可变形镜和具有该可变形镜的光学拾取装置的制作方法

专利名称：可变形镜和具有该可变形镜的光学拾取装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种可变形镜，其提供至光学拾取装置等，并且能够改变镜 面的形状，尤其是，本发明涉及一种由层叠的薄膜形成的可变形镜的结构。 此外，本发明涉及一种具有上述构造的可变形镜的光学拾取装置。
背景技术：
当利用光学拾取装置读取或写入诸如CD (压縮盘)、DVD (数字通用 盘)之类的光盘的信息时，理想的是光学拾取装置的光轴垂直于盘面。然而， 在实践中，当光盘转动时，光轴和盘面并不总是彼此垂直。因此，当读取或 写入诸如CD、 DVD之类的光盘的信息时，如果盘面相对于光轴发生倾斜， 则会产生波象差(主要为慧形象差)。此外，当待通过光学拾取装置复制的 光盘被更换时，如果光盘的透明覆盖层的厚度变化，则会产生波象差(主要 为球面象差)。这里，透明覆盖层为形成用于保护光盘的记录层的层。
当产生这种波象差时，由于照射在光盘上的激光束的光点位置偏移正确 位置，因此如果波象差变得大于容许值，则会产生不能执行信息的正确记录 或复制的问题。因此，迄今为止，已经通过利用可变形镜来执行波象差的补 偿，并且已经提出了各种可变形镜。
例如，在JP-A-2005-032286中提出了一种可变形镜，其中在基板101上 形成有下电极102、压电体103、上电极104、 105和弹性体106，并且在设 置于基板101的背侧上的腔部107上形成有反射膜108，如图5所示。此外， 在JP-A-2005-092987中提出了一种可变形镜，除了下电极被分割并且反射镜 膜形成在弹性体上以外，其与JP-A-2005-032286基本相同。
此外，在JP-A-2004-347753中提出了一种可变形镜，其具有以下结构 第二电极膜202、压电膜203、第一电极膜204、弹性镀膜205、以及反射镜 膜206以此顺序层叠在硅基板201上，如图6所示。
然而，由于在JP-A-2005-032286或JP-A-2005-092987中提出的可变形镜
具有以下结构在基板上执行了蚀刻之后，反射镜膜形成在通过蚀刻进行处
理的表面上，因而镜子不够平滑。结果，当将具有在JP-A-2005-032286或 JP-A-2005-092987中提出的结构的可变形镜用在光学拾取装置中时，会产生 不能精确地执行象差补偿的问题。
此外，在JP-A-2005-032286、 JP-A-2005-092987或JP-A-2004-347753中
提出的可变形镜具有以下结构压电膜形成在基板的较宽区域中。当压电膜 形成在这种较宽区域中时，由于均匀地形成压电膜的特征是非常困难的，因 此很有可能在压电膜的一部分中出现特征不均匀的部分。如果在压电膜中形 成特征不均匀的这个部分，则当通过驱动压电膜使镜子变形时，会出现不能 获得期望的镜子形状的情况。在这种情况下，即使当可变形镜设置在光学拾 取装置中时，也会产生不能精确地执行象差补偿的问题。

发明内容
考虑到上述问题，本发明的目的在于提供一种可变形镜，其具有以下结 构，S卩，即使在压电膜中产生具有不均匀特征的部分时，也能够降低具有不 均匀特性的部分的影响。另外，本发明的另一目的在于提供一种可变形镜， 其能够获得可实现上述目的的平坦的镜面。此外，本发明的其它目的在于提 供一种光学拾取装置，其能够通过包括可以将镜子变形成期望形状的可变形 镜来精确地执行象差补偿。
为了获得上述第一目的，根据本发明的一个方案的可变形镜包括驱动 部，其包括压电膜、以及将该压电膜夹在中间的第一电极膜和第二电极膜； 基板，其用于支撑该驱动部，并且与该第一电极膜接触；以及镜膜，其通过 该驱动部的驱动而变形，并且该可变形镜的特征在于以下结构其中，该第 一电极膜和该第二电极膜中的至少一个电极膜被分成多个分割电极；以及该 驱动部包括执行该镜膜的主要变形的部分和执行该镜膜的变形的微调的部 分。
根据本发明，在可变形镜中，通过将该第一电极膜和该第二电极膜中的 至少一个电极膜分成多个分割电极，使得包括在可变形镜中的驱动部的功能 被分成了执行该镜膜的主要变形的部分和执行该镜膜的变形的微调的部分。 由于这种设置，如果在夹在第一电极膜和第二电极膜之间的压电膜中存在压
