晶圆cmp加工信息管理系统的制作方法
【专利摘要】本发明提出一种晶圆CMP加工信息管理系统，用于科学地管理每一片晶圆的CMP加工信息，方便工艺人员登录和访问数据库，包括：客户端，用于向服务器端发出访问请求建立连接并要求各项服务；以及服务器端，用于响应客户端的访问请求与客户端建立连接，并提供服务。客户端运行在上位机IPC中。服务器端，利用MySQL数据库管理系统建立数据库，用于记录和保存被提交的数据。数据库中，根据晶圆编号、晶圆状态、加工时间和工艺配方名称等主要字段，建立一系列完整的晶圆CMP加工信息数据表格。对于MySQL数据库的访问方法，本发明利用Qt的数据库访问接口，自行编译MySQL数据库驱动。数据库登陆成功后，客户端使用标准的SQL来对数据库进行操作。
【专利说明】晶圆CMP加工信息管理系统【技术领域】
[0001]本发明涉及化学机械抛光【技术领域】，特别涉及一种晶圆CMP加工信息管理系统。【背景技术】
[0002]化学机械抛光技术(ChemicalMechanical Planarization,简称CMP)是当前ULSI时代最广泛使用的全局平坦化技术。与现有的一些平坦化技术相比，CMP技术在有效兼顾表面的局部和全局平坦度的同时，满足了制造特征尺寸更小、金属互连层数更多的芯片的要求。本CMP系统针对铜CMP工艺而设计，用于去除晶圆表面多余的铜。在工艺实践中，工艺人员需及时掌握每一片晶圆的工艺信息，包括晶圆编号，晶圆状态，加工时间及其抛光时使用的工艺配方名称等，从而科学管理晶圆的加工过程。
[0003]然而，现有的一些数据库管理系统不适合本CMP控制系统，不便于晶圆CMP加工信息管理系统的开发。
【发明内容】
[0004]本发明的目的旨在至少解决上述的技术缺陷之一。
[0005]为此，本发明需要提供一种晶圆CMP加工信息管理系统，用于科学管理晶圆的CMP加工信息，并方便工艺人员登录和访问晶圆加工信息数据库。
[0006]有鉴于此，本发明的实施例提出一种晶圆CMP加工信息管理系统，包括:客户端，用于向服务器端发出访问请求建立连接，并要求服务器端提供服务；以及服务器端，用于响应所述访问请求与所述客户端建立连接，并提供服务，所述客户端通过所述服务器端登录和访问数据库，以对所述数据库中的晶圆CMP加工信息进行读取或删除操作。
[0007]根据本发明实施例的系统，服务器端利用MySQL开源数据库管理系统，建立数据库，用于记录和保存被提交的数据，方便了数据访问过程，提高了处理效率。另外，客户端利用Qt OpenSource实现其图形用户界面的开发和数据库的访问驱动，降低了其开发难度。
[0008]在本发明的一个实施例中，所述服务器端通过MySQL开源数据库管理系统建立所述数据库，所述数据库用于记录和保存所述晶圆CMP加工信息。
[0009]在本发明的一个实施例中，所述晶圆CMP加工信息包括晶圆编号、晶圆状态、加工时间和工艺配方名称。
[0010]在本发明的一个实施例中，所述数据库根据所述每片晶圆的所述晶圆CMP加工信息建立数据表格，使所述晶圆CMP加工信息以数据表格的形式存储在所述数据库中。
[0011]在本发明的一个实施例中，所述服务器端通过监听端口监听所述客户端的请求，如果所述客户端有请求，则根据所述客户端的要求进行服务，所述客户端根据所述服务器端的IP地址和所述监听端口与所述服务器端建立连接，并要求服务。
[0012]在本发明的一个实施例中，在所述客户端连接到所述服务器端之后，所述服务器端对所述客户端的用户身份进行验证，并在验证通过后，所述客户端在所述用户权限内对所述数据库中的所述晶圆CMP加工信息进行读取或删除操作。[0013]在本发明的一个实施例中，在所述客户端与所述服务器端的连接失败次数大于预设次数时，所述服务器端向所述客户端发出提示信息。
[0014]在本发明的一个实施例中，在所述服务器端与所述客户端的连接失败次数不大于预设次数时，所述客户端与所述服务器端继续建立连接。
[0015]在本发明的一个实施例中，所述客户端通过Qt的数据库访问接口访问所述数据库。
[0016]在本发明的一个实施例中，在所述客户端登录到所述数据库后，所述客户端使用标准的SQL语句发送指令，并利用函数value从读取到的每条所述晶圆CMP加工信息的记录中依次获取各项数据，再转化为对应的数据类型以进行后续的数据处理。
[0017]本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:
[0019]图1为根据本发明一个实施例的晶圆CMP加工信息管理系统的结构框图；
[0020]图2为根据本发明一个实施例的客户端登陆数据库的流程图；
[0021]图3为根据本发明一个实施例的加工信息主要内容的示意图；以及
[0022]图4为根据本发明一个实施例的客户端的访问过程示意图。
【具体实施方式】
