过程中可以对测试探头的位置进行自动微调。本实施例中选用的限位模块151为等高限位销钉。
[0044]本实施例提供的射频测试平移式自动对芯浮动装置，通过限位模块及连接螺栓连接到安装板，安装板与水平浮动板直接采用水平浮动减摩擦滚珠隔离，保证安装板和水平浮动板之间水平各方向移动时摩擦力小到轻微力量既可以使测试头快速水平移动，通过测量头与产品间的导向，自动快速对准测试区域中心，实现简单快速准确的对位移动，不产生倾斜，并通过垂直弹性结构中的弹簧推动水平浮动结构在Z方向弹性自适应可靠接触，有效的提高了类似射频测试的测试准确性。
[0045]图2a为本发明射频测试平移式自动对芯浮动装置实施例三的主视图；图2b为本发明射频测试平移式自动对芯浮动装置实施例三的俯视图；图2c为本发明射频测试平移式自动对芯浮动装置实施例三的俯视图，如图2a、2b和2c所示，本实施例中的射频测试平移式自动对芯浮动装置，包括:
[0046]测试探针21、水平浮动板22、垂直浮动板23、安装板24、对称设置的垂直弹性结构
25、对称设置的水平浮动限位结构26和水平浮动减摩擦滚珠27。
[0047]所述测试探针21固定设置在所述水平浮动板22中心；所述安装板24可平移的套设在所述测试探针21上，且所述安装板24位于所述水平浮动板22下部；所述垂直浮动板23可平移的套设在所述测试探针21上，且所述垂直浮动板23位于所述水平浮动板22的上部，所述水平浮动减摩擦滚珠27分散设置在所述安装板24和所述水平浮动板22之间。
[0048]所述每个水平浮动限位结构26依次穿过所述安装板24和所述水平浮动板22，并与所述垂直浮动板23固定连接，且每个所述水平浮动限位结构26与所述水平浮动板22之间能相对平移运动；所述每个垂直弹性结构25穿过所述垂直浮动板23，且每个所述垂直弹性结构25可带动所述水平浮动板22垂直运动。
[0049]在本实施例中，测试探针21 (包括RF测试探头或者其他测试探头)固定设置在水平浮动板22的中心位置上，水平浮动板22根据测试探针与被测物导向能力，设计了水平浮动限位结构26，该水平浮动限位结构26至少对称的设置两个，用来限定测试探针21和水平浮动板22能够相对安装板24水平运动的范围，安装板24上设置了能够使测试探针11穿过并在预先设定的水平移动范围内的水平移动的通孔，安装板24通过该通孔可以拆卸的套接在测试探针21上，位于水平浮动板22的上部。
[0050]另外,在水平浮动板22的上部,还设有垂直浮动板23，该垂直浮动板23通过中心位置设置的通孔套在测试探针21上，测试探针21与所述垂直浮动板23之间能有在一定范围内相对水平运动，在水平浮动板22的下部设有安装板24，安装板24也是通过中心的通孔，套接测试探针21的末端，并且该安装板24与测试探针21之间也可以相对水平移动，即穿过的通孔足够的大。在水平浮动板22和安装板24之间分散设置多个水平浮动减摩擦滚珠27，优选的，可以设置至少三个水平浮动减摩擦滚珠27保证安装板24和水平浮动板22之间水平各方向移动时摩擦力小到轻微力量既可以使测试头快速水平移动。在该安装板24和水平浮动板22之间的该水平移动可以不限于滚珠来实现，还可以是其它降摩擦方法，例如:光滑平面、液体金属面自成型面、同磁性对应悬浮等方案，对此本发明不作限制。
[0051]还对称设置垂直弹性结构25，一般情况下选择两个或者四个或者其他偶数个垂直弹性结构25，每个垂直弹性结构25固定设置在垂直浮动板23上，并且该垂直弹性结构25整体位于该垂直浮动板23的下部，并且每个所述垂直弹性结构25与安装板24和水平浮动板22之间相互独立不连接。