电特征不均匀的部分，则可以通过调节施加至各分割电极的电压来获得期望 形状的镜子。
此外，在本发明中优选的是，在具有上述结构的可变形镜中，所述分割 电极包括第一分割电极和围绕该第一分割电极设置的至少一个第二分割电 极。
在这种设置下，例如通过将驱动部中包括第一分割电极的部分制成执行 镜膜的主要变形的部分，并且将驱动部中包括第二分割电极的部分制成执行 镜膜的变形的微调的部分，从而易于获得期望形状的镜子。
另外，在本发明中优选的是，在具有上述结构的可变形镜中包括偶数个 第二分割电极。
通过这种设置，例如当将驱动部中包括第二分割电极的部分制成执行镜 膜的变形的微调的部分时，易于执行用于获得期望形状的镜子的调节。
此外，在本发明中优选的是，在具有上述结构的可变形镜中，该第一分 割电极形成为椭圆形，并且所述第二分割电极围绕该第一分割电极设置。
通过这种设置，由于第一分割电极形成为椭圆形，因此当镜子相对于光 轴以倾斜的方式设置时，可以使得镜子的形状接近期望形状。此外，由于第 二分割电极围绕该第一分割电极设置，因此如果在压电膜中存在特征不均匀 的部分，则易于获得掩盖不均匀特征的期望形状的镜子。
此外，在本发明中优选的是，在具有上述结构的可变形镜中，该第二电 极膜被分成多个分割电极；在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面
上形成绝缘膜；以及该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的 表面上。
通过这种设置，由于可变形镜具有以下结构，即，镜膜形成在易于获得 平坦表面的绝缘膜上，因此可以将镜膜形成在平坦的表面上。因此，易于获 得镜子的期望形状。此外，由于可变形镜由薄膜制成，因此可以以较低的电 压驱动镜子。
另外，为了获得上述第二目的，根据本发明的另一方案的光学拾取装置 的特征在于，所述光学拾取装置装备有具有任一上述结构的可变形镜。
根据本发明，光学拾取装置可以包括具有平坦的镜面并且能够降低压电 膜中具有不均匀特性的部分的影响的可变形镜，因此，可以精确地执行象差 补偿。


图1为示出了根据实施例的光学拾取装置的光学系统的示意图。图2A为示出了当从镜面侧观察可变形镜时，包含在根据本实施例的光学拾取装置中的可变形镜的结构的示意性平面图。图2B为当沿图2A中示出的线A-A剖开时的剖面图。图2C为当从后侧观察时，在图2A中示出的可变形镜的示意性平面图。图3为示出了在根据本实施例的可变形镜中下电极膜的结构的示意性平面图。图4为示出了在根据本实施例的可变形镜中上电极膜的结构的示意性平 面图。图5为示出了传统技术中可变形镜的一种结构的视图。 图6为示出了传统技术中可变形镜的另一种结构的视图。
具体实施方式
在下文中，将参考附图描述本发明的实施例。在这点上，在此描述的实 施例仅仅是一个实例，本发明不限于在此描述的实施例。图1为示出了包括根据本实施例的可变形镜的光学拾取装置的光学系统 的示意图。在图1中，光学拾取装置1为这样的装置，即，可以通过将激光 束照射至诸如CD、 DVD、蓝光DVD (其为具有高容量的高级DVD)之类 的光学记录介质23上以及通过接收反射光而读取记录在光学记录介质23的 信号记录表面上的信息，或者可以通过将激光束照射在光学记录介质23上 以在记录表面上记录信息。光学拾取装置1装备有例如激光源2、准直透镜 3、分光镜4、四分之一波片5、可变形镜6、物镜20、聚光镜21、以及光接 收部22。激光源2为激光二极管，其发射具有指定波长的激光束。例如，当光学 拾取装置1用于CD时，使用可以发射波长为785nm的激光束的激光二极管; 当光学拾取装置1用于DVD时，使用可以发射波长为650nm的激光束的激 光二极管；并且当光学拾取装置1用于蓝光DVD时，使用可以发射波长为
405nm的激光束的激光二极管。在这点上，在本实施例中，从一个激光源2 发射的激光束的波长仅为一个类型，然而，毫无疑问也可以使用能够通过切 换而发射具有不同波长的激光束的激光源。从激光源2发射出的激光束被发 送至准直透镜3。
