3Α铺设到红外线检测部23的下部切口部的一部分。在下部切口部的一部分，下部假布线、热电体、上部引出布线依次层叠。
[0112]如此，在第二支承部33Β与红外线检测部23之间的连接部，第二上部布线83Β和下部布线位于层叠方向上。因此，通过布线层加强第二支承部33Β的根部，能够抑制根部的破损。并且，通过在红外线检测部23设置上部断线部103Β，从而能够抑制从红外线检测部23向基板11的热扩散。对于第一支承部33Α，也能够获得与第二支承部33Β同样的效果。
[0113]而且，在上部假布线以及下部假布线位于红外线检测部的情况下，也可以不设置上部切口部以及下部切口部。
[0114](实施例3)
[0115]在实施例1的红外线检测元件25中，上部引出布线以及下部引出布线，分别被设置在第一支承部30Α以及第二支承部30Β。对此，在实施例3的红外线检测元件中，上部引出布线和下部引出布线，被设置在第一支承部以及第二支承部的任一方的同一支承部。
[0116]图9是示意性地示出实施例3的红外线检测元件29的上面图。
[0117]第一外部引出部61Α和第二外部引出部61Β，位于第一支承部30Α侧的框部14。在第一支承部30Α，设置有第一上部布线84Α以及第一下部布线74Α。第一上部布线84Α，与第一外部引出部61Α连接。第一下部布线74Α，与第二外部引出部61Β连接。也就是说，在第一支承部30Α中，第一上部布线84Α是，上部引出布线。第一下部布线74Α是，下部引出布线。
[0118]在第二支承部30Β，设置有第二上部布线84Β以及第二下部布线(不图示)。第二上部布线84B是上部假布线。第二下部布线是下部假布线。在上部假布线以及下部假布线，优选的是，与实施例2同样，如图9示出，设置上部断线部104B、下部断线部(不图示)。在此情况下，上部断线部104B和下部断线部，在层叠方向上重叠。而且，上部断线部104B和下部断线部也可以，在从上面看时偏离。通过使上部断线部104B和下部断线部偏离，从而能够提高第二支承部30B的强度。
[0119](实施例4)
[0120]图10是示出红外线检测装置99的结构的框图。图10示出的红外线检测装置99是，具有红外线检测元件25的红外线检测装置的一个例子，不仅限于此。
[0121]光学系统块92具有，收集入射的红外线的透镜以及有选择地使红外线透过的滤波器等的光学部件93。入射的红外线96，经由光学系统块92被受光到红外线传感器94。红外线96是，照射人体等的对象物的红外线光束的反射光、因对象物的移动等而被遮蔽的红外线光束、人放出的红外线等。
[0122]红外线传感器94具有，红外线检测元件25。对于红外线检测元件25，也可以有一个，也可以有多个。多个红外线检测元件，例如，排列成二维矩阵状。并且，多个红外线检测元件也可以，排列成一列。在利用多个红外线检测元件的情况下，也可以将与各个红外线检测元件对应的透镜阵列，作为光学部件93来利用。
[0123]信号处理电路95具有，放大红外线检测元件的输出信号的放大电路、模数转换电路等。红外线检测元件的输出信号输入到信号处理电路95。信号处理电路95，通过对红外线检测元件的输出信号进行处理，从而输出物体检测信号、物体的移动信号以及工作信号、图像信号、温度信号等。
[0124]红外线检测装置99，在入射光由斩波器等调制的情况下，也可以利用控制斩波器的控制电路、调谐放大电路。并且，信号处理电路95也可以具有，表示物体检测的灯、显示图像信号等的监视器、记录温度信号等的存储器等的记录介质等。
[0125]以上，对于一个或多个形态涉及的红外线检测元件以及红外线检测装置，根据实施例进行了说明，但是，本公开，不仅限于该实施例。只要不脱离本公开的宗旨，对本实施例实施了本领域的技术人员想到的各种变形的形态、以及组合不同的实施例的构成要素而构筑的形态，也可以包含在一个或多个形态的范围内。
[0126]本公开的红外线检测元件，有用于人体感应传感器、红外线相机、热像仪、夜视等的电子设备的用途。
[0127]符号说明
[0128]11 基板
[0129]13 空洞
[0130]14 框部
[0131]15中间层
[0132]16检测层
[0133]16A第一绝缘层
[0134]16B第二绝缘层
[0135]17红外线吸收层
[0136]20、21、23红外线检测部
[0137]25、26、27、28、29红外线检测元件
[0138]30支承部
[0139]30A、31A、32A、33A 第一支承部
[0140]30B、31B、32B、33B 第二支承部
[0141]35A第一对置部
[0142]35B第二对置部
[0143]40,41下部电极层
[0144]50,51,53上部电极层
