扫描电容第二端，上述扫描存储电容与上述扫描存储开关一一对应，各上述扫描电容第一端电连接在对应的扫描存储开关第三端与对应的移位开关第一端之间，各上述扫描电容第二端接地，各上述扫描存储电容用于存储对应的初始放大器在扫描对应的检测电极时的输出电信号。
[0010]进一步地，上述检测芯片还包括:扫描位总线钳位开关，包括扫描钳位开关第一端、扫描钳位开关第二端与扫描钳位开关第三端，上述扫描钳位开关第一端电连接在上述扫描位总线与上述第一输入端之间，上述扫描钳位开关第二端接入钳位开关信号，上述扫描钳位开关第三端接入固定电压Vc，在读取各上述扫描存储电容的电信号前，上述钳位开关信号控制上述扫描位总线钳位开关接通，将上述扫描位总线的电压钳位到电压Vc。
[0011 ]进一步地，上述增益放大单元包括:增益放大器，包括两个输入端与一个输出端，两个输入端分别对应上述第一输入端与上述第二输入端，上述第一输入端与上述扫描位总线电连接;基准电压取样电路，与上述第二输入端电连接，上述基准电压取样电路用于调节上述增益放大器的输出电信号;输出缓冲电路，上述输出缓冲电路的输入端与上述增益放大器的上述输出端电连接，用于增加上述增益放大器的输出信号的驱动能力。
[0012]进一步地，上述移位开关阵列包括多对移位开关，多对上述移位开关与多个上述初始放大器对应，每对移位开关包括两个移位开关，分别是第一移位开关与第二移位开关，各上述第一移位开关包括第一移位开关第一端、第一移位开关第二端与第一移位开关第三端;各上述第二移位开关包括第二移位开关第一端、第二移位开关第二端与第二移位开关第三端，其中，各上述第一移位开关第一端与对应的扫描电容第一端电连接，各上述第一移位开关第三端与上述扫描位总线电连接，各上述第一移位开关第二端与上述移位控制电路电连接，且上述检测芯片还包括:复位存储开关阵列，包括多个复位存储开关，上述复位存储开关与上述初始放大器一一对应，各上述复位存储开关包括复位存储开关第一端、复位存储开关第二端与复位存储开关第三端，各上述复位存储开关第一端与对应的初始放大器的输出端电连接，各上述复位存储开关第二端接入复位开关信号;复位存储电容阵列，包括多个复位存储电容，上述复位存储电容与上述复位存储开关一一对应，各上述复位存储电容包括复位电容第一端与复位电容第二端，各上述复位电容第一端电连接在对应的复位存储开关第三端与对应的第二移位开关第一端之间，各上述复位电容第二端接地，各上述复位存储电容用于存储对应的初始放大器在复位对应的检测电极时的输出电信号；复位位总线，包括多个复位连接点，一个上述复位连接点电连接在各上述第二移位开关第三端与上述第二输入端，或者一个上述复位连接点与各上述第二移位开关第三端电连接，另一个上述复位连接点与上述第二输入端电连接。
[0013]进一步地，上述检测芯片还包括:复位位总线钳位开关，包括复位钳位开关第一端、复位钳位开关第二端与复位钳位开关第三端，上述复位钳位开关第一端电连接在上述复位位总线与上述第二输入端之间，上述复位钳位开关第二端接入上述钳位开关信号，上述复位钳位开关第三端接入固定电压Vc，在读取各上述复位存储电容的电信号前，上述钳位开关信号控制上述复位位总线钳位开关接通，将上述复位位总线的电压钳位到电压Vc。
[0014]进一步地，上述增益放大单元包括:增益放大器，包括两个输入端与一个输出端，两个输入端分别对应上述第一输入端与上述第二输入端，上述第一输入端与上述扫描位总线电连接，上述第二输入端与上述复位位总线电连接;基准电压取样电路，用于调节上述增益放大器的输出电信号;输出缓冲电路，上述输出缓冲电路的一个输入端与上述增益放大器的上述输出端电连接，用于增加上述增益放大器的输出信号的驱动能力。
[0015]进一步地，上述基准电压取样电路的基准电信号为基准电压，上述Vc与上述基准电压相同。
[0016]进一步地，上述逻辑控制单元包括输入引脚与输出引脚，其中，上述输出引脚为扫描结束信号引脚，当扫描结束时，用于输出脉冲信号，上述输入引脚包括:时钟信号引脚，用于为上述逻辑控制单元提供一个稳定的频率信号；扫描启动信号引脚，用于输入扫描启动信号；第一芯片选择引脚，用于控制上述检测芯片的检测信号输出的启动是由同一个上述检测芯片中的上述移位控制单元控制还是由与上述检测芯片连接的另一个上述检测芯片的上述输出引脚控制;分辨率选择引脚，用于控制上述检测芯片的厚度检测分辨率。
[0017]进一步地，上述检测芯片由结构膜层形成，上述结构膜层包括:基板；以及绝缘膜，设置于上述基板的表面上，上述绝缘膜中包括与上述基板接触设置的第一绝缘层，上述第一绝缘层为氧化绝缘层，上述检测电极阵列设置在上述绝缘膜的远离上述基板的表面上。
[0018]进一步地，上述检测电极为窄条状电极，上述窄条状电极在第二方向上的最大宽度小于在第三方向上的最大宽度，上述第二方向和上述第三方向均与上述第一方向垂直，且上述第三方向为上述待测膜的移动方向。
[0019]进一步地，至少一个上述检测电极包括多个顶电极与底电极区域，上述底电极区域设置在上述绝缘膜中，上述底电极区域与上述基板不接触设置，上述绝缘膜的远离上述基板的表面开设有多个过孔，上述顶电极与上述过孔一一对应，各上述顶电极与上述底电极区域通过对应的过孔电连接。
[0020]进一步地，上述绝缘膜包括:第二绝缘层，设置在上述第一绝缘层的远离上述基板的表面上；以及第三绝缘层，设置于上述第二绝缘层的远离上述第一绝缘层的表面上。
[0021]进一步地，上述底电极区域设置在上述第三绝缘层中，多个上述过孔开设于上述第三绝缘层的远离上述第二绝缘层的表面。
[0022]进一步地，上述结构膜层还包括:保护层，覆盖各上述检测电极的裸露表面与上述绝缘膜的裸露表面。
[0023]应用本申请的技术方案，检测装置将检测电极阵列、复位单元、初始放大单元、移位控制单元、扫描位总线与逻辑控制单元集成在一个检测芯片上，使得膜厚的检测装置体积较小，避免了现有技术中的检测装置体积庞大导致的检测不便的问题，并且，该检测芯片中包括复位单元，进行纸币检测前，即检测各检测电极的电信号前，该复位开关阵列将各检测电极的电信号复位，避免检测前，检测电极上的电信号会影响检测值，进而避免检测结果不精确，提尚了检测装置的检测精度。
【附图说明】
[0024]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中:
[0025]图1示出了本申请一种实施例提供的检测装置的局部结构框图；
[0026]图2示出了本申请实施例1提供的检测装置的局部电路结构示意图；
[0027]图3示出了本申请实施例2提供的检测装置的局部电路结构示意图；
[0028]图4示出了本申请实施例3提供的检测装置的局部电路结构示意图；
[0029]图5示出了本申请一