准直透镜3为将从激光源2发射出的激光束转化成平行光线的透镜。在 这点上，术语平行光线意味是从激光源2发射出的激光束的所有光路均基本 上平行于光轴的光。穿过准直透镜3的平行光线被发送至分光镜4。
分光镜4传递穿过准直透镜3的激光束，同时再次反射通过光记录介质 23反射的激光束以引导至光接收部22。穿过分光镜4的激光束被发送至四 分之一波片5。
四分之一波片5与分光镜4配合以起到光隔离器的作用。穿过四分之一 波片5的激光束被发送至可变形镜6。
可变形镜6的镜面例如相对于从激光源2发射出的激光束的光轴倾斜45 ° 。穿过四分之一波片5的激光束通过在可变形镜6处的反射被发送至物镜 20。通过包括在可变形镜6中的镜面的变形执行激光束的波象差的补偿。下 面将描述可变形镜6的详细结构。
物镜20将通过可变形镜6反射的激光束会聚在形成于光记录介质23中 的信息记录表面上。
光记录介质23上反射的激光束穿过物镜20，并且通过可变形镜6反射。 通过可变形镜6反射的激光束穿过四分之一波片5，并且通过分光镜4反射， 随后被发送至聚光镜21 。聚光镜21将通过光记录介质23反射的激光束会聚 至光接收部22上。
在接收激光束之后，光接收部22将光信息转换成电信号，并且将电信 号输出至例如RF放大器(未示出)等。这种电信号包含记录在记录表面中 的数据的复制信息、用于控制光学拾取装置l自身和用于物镜20的位置控 制的必需信息(伺服信息)等。
接着，将解释根据本实施例的可变形镜6的详细结构。图2A-图2C为 示出了可变形镜6的结构的视图，其中所述可变形镜6包含在根据本实施例 的光学拾取装置1中。图2A为当从镜面侧观察可变形镜6时的示意性平面 图，图2B为当沿图2A中示出的线A-A剖开时的剖面图，并且图2C为当从
后侧观察时，在图2A中示出的可变形镜6的视图。如图2A-图2C所示，根据本实施例的可变形镜6包括基板7;下电极 膜8 (第一电极膜)，其设置在基板7上；压电膜9，其设置在下电极膜8 上；上电极膜10 (第二电极膜)，其设置在压电膜9上；绝缘膜11，其设 置在上电极膜10上；以及镜膜12，其设置在绝缘膜11上。下电极膜8、压 电膜9和上电极膜10构成驱动部13。基板7执行支撑驱动部13、绝缘膜11和镜膜12的作用。在基板7中形 成腔部7a，该腔部7a的结构易于通过驱动部13的驱动使镜膜12变形。在 这点上，例如通过在厚板状的基板7的一部分上经由蚀刻处理等而形成腔部 7a。在本实施例中，对腔部7a进行处理，直到露出下电极膜8。然而，毫无 疑问也可以将腔部7a处理至使基板7保留较薄的层而不露出下电极膜8。另外，在本实施例中，腔部7a被制成具有椭圆形，然而，本发明并不 限于这种形状。在不脱离本发明的目的的情况下，可以对所述形状进行各种 变化。例如，毫无疑问，腔部7a可以被制成矩形或圆形。而且，对基板7 的形状而言，在本实施例中其为矩形，然而，本发明同样并不限于这种形状。 毫无疑问，基板7可以被制成圆形或多边形。对于基板7的材料而言，可以使用诸如玻璃、陶瓷等的绝缘材料，并且 没有特殊的限制。然而，为了获得压电膜9的更好的压电特征，优选的是， 例如使用诸如硅、氧化镁等材料制作基板7。另外，当基板7不使用绝缘材 料时，需要在基板7和下电极膜8之间形成由绝缘材料制成的绝缘层。图3为示出了在根据本实施例的可变形镜6中的下电极膜8的结构的示 意性平面图。图3示出了只有下电极膜8形成在基板7上的状态。下电极膜 8形成为椭圆形，且没有进行任何分割。另外，下电极膜8通过导线15与连 接至驱动电路(未示出)的第一电极端子14连接。在这点上，在图3中由附图标记8a指出的部分中不设置下电极膜8，这 样可以设置用于上电极膜10的导线17a。下电极膜8的形状不限于在本实施 例中描述的形状，其可以在不脱离本发明的目的的情况下进行各种变化。例 如，毫无疑问，下电极膜8可以被制成矩形。而且，下电极膜8可以具有下 电极膜8被分割的结构。上电极膜10和下电极膜8执行向夹在下电极膜8和上电极膜10之间的
压电膜9施加电压的作用。上电极膜10被分成五个分割电极10a-10e，并且 它们被设置为使椭圆形的第一分割电极10a由四个第二分割电极10b-10e围 绕，如图4所示。
