膜厚的检测装置的制造方法_5

文档序号:9908482阅读:来源:国知局
小,避免了现有技术中的检测装置体积庞大导致的检测不便的问题,并且,该检测芯片中包括复位单元,进行纸币检测前,即检测各检测电极的电信号前,该复位开关阵列将各检测电极的电信号复位,避免检测前,检测电极上的电信号会影响检测值,进而避免检测结果不精确,提高了检测装置的检测精度。
[0097]以上所述仅为本申请的优选实施例而已,并不用于限制本申请,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。
【主权项】
1.一种膜厚的检测装置,其特征在于,所述检测装置包括至少一个公共电极与至少一个检测芯片,其中,各所述检测芯片包括: 检测电极阵列,与所述公共电极在第一方向上相对且间隔设置,所述公共电极与所述检测电极阵列之间的间隔构成待测膜的传输通道,所述检测电极阵列包括多个检测电极; 复位单元,与所述检测电极阵列中的各所述检测电极电连接,用于将各所述检测电极的电信号进行复位; 初始放大单元,与所述检测电极阵列中的各所述检测电极电连接,所述初始放大单元用于放大各所述检测电极的电信号; 移位控制单元,与所述初始放大单元电连接,所述移位控制单元用于控制放大后的多个所述电信号的输出顺序; 扫描位总线,包括多个扫描连接点,一个所述扫描连接点与所述移位控制单元电连接;以及 逻辑控制单元,用于接收外界的输入信号、产生控制所述检测芯片的控制信号与输出检测信号。2.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,各所述检测芯片还包括: 增益放大单元,包括第一输入端与第二输入端,所述第一输入端与一个所述扫描连接点电连接。3.根据权利要求2所述的检测装置,其特征在于,所述初始放大单元为初始放大器阵列,所述初始放大器阵列包括多个初始放大器,所述初始放大器与所述检测电极一一对应,各所述初始放大器的输入端与对应的检测电极电连接。4.根据权利要求3所述的检测装置,其特征在于,所述复位单元为复位开关阵列,所述复位开关阵列包括多个复位开关,所述复位开关与所述检测电极一一对应,各所述复位开关包括复位开关第一端、复位开关第二端与复位开关第三端,各所述复位开关第一端接入固定电压,各所述复位开关第二端接入复位信号,各所述复位开关第三端与对应的检测电极电连接,所述复位信号控制所述复位开关接通,将对应的所述检测电极的电信号进行复位。5.根据权利要求4所述的检测装置,其特征在于,所述移位控制单元包括: 移位开关阵列,包括多个移位开关,所述移位开关与所述初始放大器 对应,各所述移位开关包括移位开关第一端、移位开关第二端与移位开关第三端,各所述移位开关第一端与对应的初始放大器的输出端电连接;以及 移位控制电路,与各所述移位开关第二端电连接,所述移位控制电路用于控制各所述移位开关的接通与关断。6.根据权利要求5所述的检测装置,其特征在于,所述检测芯片还包括: 扫描存储开关阵列,包括多个扫描存储开关,所述扫描存储开关与所述初始放大器一一对应,各所述扫描存储开关包括扫描存储开关第一端、扫描存储开关第二端与扫描存储开关第三端,各所述扫描存储开关第一端与对应的初始放大器的输出端电连接,各所述扫描存储开关第二端接入扫描开关信号;以及 扫描存储电容阵列,包括多个扫描存储电容,所述扫描存储电容包括扫描电容第一端与扫描电容第二端,所述扫描存储电容与所述扫描存储开关一一对应,各所述扫描电容第一端电连接在对应的扫描存储开关第三端与对应的移位开关第一端之间,各所述扫描电容第二端接地,各所述扫描存储电容用于存储对应的初始放大器在扫描对应的检测电极时的输出电信号。7.根据权利要求6所述的检测装置,其特征在于,所述检测芯片还包括: 扫描位总线钳位开关,包括扫描钳位开关第一端、扫描钳位开关第二端与扫描钳位开关第三端,所述扫描钳位开关第一端电连接在所述扫描位总线与所述第一输入端之间,所述扫描钳位开关第二端接入钳位开关信号,所述扫描钳位开关第三端接入固定电压Vc,在读取各所述扫描存储电容的电信号前,所述钳位开关信号控制所述扫描位总线钳位开关接通,将所述扫描位总线的电压钳位到电压Vc。8.根据权利要求2至7中任一项所述的检测装置,其特征在于,所述增益放大单元包括: 增益放大器,包括两个输入端与一个输出端,两个输入端分别对应所述第一输入端与所述第二输入端,所述第一输入端与所述扫描位总线电连接; 基准电压取样电路,与所述第二输入端电连接,所述基准电压取样电路用于调节所述增益放大器的输出电信号;以及 输出缓冲电路,所述输出缓冲电路的输入端与所述增益放大器的所述输出端电连接,用于增加所述增益放大器的输出信号的驱动能力。9.