[0023]下面详细描述本发明的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
[0024]在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0025]在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0026]图1为根据本发明一个实施例的晶圆CMP加工信息管理系统的结构框图。如图1所示，根据本发明实施例的晶圆CMP加工信息管理系统包括:客户端100和服务器端200。
[0027]具体地，客户端100用于向服务器端200发出访问请求建立连接，并要求服务器端200提供服务。服务器端200用于响应访问请求与客户端建立连接，并提供服务。客户端100通过服务器端200登录和访问数据库，以对数据库中的晶圆CMP加工信息进行读取或删除操作。在客户端100/服务器端200的架构下，系统需保持客户端100和服务器端200两个进程，并且应先启动服务器端的应用程序。由于实时性的需要，数据库需要不断更新与补充，所以服务器端200的应用程序应在工作阶段持续运行。
[0028]MySQL是瑞典MySQL AB公司开发的开源数据库管理系统，源代码开放并可免费使用。目前，在众多的数据库管理系统中，MySQL以其开源特性和卓越性能成为很多人建立信息管理系统的首选。作为一种关联数据库管理系统，它将数据间的关系以数据库表的形式加以表达，并将数据存储在表格中以便查询。
[0029]根据本发明实施例的系统，服务器端利用MySQL开源数据库管理系统，建立数据库，用于记录和保存被提交的数据，方便了数据访问过程，提高了处理效率。另外，客户端利用Qt OpenSource实现其图形用户界面的开发和数据库的访问驱动，降低了其开发难度。
[0030]在本发明的一个实施例中，所述服务器端通过MySQL开源数据库管理系统建立所述数据库，所述数据库用于记录和保存所述晶圆CMP加工信息。服务器端200实时获取CMP主控制系统提交的晶圆CMP加工信息，并将晶圆CMP加工信息添加到数据库中，其中CMP主控制系统具有最高的数据访问权限。具体地，工艺人员每选定一批次晶圆进行CMP工艺后，控制系统自动将本批次的晶圆CMP加工信息填加到数据库中。该晶圆CMP加工信包括晶圆编号、晶圆状态、加工时间和工艺配方名称等数据。图3为根据本发明一个实施例的晶圆CMP加工信主要内容的示意图。如图3所示，服务器端200的资源管理器连接到MySQL数据库后，将每片晶圆CMP加工信息，即晶圆编号、晶圆状态、加工时间和工艺配方名称等建立一系列完整的数据表格。其中，晶圆状态表示晶圆已完成工艺处理或未完成工艺处理。当客户端100连接服务器端200，并验证用户身份正确后便可以获取当前用户权限内的全部信息。服务器端200以各晶圆CMP加工信息为参数项建立数据表格，使晶圆CMP加工信以数据表格的形式存储在数据库中。表格中的每一行对应一条完整的晶圆CMP加工信记录。
[0031]在本发明的一个实施例中，服务器端200通过监听端口(例如端口号为3306)监听客户端100的连接请求，如果客户端有请求，则按照客户端的要求进行服务。客户端100根据服务器端200的IP地址和监听端口与客户端100建立连接，并要求服务。在客户端100连接到服务器端200之后，客户端进一步提供当前用户的用户名和密码。服务器端200对客户端100的用户身份验证正确后，客户端100在用户权限内对数据库操作，服务器端200则根据用户的操作向数据库提交SQL指令。如果身份验证失败，则服务器端200向客户端100发出提示信息，例如“密码错误”等提示信息。在客户端与服务器端连接过程中，如果服务器端200与客户端100的连接失败次数大于预设次数时，服务器端200向客户端100发出提示信息，例如“服务器不存在”或“ IP地址错误”等，否则客户端100根据服务器端200名称和监听端口与服务器端200继续建立连接。该预设次数可以为3次。
[0032]图2为根据本发明一个实施例的客户端登陆数据库的流程图。如图2所示，客户端100通过服务器的IP地址，及监听端口号与服务器端200建立连接。如果连接成功，根据用户通过客户端100提供的用户名和密码进行身份验证。身份验证正确后，允许客户端100登陆到数据库，进而允许客户端100在用户权限以内进行操作数据。如果身份验证失败，则向客户端100发出提示信息，例如“验证失败”等提示信息。如果客户端100与服务器端200连接失败，首先判断其连接次数是否大于预设次数，如果不大于预设次数，则继续根据服务器的IP地址和监听端口号与服务器端200建立连接，否则向客户端100发送错误信息或提示信息，例如“服务器不存在”或“IP地址错误”等信息。如果客户端100登陆数据库成功，服务器端200根据用户的操作或指令向数据库提交SQL指令，并把返回结果反馈给客户端100。
