一种版图设计方法和版图设计系统的制作方法_2

文档序号:9471537阅读:来源:国知局
现有技术中的上述技术问题。本实施例的版图设计方法,在进行冗余通孔插入时,具有如下优点:(I)可以直接调用晶圆厂提供的I3DK(Process Design KU,流程设计套装)中的DRC编码,不论设计规则多么复杂都几乎不需要对DRC编码进行修改,因此相对现有技术可以降低工作负载。(2)冗余通孔填充(RV filling)与设计规则检查(DRC)可以使用不同EDA厂商的工具软件自由搭配,使客户可以根据自身软件许可进行自由搭配,因此相对现有技术可以节省获得额外软件许可的使用成本。
[0042]下面,参照图2和图2’来介绍本发明实施例的版图设计方法。其中,图2为本发明实施例的版图设计方法的一种流程图,图2’为本发明实施例的版图设计方法的另一种流程图。
[0043]如图2和图2’所示,本发明实施例的版图设计方法,主要包括如下步骤:
[0044]步骤SlOl:提供原始版图文件(也称第一版图文件),对所述原始版图文件进行冗余通孔填充以形成第二版图文件。
[0045]其中,原始版图(layout)文件是指利用EDA工具设计形成的包含初始的正方形单通孔的版图文件。通常地,原始版图文件(或第一版图文件)是通过了 DRC验证的版图文件。冗余通孔填充(RV filling)是指用矩形通孔或者双正方形通孔代替所述原始版图文件中的正方形的单通孔。
[0046]在本实施例中,原始版图文件和第二版图文件的格式通常相同,以便于操作。示例性地,原始版图文件和第二版图文件的格式相同,其格式可以是GDS格式,也可以是OASIS等其他格式。
[0047]在本步骤中,对原始版图文件仅执行冗余通孔(RV)填充操作,输出的第二版图文件为包括冗余通孔的版图文件。
[0048]其中,步骤SlOl可以通过一个独立的模块(B卩,冗余通孔填充模块)来实现,而无需如现有技术那样与设计规则检查(DRC)以及版图操作(layout operat1n)混合在一起进行由一个共同的模块来一起实现。
[0049]步骤S102:将第二版图文件与原始版图文件合并(merge),以形成第三版图文件。
[0050]其中,版图文件的“合并”(merge)可以采用各种EDA工具软件中的“ Layoutmerge (版图合并)”功能实现。
[0051]其中,形成的第三版图文件的格式与第二版图文件以及原始版图文件的格式通常相同。当然,它们的格式也可以不同。
[0052]其中,步骤S102可以通过一个模块(例如:版图合并模块)来实现。
[0053]步骤S103:调用PDK (Process Design KU,流程设计套装)中的DRC编码对第三版图文件进行DRC验证,并根据所述DRC验证的结果输出包含DRC错误的第四版图文件。
[0054]在本实施例中,所调用的I3DK(Process Design KU,流程设计套装)中的DRC编码可以由其他单位或个人提供,因而有利于降低重新进行编码的时间成本。
[0055]由于之前进行的冗余通孔填充可能会导致DRC错误,因此需要进行DRC验证。其中,输出的第四版图文件包含该次DRC验证的结果中显示的所有DRC错误。并且,第四版图文件可以为GDS格式或其他合适的格式。
[0056]其中,步骤S103可以通过一个模块(DRC验证模块)来实现,而无需如现有技术一样为了将DRC验证与冗余通孔填充以及版图操作整合成一个共同的模块来实现而需要大量逐条修改TOK DRC编码,从而可以降低工作负载、提高版图设计的效率。
[0057]步骤S104:将所述第四版图文件中的DRC错误从所述第二版图文件中通过版图操作去除以形成第五版图文件,并将所述第五版图文件与所述原始版图文件合并以形成第六版图文件。
[0058]具体地,将第二版图文件与第四版图文件进行逻辑运算以将第四版图文件中的DRC错误从第二版图文件中去除从而形成第五版图文件;然后,将第五版图文件与原始版图文件合并以形成第六版图文件。
[0059]显然,第五版图文件不再包括有步骤S103中的DRC验证的验证结果中所包括的DRC错误。
[0060]其中,将第二版图文件与第四版图文件进行逻辑运算的方法可以为:将第二版图文件与包含DRC错误的第四版图文件进行逻辑“非”(也就是“不接触”)运算,以形成第五版图文件。