形成为椭圆形的第一分割电极10a的中心被构造为与同样形成为椭圆形 的镜膜12的中心基本相同，并且第一分割电极10a的尺寸小于镜膜12的尺 寸。另外，第二分割电极10b-10e中的相对电极，即10b、 10d和10c、 10e 被设置为彼此对称。第一分割电极10a和第二分割电极10b-10e分别通过导 线17a-17e连接至与驱动电路(未示出)相连接的第二电极端子16a-16e。
通过对上电极膜10的这种分割，可以将不同的电压供应至夹在相应的 分割电极10a-10e和下电极膜8之间的压电膜9。因此，可以控制夹在相应 的分割电极10a-10e和下电极膜8之间的压电膜9的变化量和变化方向，并 且还可以使镜膜12变形成任何期望的形状。
对于制作下电极膜8和上电极膜10的材料而言，例如可以使用具有高 导电性的金属，即低电阻材料，例如Au、 Cu、 Al、 Ti、 Pt、 Ir或它们的合金 等。如果在可变形镜6的制造步骤中需要任何高温处理材料的步骤，则优选 的是利用具有较高的高温耐受性材料。对用于下电极膜8和上电极膜10的 制造方法而言，可以利用例如溅射方法、气相沉积方法等。然而，不存在对 薄膜制造的特殊限制，可以利用只要能够形成薄膜的任何制造方法。在这点 上，毫无疑问，下电极膜8和上电极膜10可以由相同的材料或不同的材料 制成。
在下电极膜8上，压电膜9形成为与下电极膜8具有相同的形状。当将 电压施加至下电极膜8和上电极膜10之间时，压电膜9响应电压的极性而 膨胀或收縮，从而，压电膜9使镜膜12变形。在这点上，如将在下文中描 述的，在本实施例中，由驱动部13中的下电极膜8、第一分割电极10a、以 及夹在下电极膜8和第一分割电极10a之间的压电膜9构成的部分与执行镜 膜12的主要变形的部分相对应。此外，由驱动部13中的下电极膜8、第二 分割电极10b-10e、以及夹在下电极膜8和第二分割电极10b-10e之间的压电 膜9构成的部分与执行镜膜12的变形的微调的部分相对应。
对制造压电膜9的材料而言，例如可以采用锆钛酸铅(Pb (ZrJV》03)。 然而，毫无疑问的是，也可以采用PZT以外的其它压电陶瓷。此外，同样毫
无疑问的是，可以釆用诸如聚偏二氟乙烯之类的压电聚合体。然而，具有高 压电常数且在施加电压时具有较大位移的压电体是更优选的。对用于压电膜9的制造方法而言，例如，可以利用溅射方法、气相沉积方法、化学气相沉积方法(CVD方法)、溶胶一凝胶方法、气浮沉积方法(AD方法)等。然而，不存在对薄膜制造的特殊限制，可以利用只要能够形成薄 膜的任何制造方法。在上电极膜10上形成绝缘膜11以覆盖上电极膜10。由于绝缘膜11的 存在，即使镜膜12由导电材料形成，也可以在不受上电极膜10形状的影响 的情况下设计镜膜12的尺寸。另外，由于镜膜12形成在绝缘膜11上，因 此即使上电极膜10如本实施例中那样分割，也能够平滑地形成镜膜12。对制作绝缘膜11的材料而言，例如使用诸如聚酰亚胺、环氧树脂之类 的树脂。对绝缘膜11的制造方法而言，例如利用这样的方法，即，涂布液 体环氧树脂，随后对液体环氧树脂进行烧制等。镜膜12执行反射从激光源2 (参见图1)发射出的激光束或者通过光记 录介质23 (参见图l)反射的激光束的作用。另外，通过压电膜9的膨胀或 收縮，镜膜12变形成期望的形状，并且镜膜12执行补偿在光学拾取装置1 (参见图1)中产生的诸如慧形象差、球面象差之类的象差的作用。在这点 上，在本实施例中，镜膜形成为椭圆形，然而，本发明并不限于这种形状。 毫无疑问，镜膜12也可以形成为矩形、圆形等。对制作镜膜12的材料而言，具有高反射度的材料是优选的，并且可以 利用Au、 Al、 Ti、 Cr等金属膜或它们的合金膜。而且，毫无疑问，镜膜12 可以通过堆叠多个膜而形成。对镜膜12的制造方法而言，例如可以利用溅 射方法、气相沉积方法等。然而，不存在对薄膜制造的特殊限制，可以利用 只要能够形成薄膜的任何制造方法。在下文中，将解释在本实施例中具有上述构造的可变形镜6的制造方法 的一个实例。首先，通过上述的溅射方法等将下电极膜8、压电膜9和上电 极膜10的薄膜依次形成在呈平板状的基板7的一侧上(第一步骤一第三步 骤)。接着，通过在上电极膜IO上涂布液体树脂形成绝缘膜11，然后烧制 该绝缘膜ll (第四步骤)。然后，通过干蚀刻方法从未形成下电极膜8至绝缘膜11的一侧对基板7