根据权利要求7所述的检测装置,其特征在于,所述移位开关阵列包括多对移位开关,多对所述移位开关与多个所述初始放大器 对应,每对移位开关包括两个移位开关,分别是第一移位开关与第二移位开关,各所述第一移位开关包括第一移位开关第一端、第一移位开关第二端与第一移位开关第三端;各所述第二移位开关包括第二移位开关第一端、第二移位开关第二端与第二移位开关第三端,其中,各所述第一移位开关第一端与对应的扫描电容第一端电连接,各所述第一移位开关第三端与所述扫描位总线电连接,各所述第一移位开关第二端与所述移位控制电路电连接,且所述检测芯片还包括: 复位存储开关阵列,包括多个复位存储开关,所述复位存储开关与所述初始放大器一一对应,各所述复位存储开关包括复位存储开关第一端、复位存储开关第二端与复位存储开关第三端,各所述复位存储开关第一端与对应的初始放大器的输出端电连接,各所述复位存储开关第二端接入复位开关信号; 复位存储电容阵列,包括多个复位存储电容,所述复位存储电容与所述复位存储开关--对应,各所述复位存储电容包括复位电容第一端与复位电容第二端,各所述复位电容第一端电连接在对应的复位存储开关第三端与对应的第二移位开关第一端之间,各所述复位电容第二端接地,各所述复位存储电容用于存储对应的初始放大器在复位对应的检测电极时的输出电信号;以及 复位位总线,包括多个复位连接点,一个所述复位连接点电连接在各所述第二移位开关第三端与所述第二输入端,或者 一个所述复位连接点与各所述第二移位开关第三端电连接,另一个所述复位连接点与所述第二输入端电连接。10.根据权利要求9所述的检测装置,其特征在于,所述检测芯片还包括: 复位位总线钳位开关,包括复位钳位开关第一端、复位钳位开关第二端与复位钳位开关第三端,所述复位钳位开关第一端电连接在所述复位位总线与所述第二输入端之间,所述复位钳位开关第二端接入所述钳位开关信号,所述复位钳位开关第三端接入固定电压Vc,在读取各所述复位存储电容的电信号前,所述钳位开关信号控制所述复位位总线钳位开关接通,将所述复位位总线的电压钳位到电压Vc。11.根据权利要求10所述的检测装置,其特征在于,所述增益放大单元包括: 增益放大器,包括两个输入端与一个输出端,两个输入端分别对应所述第一输入端与所述第二输入端,所述第一输入端与所述扫描位总线电连接,所述第二输入端与所述复位位总线电连接; 基准电压取样电路,用于调节所述增益放大器的输出电信号;以及 输出缓冲电路,所述输出缓冲电路的输入端与所述增益放大器的所述输出端电连接,用于增加所述增益放大器的输出信号的驱动能力。12.根据权利要求11所述的检测装置,其特征在于,所述基准电压取样电路的基准电信号为基准电压,所述Vc与所述基准电压相同。13.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述逻辑控制单元包括输入引脚与输出引脚,其中,所述输出引脚为扫描结束信号引脚,当扫描结束时,用于输出脉冲信号,所述输入引脚包括: 时钟信号引脚,用于为所述逻辑控制单元提供一个稳定的频率信号; 扫描启动信号引脚,用于输入扫描启动信号; 第一芯片选择引脚,用于控制所述检测芯片的检测信号输出的启动是由同一个所述检测芯片中的所述移位控制单元控制还是由与所述检测芯片连接的另一个所述检测芯片的所述输出引脚控制;以及 分辨率选择引脚,用于控制所述检测芯片的厚度检测分辨率。14.根据权利要求1所述的检测装置,其特征在于,所述检测芯片由结构膜层形成,所述结构膜层包括: 基板;以及 绝缘膜,设置于所述基板的表面上,所述绝缘膜中包括与所述基板接触设置的第一绝缘层,所述第一绝缘层为氧化绝缘层,所述检测电极阵列设置在所述绝缘膜的远离所述基板的表面上。15.根据权利要求14所述的检测装置,其特征在于,所述检测电极为窄条状电极,所述窄条状电极在第二方向上的最大宽度小于在第三方向上的最大宽度,所述第二方向和所述第三方向均与所述第一方向垂直,且所述第三方向为所述待测膜的移动方向。16.根据权利要求14所述的检测装置,其特征在于,至少一个所述检测电极包括多个顶电极与底电极区域,所述底电极区域设置在所述绝缘膜中,所述底电极区域与所述基板不接触设置,所述绝缘膜的远离所述基板的表面开设有多个过孔,所述顶电极与所述过孔一一对应,各所述顶电极与所述底电极区域通过对应的过孔电连接。17.根据权利要求16中所述的检测装置,其特征在于,所述绝缘膜包括: 第二绝缘层,设置在所述第一绝缘层的远离所述基板的表面上;以及 第三绝缘层,设置于所述第二绝缘层的远离所述第一绝缘层的表面上。18.根据权利要求17所述的检测装置,其特征在于,所述底电极区域设置在所述第三绝缘层中,多个所述过孔开设于所述第三绝缘层的远离所述第二绝缘层的表面。19.根据权利要求14至18中任一项所述的检测装置,其特征在于,所述结构膜层还包括: 保护层,覆盖各所述检测电极的裸露表面与所述绝缘膜的裸露表面。
【专利摘要】本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括至少一个公共电极与至少一个检测芯片,各检测芯片包括:检测电极阵列,包括多个检测电极且与公共电极在第一方向上相对且间隔设置;复位单元,与检测电极阵列中的各检测电极电连接并将其上的电信号复位;初始放大单元,与各检测电极电连接且用于放大电信号;移位控制单元,与初始放大单元电连接,用于控制电信号的输出顺序;扫描位总线,包括多个扫描连接点,一个扫描连接点与移位控制单元电连接;逻辑控制单元,用于接收外界的输入信号、产生控制检测芯片的控制信号与输出检测信号。该装置的检测精度较高。
【IPC分类】G01B7/06
【公开号】CN105674871
【申请号】CN201610203870
【发明人】林永辉, 戴朋飞, 韩晓伟
【申请人】威海华菱光电股份有限公司
【公开日】2016年6月15日
【申请日】2016年4月1日
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