单波长激发、能量色散x射线荧光光谱仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于X光检测领域，特别是涉及一种单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪。
【背景技术】
[0002]申请人于2014年10月9日申报了名称为“双曲面弯晶、组合式双曲面弯晶及单波长色散X光荧光光谱仪”的发明专利，其基本原理是用晶体对X射线布拉格衍射的原理，将微焦斑Cr靶材X射线管发出的多色X射线进行单色化，单色器为效率极高、自主研发的双曲面弯晶，单色后为单波长Cr的Ka射线，用于激发样品中特定的元素，得到待测元素的特征荧光X射线。由于入射到样品的X射线除了选定的波长以外，连续背景很低，所以从样品射出的X射线，几乎不存在散射背景，信噪比很高，有利于降低检出限。但上述发明记载的X光荧光光谱仪仅能检测样品中的单元素，检测范围受限。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种能检测样品中多种元素的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案:
[0005]一种单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，包括X光管、双曲面分光晶体、探测器，X光管与双曲面分光晶体的中心点之间的入射角为a，双曲面分光晶体的中心点与样品之间的入射角为b，样品与探测器之间的出射角为C，其中a为5°?80°，13为10°?85。，c 为 10° ?70°。
[0006]本实用新型的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，其中所述a为30°?50。。
[0007]本实用新型的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，其中所述b为30°?50。。
[0008]本实用新型的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，其中所述c为40°?60。。
[0009]本实用新型的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，其中所述探测器采用SDD探测器或S1-PIN探测器。
[0010]本实用新型的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，样品发射的荧光X射线直接射入探测器进行检测，高分辨率能量色散使得能检测多种元素；采用双曲面分光晶体，将X射线连续谱单色化，降低了连续谱背景对检测元素的干扰，降低了检出限。
[0011]下面结合附图对本实用新型的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪作进一步说明。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]如图1所示，本实用新型单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪包括X光管1、双曲面分光晶体2、探测器3，X光管I与双曲面分光晶体2的中心点之间的入射角为a，双曲面分光晶体2的中心点与样品4之间的入射角为b，样品4与探测器3之间的出射角为C，其中a为5°?80°，13为10°?85°，(:为10°?70°。探测器采用SDD探测器或S1-PIN探测器。
[0014]本实用新型的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，其中a优选为30°?50°，b优选为30°?50°，c优选为40°?60°，在优选角度范围内检测出的结果更为准确。
[0015]本实用新型单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，X光管I发射的X射线经双曲面分光晶体2聚焦后得到纯净的X射线，纯净的X射线激发待测样品4，产生荧光X射线，荧光X射线射入SDD探测器3得到荧光光谱图。
[0016]本实用新型单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪具有以下优点:
[0017]1、将X射线连续谱单色化，降低了连续谱背景对检测元素的干扰，降低了检出限，检出限能达到ppm级，解决了检测元素含量低，很难在连续谱中取出所测元素的特征谱的冋题；
[0018]2、采用双曲面分光晶体，允许相同波长的射线以同样的布拉格角入射到晶体，这样就有更多的X射线参加衍射，提高了衍射效率和衍射强度，可以把点光源聚焦到点光源，起到“强聚焦”的作用，使小面积探测孔的探测器更容易检测到；
[0019]3、样品发射的荧光X射线直接射入探测器进行检测，高分辨率能量色散使得能检测多种元素；
[0020]4、探测器采用SDD探测器或S1-PIN探测器，SDD探测器能量分辨率很高，性能优异，噪声低；
[0021 ] 5、对X射线、荧光X射线入射及出射的角度进行了进一步限定，优选角度范围内检测出的结果更为准确。
[0022]以上所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的范围进行限定，在不脱离本实用新型设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。
【主权项】
1.一种单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于:包括X光管、双曲面分光晶体、探测器，X光管与双曲面分光晶体的中心点之间的入射角为a，双曲面分光晶体的中心点与样品之间的入射角为b，样品与探测器之间的出射角为C，其中a为5°?80°，b为 10。?85。，c 为 10。?70。。
2.根据权利要求1所述的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于:所述a 为 30° ?50°。
3.根据权利要求2所述的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于:所述b 为 30° ?50°。
4.根据权利要求3所述的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于:所述c 为 40° ?60°。
5.根据权利要求1?4任一项所述的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，其特征在于:所述探测器采用SDD探测器或S1-PIN探测器。
【专利摘要】本实用新型公开了一种单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，包括X光管、双曲面分光晶体、探测器，X光管与双曲面分光晶体的中心点之间的入射角为a，双曲面分光晶体的中心点与样品之间的入射角为b，样品与探测器之间的出射角为c，其中a为5°～80°，b为10°～85°，c为10°～70°。本实用新型的单波长激发、能量色散X射线荧光光谱仪，样品发射的荧光X射线直接射入探测器进行检测，高分辨率能量色散使得能检测多种元素；采用双曲面分光晶体，将X射线连续谱单色化，降低了连续谱背景对检测元素的干扰，降低了检出限。
【IPC分类】G01N21-64
【公开号】CN204359695
【申请号】CN201520068597
【发明人】刘小东, 滕云, 李伯伦, 施小灵
【申请人】北京安科慧生科技有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2015年1月30日