为IL/分钟以上且90L/分钟以下。
[0158]气体供给单元3具有:充装有气体的罐31 ;连接罐31与气溶胶产生器15的连接管32 ;以及设置在连接管32的中途的电磁阀33。
[0159]罐31能够气密地储存气体。
[0160]作为罐31中储存的气体，没有特别限定，例如，可以使用氮气，此外，也可以使用氦或氩等那样的非活性气体。此外，作为微粒P31，在使用由金属氧化物构成的微粒的情况下，作为该气体，可以适当使用含氧的气体。由此，能够防止微粒P31的不期望的还原。
[0161]罐31与气溶胶产生器15经由连接管32连通。该连接管32可以是硬质的，也可以具有柔性。
[0162]此外，在连接管32中，在其长度方向的中途设置有电磁阀33。电磁阀33使连接管32进行开闭。而且，在电磁阀33为敞开状态时，罐31与气溶胶产生器15连通。由此，从罐31向气溶胶产生器15进行气体供给。此外，在电磁阀33为关闭状态时，罐31与气溶胶产生器15的连通被切断。由此，停止从罐31向气溶胶产生器15的气体供给。
[0163]通过从罐31向气溶胶产生器15供给气体，由此，气溶胶产生器15中收纳的微粒P31分散到气体中而产生气溶胶。
[0164]这样，来自罐31的气体作为运载气体发挥功能，由此，在气溶胶产生器15内产生的气溶胶经由连接管8而被导入到粉碎器4内。
[0165]如图5所示，粉碎器4具有:容器41，其被导入包含微粒P31的气溶胶；气溶胶导入口 42，其从连接管8导入包含微粒P31的气溶胶；粉碎具43，其进行微粒P31的粉碎；气溶胶导出口 44，其将包含粉碎后的微粒P31的气溶胶导出到连接管2 ;刷子45，其在微粒P31附着于粉碎具43的情况下将其去除；气体导入口 46a、46b，它们将气体导入到容器41内；以及超声波振动装置47。
[0166]在粉碎器4中，在容器41内设置有气溶胶导入口 42，在气溶胶导入口 42的前方，以能够借助未图示的电机进行轴旋转的状态配置有圆筒型的粉碎具43。气溶胶导入口 42的开口呈以粉碎具43的圆筒轴方向为长边的狭缝状。该狭缝的宽度没有特别限定，但优选为Imm以下。
[0167]作为粉碎具43，优选的是，气溶胶碰撞的圆筒侧面由碳化钛等高硬度材料构成。
[0168]在粉碎具43的上方，配置有气溶胶导出口 44。此外，以与粉碎具43相接的方式设置有刷子45。在从粉碎具43到气溶胶导出口 44空间中，配置有气体导入口 46a、46b，在气溶胶导出口 44的外周部，设置有超声波振动装置47。
[0169]使在气溶胶产生器15中产生的气溶胶在气溶胶导入口 42加速而与粉碎具43的圆筒侧面碰撞。图中粗箭头示出气溶胶的行进方向。粉碎具43如图中的箭头那样，沿顺时针方向旋转。因此，被导入的位置逐渐变化的气溶胶始终改变碰撞面而与粉碎具43的圆筒侧面碰撞。由此，即使在气溶胶产生器15中产生的气溶胶包含较多凝聚颗粒，也能够高效地粉碎该凝聚颗粒。
[0170]在圆筒侧面多少会附着有气溶胶中的微粒P31，但附着粉会被刷子45刷落而蓄积在容器41的底部。凝聚颗粒与粉碎具43碰撞而被粉碎，转换为富含一次微粒的气溶胶。从气溶胶导入口 42导入的气溶胶倾斜地与粉碎具43的圆筒侧面碰撞，因此，气溶胶的大部分沿着圆筒侧面的切线方向反射，但也具有一定程度的扩散宽度，因而被认为会与气溶胶导出口 44的内壁碰撞并发生附着，为了防止该情况，优选从气体导入口 46a、46b导入气体，在气溶胶导出口 44的内表面形成帘状的气体膜，来防止附着，或使超声波振动装置47运转，使气溶胶导出口 44振动，设法使得附着不进展。从气体导入口 46a、46b起的小箭头表示从该处导入的气体的流动。此外，优选的是，预先使导入的气体离子化，由此中和被粉碎的微粒P31的表面电荷，防止在气溶胶中再次凝聚。
[0171]这样被转换为富含一次微粒的气溶胶而导出的气溶胶被导入未图示的喷嘴，因此，能够以高效且缺陷小的状态，长时间且无问题地形成结构物。
[0172]在粉碎器4中，被转换为富含一次微粒的气溶胶被导入到连接管2，从第2开口部21吹送到基材P1。进而，该微粒P31与基材Pl碰撞而附着，结果形成覆膜P3。
[0173]压力调整单元5使成膜室16内的压力低于气溶胶产生器15内的压力、粉碎器4内的压力。
[0174]如图4所示，压力调整单元5具有:对成膜室16内进行抽吸的泵51 ;连接泵51与成膜室16的连接管52 ;以及设置在连接管52的中途的电磁阀53。