[0061]其中,步骤S104(用于实现版图操作)可以通过一个独立的模块(例如:版图操作模块)来实现,而无需如现有技术一样将版图操作与设计规则检查(DRC)以及冗余通孔填充混合在一起通过一个模块来实现。由于本实施例将冗余通孔填充、DRC验证与版图操作分成不同的步骤采用不同的模块来实现,因此,可以降低工作负载、提高版图设计的效率。并且,由于冗余通孔填充、DRC验证等采用不同的模块,因此可以分别采用不同EDA厂商的工具软件来自由搭配实现,使客户可以根据自身软件许可进行自由组合,因此相对现有技术可以节省获得额外软件许可的使用成本。
[0062]步骤S105:对DRC验证的次数与预设的DRC验证次数是否相等进行判断,如果相等则将所述第六版图文件作为最终的版图文件输出,如果不相等则重复执行上述的步骤S103至步骤S105。
[0063]显然,最终的版图文件可以为第六版图文件或者其他版图文件。
[0064]其中,如果经过步骤S104第六版图文件中不再包含DRC错误,则步骤S105可以省略。本实施例通过增加步骤S105,可以实现复杂设计规则(如:28nm或者14nm制成设计规则)下对所有的由于冗余通孔插入所导致的DRC错误的彻底去除,有利于提高所设计的版图的良率。
[0065]在本实施例中,上述步骤SlOl至步骤S105(省略步骤S105的情况下,步骤SlOl至步骤S104)可以通过一个脚本(例如:cshell script)来实现,关于脚本的具体内容在此并不进行限定。经过上述步骤,可以实现在版图设计过程中的冗余通孔的插入,且去除了因冗余通孔填充所导致的DRC错误。
[0066]本实施例的版图设计方法,包括冗余通孔填充、版图合并、调用TOK中的DRC编码进行DRC验证、去除DRC验证错误等步骤,这些步骤可以采用独立的模块来实现,因此可以降低工作负载、提高版图设计的效率,并且可以降低软件许可使用的成本。
[0067]其中,图2示出了本发明实施例的版图设计方法的一种流程图,具体包括:
[0068]步骤SlOl:提供原始版图文件,对所述原始版图文件进行冗余通孔填充以形成第二版图文件;
[0069]步骤S102:将所述第二版图文件与所述原始版图文件合并以形成第三版图文件;
[0070]步骤S103:对所述第三版图文件进行DRC验证,其中所述DRC验证直接调用PDK中的DRC编码并根据验证的结果输出包含DRC错误的第四版图文件;
[0071]步骤S104:将所述第四版图文件中的DRC错误从所述第二版图文件中通过版图操作去除以形成第五版图文件,并将所述第五版图文件与所述原始版图文件合并以形成第六版图文件。
[0072]其中,图2’示出了本发明实施例的版图设计方法的另一种流程图,具体包括:
[0073]步骤SlOl:提供原始版图文件,对所述原始版图文件进行冗余通孔填充以形成第二版图文件;
[0074]步骤S102:将所述第二版图文件与所述原始版图文件合并以形成第三版图文件;
[0075]步骤S103:对所述第三版图文件进行DRC验证,其中所述DRC验证直接调用PDK中的DRC编码并根据验证的结果输出包含DRC错误的第四版图文件;
[0076]步骤S104:将所述第四版图文件中的DRC错误从所述第二版图文件中通过版图操作去除以形成第五版图文件,并将所述第五版图文件与所述原始版图文件合并以形成第六版图文件;
[0077]步骤S105:对DRC验证的次数与预设的DRC验证次数是否相等进行判断,如果相等则将所述第六版图文件作为最终的版图文件输出,如果不相等则重复执行上述的步骤S103至步骤S105。
[0078]实施例二
[0079]本发明实施例提供一种版图设计系统,该系统为与实施例一所述的版图设计方法相对应的系统,可以用于实现该版图设计方法。
[0080]如图3所示,本发明实施例的版图设计系统10,主要包括如下模块(Module):
[0081]冗余通孔填充模块101:用于对原始版图文件(也称第一版图文件)进行冗余通孔填充以形成第二版图文件。
[0082]其中,原始版图文件是指利用EDA工具设计形成的包含初始的正方形单通孔的版图(layout)文件。通常地,原始版图文件(或第一版图文件)是通过了 DRC验证的版图文件。冗余通孔填充(RV filling)是指用矩形通孔或者双正方形通孔代替所述
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