[0052]所述每个水平浮动限位结构26自下而上依次穿过安装板24和水平浮动板22，并与所述垂直浮动板23固定连接(连接方式可以为螺纹连接、黏合等方式)，且每个所述水平浮动限位结构26与所述水平浮动板22之间能相对平移运动，但是水平浮动限位结构26与垂直浮动板23之间是固定的。
[0053]在实际进行测试时，将该装置固定在夹具针板上，垂直弹性结构25可以推动垂直浮动板23在垂直方向上进行移动，由于水平浮动限位结构26与该垂直浮动板23是固定连接的，所以垂直浮动板23在垂直方向上进行移动可以带动该水平浮动限位结构26在垂直方向上的移动，从而带动水平浮动板22和安装板24整体在垂直方向上移动，从而调整测试探针21在垂直方向的位置，在水平方向上，在探针收到很小的力时，水平浮动板22和安装板24之间通过滚珠在微小的摩擦力作用下即可产生相对水平运动，从而调整测试探针的位置。
[0054]本实施例提供的射频测试平移式自动对芯浮动装置，通过将测试探针固定设置在水平浮动板中心，将安装板可平移的套设在测试探针位于水平浮动版下部的末端上，并在安装板和水平浮动板之间分散设置多个水平浮动减摩擦滚珠，水平浮动限位结构连接所述安装板和所述水平浮动板，并与垂直浮动板相对固定，能够在测试探针需要水平移动的时候由水平浮动板带动测试探针进行一定范围内的水平调整，垂直弹性结构带动所述垂直浮动板进行垂直运动，从而带动安装板、水平浮动板和测试探针整体在垂直方向上的浮动，在进行射频测试过程中，将该射频测试平移式自动对芯浮动装置固定在夹具针板上，测试探针可以根据RF Sff的开孔的位置，在安装板和水平浮动板之间分散设置的水平浮动减摩擦滚珠，使得安装板和水平浮动板之间的摩擦力非常小，即可带动测试探头自动进行水平移动，调整到最佳位置，使得测试探头能够迅速导，有效提高射频测试的准确度。
[0055]在本发明射频测试平移式自动对芯浮动装置的实施例四中，在上述实施例三的基础上，具体的，如图2a、图2b、图2c所示，每个所述垂直弹性结构包括浮动弹簧251、导向柱252和固定结构件253 ;所述固定结构件253设置在所述导向柱252的末端，所述浮动弹簧251套设在所述导向柱252的外部，所述导向柱252的首端穿过所述垂直浮动板23上设置的第一通孔，用于与测试夹具进行固定；所述浮动弹簧251位于所述垂直浮动板23与所述固定结构件253之间，用于推动通过所述垂直浮动板23与所述水平浮动限位结构26带动所述测试探针21垂直运动。
[0056]在本实施例中，导向柱252本身末端设有固定结构件253,用于固定浮动弹簧251,使得浮动弹簧251可以推动垂直浮动板23在垂直方向移动，本申请中该固定结构件253选用的是螺母和垫片，根据具体情况可以选择其他部件进行固定。
[0057]每个所述水平浮动限位结构26包括水平浮动限位模块261和连接螺栓262 ;所述水平浮动限位模块262套接在所述连接螺栓262的头部，所述连接螺栓262的螺杆依次穿过所述安装板24上设置的第二通孔和所述水平浮动板22上设置的第三通孔，并固定所述垂直运动浮动板23上；所述连接螺栓262的螺杆与所述水平浮动板24之间可以相对水平移动，且所述水平浮动限位模块261位于所述安装板24的下部。
[0058]在本实施例中，连接螺栓262的螺杆依次穿过安装板24上设置的第二通孔241和水平浮动板22上设置的第三通孔固定在垂直运动浮动板23上，该水平浮动限位模块261套接在连接螺栓262的螺杆上，位于安装板24和连接螺栓262的头部之间，用于限制水平浮动板22浮动范围，水平浮动限位模块261位于水平