[0175]泵51抽吸成膜室16内的气体G2。通过该抽吸，使成膜室16内的气体G2经由连接管52排出，由此，可靠地使成膜室16内的压力低于气溶胶产生器15内的压力、粉碎器4内的压力。由此，微粒P31能够可靠地流出到成膜室16内，从而能够可靠地形成覆膜P3。
[0176]此外，成膜室16内的压力取决于气溶胶产生器15内的压力等，例如可以是，在气溶胶产生器15内的压力为1kPa以上且IMPa以下的情况下，成膜室16内的压力小于1kPa0
[0177]此外，作为泵51，没有特别限定，例如，可以使用涡轮分子泵、干泵、机械增压泵、旋转泵等。
[0178]泵51经由连接管52与成膜室16连接。该连接管52可以是硬质的，也可以具有柔性。
[0179]此外，在连接管52中，在其长度方向的中途设置有电磁阀53。电磁阀53对连接管52进行开闭。进而，在电磁阀53为敞开状态时，能够利用泵51的抽吸力来对成膜室16内进行抽吸，由此使成膜室16内减压。此外，在电磁阀53为关闭状态时，阻止泵51的抽吸力作用于成膜室16内。
[0180]如图4所示，移动单元6使基材Pl相对于第2开口部21向y轴方向移动。如图4、图6所示，移动单元6具有:输送多个基材Pl的工作台(台)61 ;使工作台61向y轴方向移动的I轴电机62y ；以及控制Y轴电机62y的驱动的y轴电机驱动器63y。此外，移动单元6还能够使工作台61向X轴方向移动，移动单元6具有进行该移动的X轴电机62x和控制X轴电机62x的驱动的X轴电机驱动器63x。
[0181]工作台61例如是由不锈钢等这样的金属材料构成的、呈板状的部件。该工作台61被水平地支承。
[0182]y轴电机62y例如是伺服电机，其经由滚珠丝杠(未图示)等与工作台61连接。进而，通过使y轴电机62y旋转，其旋转力经由滚珠丝杠传递到工作台61。由此，能够使载置在工作台61上的多个基材Pl连同工作台61 —起向y轴方向移动。
[0183]此外，y轴电机62y与y轴电机驱动器63y电连接。
[0184]通过该y轴电机驱动器63y的控制，能够改变y轴电机62y的转速。由此，工作台61移动时的速度、即移动单元6的工作时的速度是可变的。而且，能够根据该速度的大小分别调整所形成的覆膜P3的厚度。例如，在速度“大”时，形成“薄”的覆膜P3，在速度“小”时，形成“厚”的覆膜P3。
[0185]与y轴电机62y同样，x轴电机62x例如是伺服电机，其经由滚珠丝杠(未图示)等与工作台61连接。进而，通过使X轴电机62x旋转，其旋转力经由滚珠丝杠传递到工作台61。由此，能够使载置在工作台61上的多张基材Pl连同工作台61 —起向X轴方向移动。
[0186]此外，X轴电机62x与X轴电机驱动器63x电连接。
[0187]气体供给单元3、压力调整单元5、移动单元6等的各自的工作分别由控制部7控制。控制部7例如是内置有CPU (Central Processing Unit:中央处理器)的个人计算机(PC)。
[0188]如图6所示，控制部7分别与气体供给单元3的电磁阀33、压力调整单元5的泵51和电磁阀53、移动单元6的X轴电机驱动器63x和y轴电机驱动器63y电连接。进而，控制部7能够使它们分别独立地工作。此外，控制程序被预先存储在控制部7中内置的存储部(记录介质)71中。
[0189]此外，存储部71例如由RAM(Random Access Memory:随机存储器，包含易失性、非易失性中的任意一种)，FD (Floppy Disk:软盘(Floppy为注册商标))，HD (Hard Disk:硬盘)、CD-ROM (Compact Disc Read-Only Memory:只读光盘)等那样的磁性、光学记录介质或半导体存储器构成。
[0190]接下来，对覆膜形成工序中的覆膜形成装置I的工作，进行详细说明。
[0191]在覆膜形成工序中，如图4所示，以使连接管2的第2开口部21面向基材Pl的方式，使工作台61相对于连接管2的第2开口部21进行位置对准。此外，该位置对准是使用CCD (Charge Coupled Device:电荷親合器件)照相机，根据由该CCD照相机拍摄到的图像进行的。
[0192]此外，此时，在覆膜形成装置I中，压力调整单元5工作。由此，成膜室16内的压力变得低于气溶胶产生器15内的压力。此外，维持该状态，直到对基材Pl形成覆膜P3的工序完成为止。
[0193]在覆膜形成装置I中，