[0145]60A、61A第一外部引出部
[0146]60B、61B第二外部引出部
[0147]70A、71A、74A 第一下部布线
[0148]70B、71B第二下部布线
[0149]80A、81A、84A 第一上部布线
[0150]80B、81B、82B、83B、84B 第二上部布线
[0151]90A、90B 非连接端
[0152]92光学系统块
[0153]93光学部件
[0154]94红外线传感器
[0155]95信号处理电路
[0156]96红外线
[0157]99红外线检测装置
[0158]1lA下部断线部
[0159]101B、102B、103B、104B 上部断线部
[0160]105B上部切口部
【主权项】
1.一种红外线检测元件，具备: 具有空洞的基板； 由下部电极层、检测层以及上部电极层依次层叠而成的红外线检测部； 第一支承部以及第二支承部，用于在所述空洞的上方支承所述红外线检测部；以及第一外部引出部以及第二外部引出部，用于将从所述红外线检测部输出的电信号提取到外部， 所述第一支承部具备，依次层叠的第一下部布线、第一绝缘层以及第一上部布线， 所述上部电极层，经由所述第一上部布线与所述第一外部引出部连接， 所述第二支承部具备，依次层叠的第二下部布线、第二绝缘层以及第二上部布线， 所述下部电极层，经由所述第二下部布线与所述第二外部引出部连接。2.如权利要求1所述的红外线检测元件， 所述基板，具有形成所述空洞的框部， 在所述第一下部布线中，所述第一下部布线的延伸方向上的离所述红外线检测部远的一侧的一方的端部，位于所述框部， 在所述第二上部布线中，所述第二上部布线的延伸方向上的离所述红外线检测部远的一侧的一方的端部，位于所述框部。3.如权利要求1或2所述的红外线检测元件， 所述红外线检测元件还具备上部断线部，通过该上部断线部，所述第二上部布线的延伸方向上的离所述红外线检测部远的一侧的一方的端部与所述上部电极层电绝缘。4.如权利要求3所述的红外线检测元件， 所述上部断线部，位于所述第二上部布线的另一方的端部。5.如权利要求3所述的红外线检测元件， 所述上部断线部，位于所述红外线检测部。6.如权利要求1至5的任一项所述的红外线检测元件， 所述红外线检测元件还具备下部断线部，通过该下部断线部，所述第一下部布线的延伸方向上的离所述红外线检测部远的一侧的一方的端部与所述下部电极层电绝缘。7.如权利要求6所述的红外线检测元件， 所述下部断线部，位于所述第一下部布线的另一方的端部。8.如权利要求6所述的红外线检测元件， 所述下部断线部，位于所述红外线检测部。9.如权利要求1至8的任一项所述的红外线检测元件， 所述第一上部布线、所述上部电极层以及所述第二上部布线，位于同一层， 所述第一绝缘层、所述检测层以及所述第二绝缘层，位于同一层， 所述第一下部布线、所述下部电极层以及所述第二下部布线，位于同一层。10.如权利要求1至9的任一项所述的红外线检测元件， 所述第一上部布线、所述上部电极层以及所述第二上部布线，由相同的材料构成， 所述第一绝缘层、所述检测层以及所述第二绝缘层，由相同的材料构成， 所述第一下部布线、所述下部电极层以及所述第二下部布线，由相同的材料构成。11.一种红外线检测装置，具备，权利要求1至10的任一项所述的红外线检测元件。
【专利摘要】红外线检测元件(25)，具备：具有空洞(13)的基板(11)；由下部电极层(40)、检测层(16)以及上部电极层(50)依次层叠而成的红外线检测部(20)；在空洞(13)的上方支承红外线检测部(20)的第一支承部(30A)以及第二支承部(30B)；用于将来自红外线检测部(20)的电信号提取到外部的第一外部引出部(60A)以及第二外部引出部(60B)，第一支承部(30A)具备，依次层叠的第一下部布线(80A)、第一绝缘层(16A)以及第一上部布线(70A)，上部电极层(50)，经由第一上部布线(80A)与第一外部引出部(60A)连接，第二支承部(30B)具备，依次层叠的第二上部布线(80B)、第二绝缘层(16B)以及第二下部布线(70B)，下部电极层(40)，经由第二下部布线(70B)与第二外部引出部(60B)连接。
【IPC分类】H01L37/02, G01J5/02, G01J1/02
【公开号】CN105556261
【申请号】CN201580001805
【发明人】饭井良介, 野田俊成, 上口洋辉, 久保敬, 指中伸夫, 田路翔一, 太田直希, 小野寺直利
【申请人】松下知识产权经营株式会社
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2015年3月13日
【公告号】WO2015146054A1