进行处理，直到露出下电极膜8 (第五步骤)。接着，通过溅射方法等在绝 缘膜11上形成镜膜12 (第六步骤)。另外，在基板7上图案化用于下电极
膜8和上电极膜10的导线(第七步骤)。在这点上，不用说，可变形镜6
的制造方法并不限于上述方法，毫无疑问可以采用其它方法来形成可变形镜6。
接着，将利用一个实例给出电压调节的解释，在本实施例中，如果可变 形镜6中存在压电膜9的特性不均匀的部分，则将所述电压施加至压电膜9, 以使镜膜12的形状变形成期望的形状。在这点上，通过利用包括根据本实 施例的可变形镜6的光学拾取装置1执行球面象差补偿的情况的实例进行解 释。
从激光源2发射出的激光束倾斜地进入包括在根据本实施例的光学拾取 装置1中的可变形镜6中，如图1所示。在这种情况下，为了利用可变形镜 6执行球面象差的补偿，不能通过简单地以球面方式使镜膜12变形来执行球 面象差的补偿。为此，优选的是，将使压电膜9变形的电极的形状制成椭圆形。
在这点上，在本实施例中作为上电极膜10的分割电极的第一分割电极 10a形成为椭圆形，并且当在第一分割电极10a和下电极膜8之间施加电压 时，镜膜12通常变形为期望的形状。然而，如果在压电膜9中存在特征不 均匀的部分，则可能会使镜膜12不能成为期望的形状。由于通常出现的情 况是压电膜9中的特征不均匀的部分仅作为微小区域产生，因此可以通过 在第一分割电极周围施加较小的力而补偿由压电膜9的不均匀特征导致的变 形的镜子的形状缺陷。
为此，本实施例具有以下结构通过围绕第一分割电极10a设置四个第 二分割电极10b-10e，并且将电压施加至任一分割电极或多个分割电极，从 而调节镜膜12中不能获得期望变形的部分的变形。在这点上，本实施例采 用四个第二分割电极，然而，第二分割电极的数量并不限于四个。但是第二 分割电极的数量优选为偶数个，因为这样易于统一地执行镜子的变形的微 调。
另外，在本实施例中，描述以下结构在夹在第一分割电极10a和下电 极膜8之间的压电膜9中存在特征不均匀的部分的情况下，利用第二分割电
极10b-10e执行镜膜12的变形的微调。然而，本发明不限于本实施例。也就 是说，例如，当利用可变形镜6执行波象差的补偿时，毫无疑问也可以采用 以下结构等在夹在任一或多个第二分割电极10b-10e与下电极膜8之间的 压电膜9中存在特征不均匀的部分的情况下，利用第一分割电极10a执行镜 膜12的变形的微调。此外，上电极膜10和下电极膜8的结构不限于本实施例中的上述结构， 在不脱离本发明的目的的情况下可以引入各种改型。即，无疑可以采用以下 结构其中第一分割电极10a形成为圆形、矩形等；并且无疑可以采用以下 结构其中第二分割电极仅由图4中示出的10b和10d形成。另夕卜，无疑可以采用以下结构其中下电极膜8和上电极膜10以与本实施例的结构相反的方式设置。而且，在本实施例中，将结构描述为根据本发明的可变形镜6包括在光 学拾取装置l中，然而，毫无疑问本发明的可变形镜6可以应用于其它光学 设备中(例如，包括在诸如数码相机、投影仪之类中的光学设备)。本发明的特征在于可变形镜包括驱动部，其包括压电膜、以及将该压 电膜夹在中间的第一电极膜和第二电极膜；基板，其用于支撑该驱动部，并 且与该第一电极膜接触；以及镜膜，其通过该驱动部的驱动而变形，并且可变形镜的特征在于以下结构该第一电极膜和该第二电极膜中的至少一个电极膜被分成多个分割电极；以及该驱动部包括执行该镜膜的主要变形的部分 和执行该镜膜的变形的微调的部分。由于这种设置，如果夹在第一电极膜和第二电极膜之间的压电膜中存在 压电特征不均匀的部分，则通过调节施加至各分割电极的电压来获得期望形 状的镜子。通过将第二电极膜分成多个分割电极，可以实现易于将镜子变形成期望 形状的结构。在上述可变形镜中，绝缘膜形成在第二电极膜的、与该压电膜 相对一侧的表面上，并且镜膜形成在绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的 表面上。在包括根据本发明的、作为象差补偿镜的可变形镜的光学拾取装置中， 由于象差补偿镜的镜面易于变形成期望的形状，因此可以执行精确的象差补偿。
