假片装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提出了一种假片装置，所述假片装置包括基板和载物板，所述载物板上设有凹槽，所述基板安装于所述凹槽内部，所述载物板包括一底板和一镂空板，所述镂空板和所述底板对位黏贴，所述镂空板上中间位置开有镂空，所述镂空处与底板组合形成所述凹槽，所述假片装置外沿呈圆形。本实用新型通过此结构为模拟晶圆片进行基板的测试创造了条件。
【专利说明】
假片装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及基于探针台的基板测试，尤其涉及一种可在探针台实现测试矩形基板的假片装置。
【背景技术】
[0002]目前，测试行业内还没有针对基板测试的专用设备，基板测试无法进行批量的生产，如果按照基板测试的特征进行专用设备的研发，又会存在:研发周期长，资金投入大，维护要求高，生产适用性低的问题。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型提出一种假片装置，解决了现有技术中的问题。
[0004]本实用新型的技术方案是这样实现的:
[0005]—种假片装置，所述假片装置包括基板和载物板，所述载物板上设有凹槽，所述基板安装于所述凹槽内部。
[0006]作为本实用新型的优选方案，所述载物板包括一底板和一镂空板，所述镂空板和所述底板对位黏贴。
[0007]作为本实用新型的优选方案，所述镂空板上中间位置开有镂空，所述镂空处与底板组合形成所述凹槽。
[0008]作为本实用新型的优选方案，所述假片装置外沿呈圆形。
[0009]本实用新型提出一种可在探针台实现测试矩形基板的假片装置，利用现有的探针台设备进行基板测试，降低设备投资成本，提供探针台设备适用性。本实用新型选用符合12寸晶圆标准的圆型薄片以及设置在圆型薄片上面的镂空圆型薄片，基板放置在凹槽，形成探针台可以识别的假片。
[0010]与现有技术相比较，本实用新型的有益效果是，无需增加设备投入，利用工厂内现有的探针台设备。
【附图说明】
[0011]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0012]图1为本实用新型的假片组合顺序示意图；
[0013]图2为本实用新型未放入基板的假片状态示意图；
[0014]图3为本实用新型放入基板的假片状态示意图。
[0015]其中，基板I，镂空板2，底板3，凹槽4。
【具体实施方式】
[0016]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0017]本实用新型的关键在于:探针台无法直接测试矩形的基板。将基板放入假片上的凹槽，并使基板与假片模拟成了假片，这样，探针台就可以识别到假片，并且按照晶圆片的方式进行测试。
[0018]如图1-3所示，一种假片装置，包括基板I和载物板，载物板上设有凹槽4，基板I安装于所述凹槽内部。
[0019]载物板包括一底板3和一镂空板2，镂空板2和底板3对位黏贴。
[0020]镂空板2上中间位置开有镂空，镂空处与底板3组合形成凹槽4。假片装置外沿呈圆形。
[0021]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种假片装置，其特征在于，所述假片装置包括基板和载物板，所述载物板上设有凹槽，所述基板安装于所述凹槽内部，所述载物板包括一底板和一镂空板，所述镂空板和所述底板对位黏贴。2.根据权利要求1所述的一种假片装置，其特征在于，所述镂空板上中间位置开有镂空，所述镂空处与底板组合形成所述凹槽。3.根据权利要求1所述的一种假片装置，其特征在于，所述假片装置外沿呈圆形。
【文档编号】G01R1/04GK205643394SQ201521133798
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2015年12月30日
【发明人】孔晓琳
【申请人】深圳安博电子有限公司