本实用新型涉及半导体集成电路制造领域，且特别涉及一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机。
背景技术：
光刻机系统中的磁带机主要用于机台重要数据的大量复制和备份，对设备的安装、调试、使用和维护管理起着重要作用，而且操作使用简便易行。但一旦光刻机使用年久，磁带机常会故障和损坏，而备件经常停产和缺货，维修的零件也稀缺，价高且供货周期很长。因此使用现有兼容替代备件就是一个必须课题。
技术实现要素：
本实用新型提出一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，使得特种光刻机系统或其他DEC小型机中所需的磁带机可以兼容使用。
为了达到上述目的，本实用新型提出一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，包括：
外置磁带机；
SCSI接口、68针转50针接头和50针SCSI数据线，连接于所述外置磁带机；
开关模块，设置于所述外置磁带机上。
进一步的，所述外置磁带机兼容DDS2，DDS3和DDS4磁带。
进一步的，所述外置磁带机为兼容型DDS4外置磁带机。
进一步的，所述50针SCSI数据线连接于光刻机主电脑。
进一步的，所述开关模块具有多个开关，所述多个开关通过设置兼容多型号光刻机主电脑。
本实用新型提出的应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，采用外置磁带机并通过转接头连接于光刻机主电脑，可兼容DDS2，DDS3和DDS4磁带，同时在外置磁带机上设置开关模块，通过不同的开关设置兼容多型号光刻机主电脑，使得特种光刻机系统或其他DEC小型机中所需的磁带机可以兼容使用。
附图说明
图1所示为本实用新型较佳实施例的兼容可替代型磁带机结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图给出本实用新型的具体实施方式，但本实用新型不限于以下的实施方式。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
请参考图1，图1所示为本实用新型较佳实施例的兼容可替代型磁带机结构示意图。本实用新型提出一种应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，包括：外置磁带机100；SCSI接口210、68针转50针接头220和50针SCSI数据线230，连接于所述外置磁带机100；开关模块300，设置于所述外置磁带机100上。
根据本实用新型较佳实施例，所述外置磁带机100兼容DDS2，DDS3和DDS4磁带。所述外置磁带机100为兼容型DDS4外置磁带机。选用HP SureStore DAT 40e C5687C外置磁带机更换原机Compaq DEC TLZ09-VA内置磁带机。所述50针SCSI数据线230连接于光刻机主电脑。
所述开关模块300具有多个开关，所述多个开关通过设置兼容多型号光刻机主电脑，采用新的开关设置还可以提升磁带机存储性能。
综上所述，本实用新型提出的应用于光刻机系统中的兼容可替代型磁带机，采用外置磁带机并通过转接头连接于光刻机主电脑，可兼容DDS2，DDS3和DDS4磁带，同时在外置磁带机上设置开关模块，通过不同的开关设置兼容多型号光刻机主电脑，使得特种光刻机系统或其他DEC小型机中所需的磁带机可以兼容使用。
虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。