一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器，包括管状主体，该主体的下端安装有中心吸盘，上端安装有把手，该主体上还设有泄压孔和真空管接口，该主体中部安装有三个伸缩管，该三个伸缩管的末端分别安装一辅助吸盘。本实用新型通过四个吸盘与晶圆接触，吸取晶圆时，晶圆不会产生形变，降低了晶圆破碎比例，减少了晶圆损失；通过简单调整可以适用于不同直径的晶圆，方便实用。
【专利说明】一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种手动取片器，尤其涉及一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器。
【背景技术】
[0002]在晶圆加工过程中，为了得到平整表面进行研磨加工，在加工后从磨盘上取出晶圆多是人工操作，手持一个取片器吸住晶圆后取出。传统的取片器普遍是为小尺寸晶圆设计的，在吸取大直径晶圆时，晶圆会受力不均，发生形变。另外，由于晶圆为脆性材料，采用传统的取片器吸取大直径晶圆时极容易出现破碎的情况，严重影响加工成品率。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于提供一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器，以降低晶圆破碎，减少晶圆损失，同时经过简单调整可以适用于不同直径的晶圆。
[0004]为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案:
[0005]一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器，包括管状主体，该主体的下端安装有中心吸盘，上端安装有把手，该主体上还设有泄压孔和真空管接口，该主体中部安装有三个伸缩管，该三个伸缩管的末端分别安装一辅助吸盘。
[0006]所述中心吸盘和三个辅助吸盘在同一平面上。
[0007]所述泄压孔位于把手下方。
[0008]所述伸缩管与主体之间为螺纹连接。
[0009]本实用新型的取片器，通过调节伸缩管长度可以适用于8?12英寸不同直径晶圆。
[0010]本实用新型的优点在于:
[0011]本实用新型通过四个吸盘与晶圆接触，吸取晶圆时，晶圆不会产生形变，降低了晶圆破碎比例，减少了晶圆损失；通过简单调整可以适用于不同直径的晶圆，方便实用。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]以下结合附图对本实用新型作进一步说明。
[0014]如图1所示，本实用新型的适用于大直径晶圆加工的手动取片器包括管状主体1，主体I的下端安装有中心吸盘2，上端安装有把手3，主体上I还设有泄压孔4和真空管接口 5，泄压孔4位于把手3的下方，真空管接口 5用于连接真空管6，主体I的中部安装有三个伸缩管7，该三个伸缩管的末端分别安装一辅助吸盘8。中心吸盘2以及三个辅助吸盘8分别与主体I及伸缩管7相连，内部管道相通，最终与真空管6连通。[0015]在本实用新型中，三个伸缩管7对称分布在主体I的周围，三个辅助吸盘8与中心吸盘2位于同一平面上。三个伸缩管与主体之间可以采用螺纹连接。通过调节伸缩管长度来调整辅助吸盘的位置，可适应不同直径例如直径为8?12英寸晶圆的需要。三个伸缩管在合适的位置可以通过紧固螺丝固定。
[0016]本实用新型手动取片器的主体可以采用聚丙烯(PP塑料)、聚氯乙烯(PVC塑料)等工程塑料或不锈钢等硬性材料。吸盘可以采用丁腈橡胶、改性聚氯乙烯(改性PVC塑料)或硅胶等软性材料。
[0017]本实用新型在使用过程中，手握把手，将取片器放在晶圆上，手指堵住泄压孔，在抽真空的状态下，取片器内部形成负压吸住晶圆。放置晶圆时，手指放开泄压孔，晶圆自然脱落。整个过程晶圆保持平整无形变，可以有效降低晶圆变形破碎，减少晶圆损失。
【权利要求】
1.一种适用于大直径晶圆加工的手动取片器，其特征在于，包括管状主体，该主体的下端安装有中心吸盘，上端安装有把手，该主体上还设有泄压孔和真空管接口，该主体中部安装有三个伸缩管，该三个伸缩管的末端分别安装一辅助吸盘。
2.根据权利要求1所述的适用于大直径晶圆加工的手动取片器，其特征在于，所述中心吸盘和三个辅助吸盘在同一平面上。
3.根据权利要求1或2所述的适用于大直径晶圆加工的手动取片器，其特征在于，所述泄压孔位于把手下方。
4.根据权利要求1或2所述的适用于大直径晶圆加工的手动取片器，其特征在于，所述伸缩管与主体之间为螺纹连接。
5.根据权利要求1或2所述的适用于大直径晶圆加工的手动取片器，其特征在于，通过调节伸缩管长度适用于8?12英寸不同直径晶圆。
【文档编号】H01L21/687GK203607385SQ201320733794
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2013年11月19日 优先权日:2013年11月19日
【发明者】边永智, 宁永铎, 赵晶, 史训达, 赵伟, 张静, 张亮 申请人:有研半导体材料股份有限公司