权利要求
1.一种可变形镜，包括驱动部，其包括压电膜、以及将该压电膜夹在中间的第一电极膜和第二电极膜；基板，其用于支撑该驱动部，并且与该第一电极膜接触；以及镜膜，其通过该驱动部的驱动而变形；其中，该第一电极膜和该第二电极膜中的至少一个电极膜被分成多个分割电极；以及该驱动部包括执行该镜膜的主要变形的部分和执行该镜膜的变形的微调的部分。
2. 根据权利要求1所述的可变形镜，其中，所述多个分割电极包括第 一分割电极和围绕该第一分割电极设置的至少一个第二分割电极。
3. 根据权利要求1所述的可变形镜，其中， 该第二电极膜被分成所述多个分割电极；在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面上形成绝缘膜；以及 该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的表面上。
4. 根据权利要求2所述的可变形镜，其中，包括偶数个所述第二分割 电极。
5. 根据权利要求2所述的可变形镜，其中，该第一分割电极形成为椭 圆形，并且所述第二分割电极围绕该第一分割电极设置。
6. 根据权利要求2所述的可变形镜，其中， 该第二电极膜被分成所述多个分割电极；在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面上形成绝缘膜；以及 该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的表面上。
7. 根据权利要求4所述的可变形镜，其中，该第一分割电极形成为椭 圆形，并且所述第二分割电极围绕该第一分割电极设置。
8. 根据权利要求4所述的可变形镜，其中， 该第二电极膜被分成所述多个分割电极；在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面上形成绝缘膜；以及该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的表面上。
9. 根据权利要求5所述的可变形镜，其中，该第二电极膜被分成所述多个分割电极；在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面上形成绝缘膜；以及 该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的表面上。
10. 根据权利要求7所述的可变形镜，其中，该第二电极膜被分成所述多个分割电极；在该第二电极膜的、与该压电膜相对一侧的表面上形成绝缘膜；以及 该镜膜形成在该绝缘膜的、与该第二电极膜相对一侧的表面上。
11. 一种装备有根据权利要求1所述的可变形镜的光学拾取装置。
12. —种装备有根据权利要求2所述的可变形镜的光学拾取装置。
13. —种装备有根据权利要求3所述的可变形镜的光学拾取装置。
14. 一种装备有根据权利要求4所述的可变形镜的光学拾取装置。
15. —种装备有根据权利要求5所述的可变形镜的光学拾取装置。
16. —种装备有根据权利要求6所述的可变形镜的光学拾取装置。
17. —种装备有根据权利要求7所述的可变形镜的光学拾取装置。
18. —种装备有根据权利要求8所述的可变形镜的光学拾取装置。
19. 一种装备有根据权利要求9所述的可变形镜的光学拾取装置。
20. —种装备有根据权利要求IO所述的可变形镜的光学拾取装置。
全文摘要
一种可变形镜，其包括基板；下电极膜，其设置在基板上；压电膜，其设置在下电极膜上；上电极膜，其设置在压电膜上；绝缘膜，其设置在上电极膜上；以及镜膜，其设置在绝缘膜上。下电极膜、压电膜和上电极膜作为驱动部以使镜膜变形。上电极膜被分成多个分割电极，并且驱动部包括执行镜膜的主要变形的部分和执行镜膜的变形的微调的部分。
文档编号G11B7/135GK101162593SQ20071018014
公开日2008年4月16日 申请日期2007年10月10日 优先权日2006年10月10日
发明者丁子英树, 前田重雄, 小寺秀俊, 神野伊策 申请人:船井电机株式会社