骤S3。
3.根据权利要求2所述的加热灯的监控方法,其特征在于,定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行所述工艺配方时所述加热灯在一定输出功率百分比下对工艺腔室进行加热保温的功能，在所述步骤SI中包括以下步骤: 步骤SI I，保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态； 步骤S12，判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态，若是，则进入步骤S13，若否，则进入步骤S14; 步骤S13,关闭所述idleoutput功能； 步骤S14，关闭所述加热灯，设置所述加热灯的输出功率百分比为初始值，并清除所述加热灯的每个输出功率百分比条件下的所述标准电流值； 步骤S15，打开所述加热灯，在所述加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在多个输出功率百分比下 对应的输出电流值，并根据每个输出功率百分比对应的输出电流值设定该输出功率百分比条件下的所述标准电流值和所述预设范围； 步骤S16,根据在步骤Sll中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭所述idleoutput 功倉泛。
4.根据权利要求3所述的加热灯的监控方法，其特征在于，多个所述输出功率百分比的范围在0%?100%，设置所述加热灯的输出功率百分比的初始值为0%，设置在每个输出功率百分比条件下采集所述加热灯的输出电流值数量的初始值为O ;在所述步骤S15中包括以下步骤: 步骤S151，打开所述加热灯； 步骤S152，判断所述加热灯的当前输出功率百分比是否等于100%，若否，则进入步骤S153 ;若是，则进入步骤S157 ； 步骤S153，所述当前输出功率百分比增加1% ； 步骤S154，判断在所述当前输出功率百分比条件下采集的所述加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量，若否，则进入步骤S155 ;若是，则进入步骤S156 ； 步骤S155，在所述当前输出功率百分比条件下，对所述加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的所述加热灯的输出电流值数量加1，并在间隔预设时间之后，进入步骤S154 ； 步骤S156，在所述当前输出功率百分比条件下，根据采集到的预设数量的输出电流值计算所述加热灯的输出电流值的相关参数值，并基于所述相关参数值设定所述标准电流值和所述预设范围； 步骤S157，关闭加热灯。
5.根据权利要求1所述的加热灯的监控方法，其特征在于，在所述步骤S2中包括以下步骤: 步骤S21，采用数据订阅的方式捕获所述加热灯的输出电流是否发生变化，若是，则进入步骤S22，若否，则继续执行步骤S21 ； 步骤S22，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3 ;若二者不存在偏差，则进入步骤S21。
6.根据权利要求2所述的加热灯的监控方法，其特征在于，在所述步骤S2中包括以下步骤: 步骤S21，采用数据订阅的方式捕获所述加热灯的输出电流是否发生变化，若是，则进入步骤S22，若否，则继续执行步骤S21 ； 步骤S22，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与工艺过程的当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S23 ;若二者不存在偏差，则进入步骤S21 ； 步骤S23，判断所述偏差是否位于所述预设范围内，若否，则进入所述步骤S3 ;若是，则继续执行步骤S21。
7.根据权利要求1所述的加热灯的监控方法，其特征在于，在所述步骤S3中还包括发出报警信号，在发出所述报警信号之后对所述加热灯进行维护。
8.根据权利要求1所述的加热灯的监控方法，其特征在于，还包括步骤S4，在已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在所述多个输出功率百分比下--对应的输出电流值，设置所述多个输出功率百分比中的至少一个特定输出功率百分t匕,查询与每个所述特定输出功率百分比相对应的所述标准电流值，根据与每个所述特定输出功率百分比对应的所述输出电流值和所述标准电流值,计算在该所述特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比。
9.根据权利要求8所述的加热灯的监控方法，其特征在于，还包括步骤S5，基于所述增减百分比对所述预设输出功率百分比进行调节，当对所述预设输出功率百分比进行调节之后进入所述步骤SI。
10.根据权利要求8所述的加热灯的监控方法,其特征在于,定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行所述工艺配方时所述加热灯在一定输出功率百分比下对工艺腔室进行加热保温的功能，在所述步骤S4中包括以下步骤: 步骤S41，保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态； 步骤S42，判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态，若是，则进入步骤S43 ;若否，则进入步骤S44; 步骤S43,关闭所述idleoutput功能； 步骤S44，关闭所述加热灯，设置所述加热灯的输出功率百分比为初始值； 步骤S45，打开所述加热灯，在所述已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集该加热灯在所述多个输出功率百分比下--对应的输出电流值； 步骤S46，查询与每个所述特定输出功率百分比相对应的所述标准电流值，根据与每个所述特定输出功率百分比对应的所述输出电流值和所述标准电流值，计算在该特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比； 步骤S47,根据在步骤Sll中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭所述idleoutput 功倉泛。
11.根据权利要求10所述的加热灯的监控方法，其特征在于，多个所述输出功率百分比的范围在0%?100%，设置所述加热灯的输出功率百分比的初始值为0%，设置在每个输出功率百分比条件下采集所述加热灯的输出电流值数量的初始值为O ;在所述步骤S45中包括以下步骤: 步骤S451，打开所述加热灯； 步骤S452，判断所述加热灯的当前输出功率百分比是否等于100%，若否，则进入步骤S453 ;若是，则进入步骤S457 ； 步骤S453，所述当前输出功率百分比增加1% ； 步骤S454，判断在所述当前输出功率百分比条件下采集的所述加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量，若否，则进入步骤S455 ;若是，则进入步骤S456 ；步骤S455，在所述当前输出功率百分比条件下，对所述加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的所述加热灯的输出电流值的数量加1，并在间隔预设时间之后，进入步骤S454 ；步骤S456，在所述当前输出功率百分比条件下，根据采集到的预设数量的输出电流值计算所述加热灯的输出电流值的相关参数，并基于所述相关参数确定在当前输出功率百分比条件下的所述加热灯的输出电流值； 步骤S457，关闭加热灯。
【专利摘要】本发明提供一种加热灯的监控方法，包括步骤S1，在加热灯输出最大输出功率的条件下，采集加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值；步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，检测加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的标准电流值，将当前输出电流值与标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3；步骤S3，对加热灯进行维护。本发明提供的加热灯的监控方法，可以及时地监测加热灯的输出功率是否降低，从而可以及时地对加热灯进行维护以保证加热灯对基片稳定加热，进而可以提高工艺质量。
【IPC分类】G05F1-66
【公开号】CN104731156
【申请号】CN201310698072
【发明人】刘学庆
【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2013年12月18日