稳流装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体设备中的零部件领域，尤其涉及一种维持液体输出稳定的稳流
目-Ο
【背景技术】
[0002]在现代工业生产中，多数要求液体输出形貌稳定。然而，现有供液装置由于缺乏相应设计，很难保证这一点。如图1所示，图1示例了现有供液装置的结构。现有供液装置包括缓冲腔101、输出端部102及供液泵103。缓冲腔101的进液端通过L形管道与供液泵103的输出端连接，缓冲腔101的出液端与输出端部102连接。液体由供液泵103抽出，通过管道流进缓冲腔101，然后从输出端部102流出。由于缓冲腔101的进液端通过L形管道与供液泵103的输出端连接，强大的管阻导致从输出端部102输出的液体形貌为“ Λ ”形，如图3(a)所示，而我们期望的液体输出形貌为如图3(d)所示的形貌。此外，供液泵103通常选用的是气动隔膜泵，此种泵输出的液体是脉冲式的，图3(b)示出了脉冲波峰时从输出端部102输出的液体形貌，图3(c)示出了脉冲波谷时从输出端部102输出的液体形貌。显然，脉冲波峰与脉冲波谷时从输出端部102输出的液体形貌不同。因此，现有的供液装置难以使液体输出形貌稳定。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是针对上述技术问题提出一种稳流装置，该稳流装置能够使液体输出形貌稳定。
[0004]为实现上述目的，本发明提出的稳流装置，包括:缓冲部、输出端部及弹性连接件。缓冲部具有缓冲腔、开设有进液口的进液端及开设有出液口的出液端。输出端部位于缓冲部的出液端的一侧，输出端部具有输出口。弹性连接件连接输出端部与缓冲部的出液端。输出端部与缓冲部的出液端之间具有一间隙，该间隙的大小通过弹性连接件的伸缩调节，缓冲腔中的液体一部分从输出端部的输出口输出，另一部分从该间隙溢出。
[0005]在一个实施例中，该稳流装置还包括挡板及连接架，挡板设置在缓冲部的缓冲腔内，挡板正对着缓冲部的进液口，挡板与输出端部之间通过连接架连接。
[0006]在一个实施例中，缓冲部的进液口与一回形供液管的出液端连接。
[0007]在一个实施例中，当输出端部受到液体挤压时，弹性连接件拉伸，输出端部与缓冲部的出液端之间的间隙变大，液体通过该间隙溢出的量增大，当输出端部受到的液体挤压力变小时，弹性连接件收缩，输出端部与缓冲部的出液端之间的间隙变小，液体通过该间隙溢出的量变小。
[0008]在一个实施例中，输出端部的输出口的直径小于缓冲部的出液口的直径。
[0009]本发明通过在供液管路上设置能够自我调节的稳流装置，从而能够使液体输出的形貌稳定。
【附图说明】
[0010]图1示例了现有供液装置的结构示意图。
[0011]图2示例了现有供液装置的缓冲腔与输出端部组合后的剖视图。
[0012]图3(a)至图3(c)示例了现有供液装置从输出端部输出的液体形貌图，图3 (d)为理想的液体输出形貌图。
[0013]图4揭示了本发明的稳流装置的一实施例的剖面结构示意图。
[0014]图5揭示了本发明的稳流装置应用的一实施例的示意图。
[0015]图6揭示了本发明的稳流装置的又一实施例的剖面结构示意图。
[0016]图7揭示了挡板与连接架组合后的顶视图。
【具体实施方式】
[0017]为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所达成目的及效果，下面将结合实施例并配合图式予以详细说明。
[0018]参考图4所示，图4揭示了本发明的稳流装置的一实施例的剖面结构示意图。如图4所示，该稳流装置包括缓冲部41、输出端部42及弹性连接件43。缓冲部41具有缓冲腔411、开设有进液口的进液端412及开设有出液口的出液端413，其中，缓冲部41的进液口的直径小于出液口的直径。输出端部42位于缓冲部41的出液端413的一侧，输出端部42与缓冲部41的出液端413通过弹性连接件43连接，弹性连接件43还起到隔离作用，因此，输出端部42与缓冲部41的出液端413之间还具有一间隙。输出端部42具有输出口 421，输出口 421的直径小于缓冲部41的出液口的直径。