[0033]客户端100运行在上位机IPC中，客户端100具有独立的操作界面，用户可以根据该操作界登陆数据库。客户端100的主要功能包括:(1)用户可随时通过客户端100连接至|J数据库，并访问该用户权限以内全部晶圆CMP加工信息。(2)登陆到该数据库之后，用户可对本权限以内对晶圆CMP加工信记录进行读取或删除操作。其中，数据库运行在服务器端200上。本发明中基于Visual Studio2008软件开发平台，利用Qt Designer完成客户端图形用户界面的开发，并使用Qt的数据库访问接口，编译MySQL数据库驱动。该驱动在客户端中以插件的形式应用。在本发明的客户端实现中，创建数据库连接需要以下操作:激活驱动程序，设置连接信息，打开连接。
[0034]图4为根据本发明一个实施例的客户端的访问过程示意图。如图4所示，客户端100的操作过程大致可分为(1)打开客户端，连接数据库，(2)对数据库操作和(3)退出客户端，中断连接。
[0035](1)打开客户端，连接数据库
[0036]在客户端100的界面中，输入服务器的IP地址、服务器端的监听端口号、数据库名称、用户名以及密码。如果连接和验证成功，即可登录存储有晶圆CMP加工信的数据库。
[0037](2)数据库的操作
[0038]客户端100将包含各种操作信息的请求传送给服务器端200。该请求操作信息包括读取和删除等。其中，读取操作是根据当前用户的权限，将该用户权限内的全部记录反馈给该用户，而且用户可进一步设置过滤条件，查看所需数据。该删除操作为伪删除操作，即只是将该删除的信息不再出现在当前用户的查询结果中(并不能从数据库中真正删除所选记录，只有具有删除权限的用户才可删除记录)。当服务器端200获取用户的操作指令后，可将相应的结果发送到客户端100呈现给用户。
[0039](3)退出客户端，中断连接，即关闭窗口，释放客户端100的进程。
[0040]访问MySQL数据库的方式有三种。第一种是使用MySQL的C API接口。第二种是使用开放数据库互连接口 MySQL ODBC。第三种是使用基于标准C++的MySQL数据库访问弓|擎MySQL++。第一种和第二种方式是MySQL早期提供的访问方式，而MySQL++是一种新的访问方式，该访问方式是基于标准C++的源代码级MySQL数据库访问引擎，具有功能强大、访问性能高，还可以跨平台。
[0041 ] Qt提供了无关平台的数据库编程接口，可更好地扩展新的不同的数据库。此外，利用Qt的模型/视图结构，可方便信息的存储与浏览。因此，在本发明的一个实施例中，采用Qt提供的数据库访问接口。由于Qt自身没有带MySQL数据库的驱动，只有源代码文件，所以本发明编译了 MySQL数据库驱动，使其以插件的形式应用。编译过程具体如下所示。
[0042]第一步，下载MySQL的安装程序。在安装时选择定制安装，选中Libs和Include文件，假设安装位置是C: \MySQL。
[0043]第二步，进行编译。可以按照实际情况输入如下指令:
[0044]a.cd%QTDIR%\src\plugins\sqldrivers\mysql[0045]b.qmake"INCLUDEPATH+=C: \MySQL\include""LIBS+=C: \MYSQL\MySQLServer<version>\lib\opt\libmysql.lib〃mysql.pro
[0046]c.nmake
[0047]第三步，将C: \MySQL\bin目录下的libmySQL.dll文件复制到Qt Creator安装目录下的qt\bin目录中即可。
[0048]由于Qt的SQL模块可以通过插件的形式在运行期动态地装载新的驱动程序，所以一旦该插件被建立，Qt就可以自动地装载它，之后为QSqlDatabase所用。
[0049]在本发明的客户端100在运行过程中，创建数据库连接的具体操作为:首先，激活驱动程序，设置连接信息，打开连接。在数据库连接成功后，就可以使用标准的SQL对数据库进行读取和删除等常规操作。以下结合Qt的SQL模块所提供的主要函数，简述查询过程。
[0050]首先，建立与数据库的连接。所以，可调用函数QSqlDatabase::addDatabase创建QSqlDatabase对象。函数addDatabase的第一个参数指定了 Qt使用哪一个数据库驱动程序来访问这个数据库，本发明使用的是MySQL数据库。
[0051]然后，需要设置数据库的服务器名，端口号，数据库名，用户名及密码，并且打开这个连接。一般情况下，常用参数设置可进行保存。当用户二次登陆时，在指定位置读取已保存参数即可。
[0052]当建立连接时，可以使用QSqlQuery执行底层数据库支持的任何SQL语句。在执行SQL语句前,需要创建一个QSqlQuery对象，然后利用函数QSqlQuery:: exec进行相应处理。其QSqlQuery对象的创建如下。
[0053]QSqlQuery query·;
[0054]query, exec (QString ("SELECT^FROM CMPmsg WHERE cid=’％1’ORDER BYcreatetime DESC〃).arg(parameter::userID));
[0055]通过上述查询代码将返回当前用户权限下的所有记录，并按生成日期降序排列。在执行完函数exec后，QSqlQuery的内部指针被定位到结果集的第一个记录之前,可以使用函数QSqlQuery::next将指针定位到第一条记录。随后每次调用函数next,都会把记录指针移到下一条记录。这时，利用函数value将每条记录中不同数据类型的参数以统一的QVariant类型返回再转化为相应的数据类型，从而实现依次提取各项参数。
[0056]对于获取到的数据，客户端将其显示在用户界面中数据表格的指定位置上。对于一般数据，可利用Qt提供的QSQlTableModel和QTableView处理数据，并对其进行适当渲染。
[0057]根据本发明实施例的系统，服务器端利用MySQL开源数据库管理系统，建立数据库，用于记录和保存被提交的数据，方便了数据访问过程，提高了处理效率。另外，客户端利用Qt实现其图形用户界面的开发和数据库的访问驱动，降低了其开发难度。
[0058]尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
【权利要求】
1.一种晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，包括:客户端，用于向服务器端发出访问请求建立连接，并要求服务器端提供服务；以及服务器端，用于响应所述访问请求与所述客户端建立连接，并提供服务，所述客户端通过所述服务器端登录和访问数据库，以对所述数据库中的晶圆CMP加工信息进行读取或删除操作。
2.如权利要求1所述的晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，所述服务器端通过MySQL开源数据库管理系统建立所述数据库，所述数据库用于记录和保存所述晶圆CMP加工信息。
3.如权利要求1所述的晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，所述晶圆CMP加工信息包括晶圆编号、晶圆状态、加工时间和工艺配方名称。
4.如权利要求1所述的晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，所述数据库根据所述每片晶圆的所述晶圆CMP加工信息建立数据表格，使所述晶圆CMP加工信息以数据表格的形式存储在所述数据库中。
5.如权利要求1所述的晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，所述服务器端通过监听端口监听所述客户端的请求，如果所述客户端有请求，则根据所述客户端的要求进行服务，所述客户端根据所述服务器端的IP地址和所述监听端口与所述服务器端建立连接，并要求服务。
6.如权利要求5所述的晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，在所述客户端连接到所述服务器端之后，所述服务器端对所述客户端的用户身份进行验证，并在验证通过后，所述客户端在所述用户权限内对所述数据库中的所述晶圆CMP加工信息进行读取或删除操作。
7.如权利要求5所述的晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，在所述客户端与所述服务器端的连接失败次数大于预设次数时，所述服务器端向所述客户端发出提示信息。
8.如权利要求7所述的晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，在所述服务器端与所述客户端的连接失败次数不大于预设次数时，所述客户端与所述服务器端继续建立连接。
9.如权利要求2所述的晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，所述客户端通过Qt的数据库访问接口访问所述数据库。
10.如权利要求2所述的晶圆CMP加工信息管理系统，其特征在于，在所述客户端登录到所述数据库后，所述客户端使用标准的SQL语句发送指令，并利用函数value从读取到的每条所述晶圆CMP加工信息的记录中依次获取各项数据，再转化为对应的数据类型以进行后续的数据处理。
【文档编号】G06Q10/06GK103679368SQ201310683737
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年12月13日 优先权日:2013年12月13日
【发明者】路新春, 李弘恺, 田芳馨, 王同庆, 赵乾, 何永勇 申请人:清华大学