[0019]参考图5所示，图5揭示了本发明的稳流装置应用的一实施例的示意图。在本实施例中，缓冲部41的进液口与一回形供液管44的出液端连接，该回形供液管44的进液端通过管道与供液泵45连接，该供液泵45通常选用的是气动隔膜泵。液体由供液泵45抽出，然后流经管道进入回形供液管44内，再由回形供液管44进入缓冲部41的缓冲腔411，缓冲腔411中的液体一部分从输出端部42的输出口 421输出，另一部分从输出端部42与缓冲部41的出液端413之间的间隙溢出。当脉冲波峰来临时，输出端部42受到液体挤压，弹性连接件43拉伸，输出端部42与缓冲部41的出液端413之间的间隙变大，液体通过该间隙溢出的量增大；当脉冲波谷来临时，输出端部42受到的液体挤压力变小，弹性连接件43收缩，输出端部42与缓冲部41的出液端413之间的间隙变小，液体通过该间隙溢出的量变小。由此，降低了供液泵45本身的属性对液体输出形貌的影响，从而能够使输出端部42输出的液体形貌稳定。此外，缓冲部41的进液口与回形供液管44连接，能够抵消水平方向的管阻，从而消除“ Δ ”形的液体输出形貌。
[0020]参考图6所示，图6揭示了本发明的稳流装置的又一实施例的剖面结构示意图。该稳流装置除了包括缓冲部61、输出端部62及弹性连接件63外，还包括挡板66及连接架67，挡板66设置在缓冲部61的缓冲腔611内，挡板66正对着缓冲部61的进液口，挡板66与输出端部62之间通过连接架67连接。通过设置挡板66，能够进一步降低供液泵本身的属性对液体输出形貌的影响。
[0021]本发明通过在供液管路上设置能够自我调节的稳流装置，从而能够使液体输出的形貌稳定。
[0022]综上所述，本发明通过上述实施方式及相关图式说明，己具体、详实的揭露了相关技术，使本领域的技术人员可以据以实施。而以上所述实施例只是用来说明本发明，而不是用来限制本发明的，本发明的权利范围，应由本发明的权利要求来界定。至于本文中所述元件数目的改变或等效元件的代替等仍都应属于本发明的权利范围。
【主权项】
1.一种稳流装置，其特征在于，包括: 缓冲部，具有缓冲腔、开设有进液口的进液端及开设有出液口的出液端； 输出端部，位于缓冲部的出液端的一侧，输出端部具有输出口 ；及 弹性连接件，连接输出端部与缓冲部的出液端； 输出端部与缓冲部的出液端之间具有一间隙，该间隙的大小通过弹性连接件的伸缩调节，缓冲腔中的液体一部分从输出端部的输出口输出，另一部分从该间隙溢出。2.根据权利要求1所述的稳流装置，其特征在于，还包括挡板及连接架，挡板设置在缓冲部的缓冲腔内，挡板正对着缓冲部的进液口，挡板与输出端部之间通过连接架连接。3.根据权利要求1或2所述的稳流装置，其特征在于，缓冲部的进液口与一回形供液管的出液端连接。4.根据权利要求1所述的稳流装置，其特征在于，当输出端部受到液体挤压时，弹性连接件拉伸，输出端部与缓冲部的出液端之间的间隙变大，液体通过该间隙溢出的量增大，当输出端部受到的液体挤压力变小时，弹性连接件收缩，输出端部与缓冲部的出液端之间的间隙变小，液体通过该间隙溢出的量变小。5.根据权利要求1所述的稳流装置，其特征在于，输出端部的输出口的直径小于缓冲部的出液口的直径。
【专利摘要】本发明揭示了一种稳流装置，包括：缓冲部、输出端部及弹性连接件。缓冲部具有缓冲腔、开设有进液口的进液端及开设有出液口的出液端。输出端部位于缓冲部的出液端的一侧，输出端部具有输出口。弹性连接件连接输出端部与缓冲部的出液端。输出端部与缓冲部的出液端之间具有一间隙，该间隙的大小通过弹性连接件的伸缩调节，缓冲腔中的液体一部分从输出端部的输出口输出，另一部分从该间隙溢出。当输出端部受到液体挤压时，弹性连接件拉伸，输出端部与缓冲部的出液端之间的间隙变大，液体通过该间隙溢出的量增大，当输出端部受到液体的挤压力变小时，弹性连接件收缩，输出端部与缓冲部的出液端之间的间隙变小，液体通过该间隙溢出的量变小。
【IPC分类】G05D7/00
【公开号】CN105320158
【申请号】CN201410365759
【发明人】代迎伟, 金一诺, 王坚, 王晖
【申请人】盛美半导体设备（上海）有限公司
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2014年7月29日