专利名称：前缘滑块微致动器的制作方法
技术领域：
本发明涉及将转换头精确定位在磁盘驱动器旋转盘片的选定磁道上的微致动器，特别涉及在基片水平面上利用普通薄膜技术制造的压电微致动器，该技术用来在滑块上制造转换头。
背景技术：
随着磁盘上同心数据磁道密度的日益提高，转换头定位精度也相应提高。普通的磁盘驱动器在对转换头径向定位时，采用大刻度电机(例如音频线圈电机)操纵致动器臂使转换头定位在致动器臂端部的平衡环上。大刻度电机对于高磁道密度磁盘缺乏足够的精度。因此需要高分辨率转换头定位机构适应密度更高的磁道。
一种有希望的高分辨率转换头定位设计是除普通低分辨率致动器以外再采用高分辨率微致动器，从而通过双级致动实现转换头定位。实现高分辨率转换头定位有各种微致动器设计，包括压电、电磁、静电、电容、流体和热致动器。也提出了各种微致动器位置的方案，例如在1997年5月7日由Z.Boutaghou和L.Berg提交的美国专利申请No.08/852,087内揭示了一种位于平衡环与滑块之间接口处的微致动器，该申请作为参考文献包含在本发明中。但是先前的许多微致动器设计都针对独立于滑块的微致动器，它们必须附着在滑块上。因此微致动器无法在制造滑块和转换头的薄膜基片工艺期间同时制造，并且需要用另外的工具和组装步骤将微致动器附着在滑块上。因此制造工艺的复杂性增加并且需要与现有制造技术分离的其它制造步骤，从而不可避免地使微致动器成本高昂并且生产效率不高。
因此需要一种微致动器，它提供了高分辨率转换头定位但是制造效率高并且成本不高。特别是需要一种微致动器，它能够利用现有的基片处理技术在滑块上制造。
发明内容
本发明是一种用于磁盘驱动器的微致动器，它具有支承滑块的致动器臂，滑块将转换头载带至由多各同心磁道组成的磁盘的选定磁道附近。微致动器包括位于滑块前缘面上的空间区域。微致动器元件跨越空间区域并根据电压情况选择是膨胀还是收缩，从而改变滑块和转换头的位置。在一个实施例中，微致动器包含跨越空间区域的横梁和由横梁支承的压电元件。在另一实施例中，微致动器包含位于滑块前缘面上的第二空间区域和跨越第二空间区域的第二横梁。第二微致动器元件由第二横梁支承并且根据电压情况选择膨胀或收缩，从而使第二横梁与第一横梁弯曲互补以改变滑块和转换头的位置。
在另一实施例中，微致动器是位于横梁上的伸长状压电元件，极化取向于第一方向。伸长状的压电元件包括顶面和底面并且在顶面上印制有第一和第二导体。伸长状压电元件根据第一与第二导体之间的电压差选择膨胀还是收缩，从而反向弯曲横梁改变滑块和转换头的位置。
在另一实施例中，横梁为约束在第一端部的悬臂横梁，微致动器为悬臂横梁上的压电元件，极化取向于第一方向并且约束在悬臂横梁的第一端部。压电元件包括顶面和底面并且在顶面上选择印制有第一和第二导体而在底面上选择印制第三和第四导体。压电元件根据第一与第二导体之间的电压差和第四与第四导体之间的电压差选择膨胀还是收缩，从而弯曲悬臂横梁改变滑块和转换头的位置。
本发明的另一方面是一种在滑块前缘面上形成微致动器的方法，滑块将转换头精确地载带至由多各同心磁道组成的磁盘的选定磁道上。滑块前缘面上形成有空间区域，并且形成跨越第一空间区域的横梁。采用具有顶面和底面的压电材料在横梁上形成微致动器元件。微致动器元件极化取向于第一方向，从而使压电材料根据根据顶面与底面的电压差选择是膨胀还是收缩，从而弯曲横梁以改变滑块和转换头的位置。在一个实施例中，滑块前缘面上形成有第二空间区域，并且形成跨越第二空间区域的第二横梁。采用具有顶面和底面的压电材料在第二横梁上形成第二微致动器元件。第二微致动器元件极化取向于第一方向，从而使压电材料根据顶面与底面的电压差选择是膨胀还是收缩，从而弯曲第二横梁以改变滑块和转换头的位置。
附图的简要说明
图1为在磁盘磁道上定位滑块的磁盘驱动致动系统顶视图。
图2为分解视图，它示出了磁盘驱动系统中构成本发明滑块前缘面处压电微致动器的部分。
图3-8为按照本发明第一实施例的处于制造阶段的压电微致动器的视图，它形成于滑块前缘面上。
图9为按照本发明第一实施例的压电微致动器成品，它形成于滑块前缘面上。
图10为按照本发明第一实施例的处于中间制造阶段的压电微致动器的视图，它利用了极化导体。
图11和12为按照本发明第二实施例的处于制造阶段的压电微致动器的视图。
图13为因图11和12的微致动器引起的弯曲结构的视图。
图14和15为按照本发明第三实施例的压电微致动器电极的视图。
图16和17为按照本发明第四实施例的压电微致动器电极的视图。
图18和19为按照本发明第五实施例的悬臂压电微致动器电极的视图。
图20为按照本发明第五实施例的悬臂压电微致动器的视图。
实施发明的较佳方式图1为磁盘驱动致动系统10的俯视图，该系统用于将滑块24定位在磁盘30的磁道34上。致动系统10包括使致动器臂16围绕轴14旋转的音频线圈电极(VCM)12。头悬架18与头安装块20上的致动器臂16相连。弯曲件22与头悬架18相连的一端并运载滑块24。滑块24运载用于在磁盘30同心或螺旋磁道24上读取和/或写入数据的转换头(图1未画出)。磁盘30围绕轴32旋转，从而使得气流将滑块24抬离磁盘30表面一小段距离。
VCM12选择性地使致动器臂16围绕轴14旋转，从而使滑块24在磁盘30的磁道34之间移动。但是对于高密度磁盘驱动系统，VCM12使滑块24的转换头定位在磁盘30选定磁道34上的分辨率和频率响应不够。因此需要高分辨率和高频率响应的致动装置。
图2为分解视图，它示出了磁盘驱动系统中构成本发明前缘滑块微致动器系统的部分。磁盘驱动系统包括安装在头悬臂负重臂18远端下侧的平衡环或弯曲件22(图1)。弯曲件22包括臂22a和22b，它们之间形成开孔44以向平衡环或弯曲件22提供弹性。臂22a和22b的远端经十字臂45连接。中央凸出部48从十字臂45延伸入平面内的开孔44，该平面平行于弯曲臂22a和22b限定的平面。凸起部48从十字臂45悬下以呈现一定的柔性，并且比现有技术的平衡环更长，延伸到了滑块24的前缘面。凸出部48包含开孔 52，致动器臂16上的负重臂18(图1)通过其将预载力施加在滑块24上。凸出部48超出前缘面的部分呈直角向下弯曲入弯曲的翼片表面50，该表面通常平行于滑块24的前缘面。滑块24刚性地附着在柔性翼片表面50，比较好的是在滑块24的前缘面上形成微致动器54。可以在凸出部48与滑块24之间选择提供剪切层49以最大限度减少滑块24的磨损。在由J.Liu，Z，Boutaghou和L.Berg于1997年5月7日提交的美国专利申请No.08/852,225中揭示了弯曲件22的结构和部件，该申请作为参考文献包含在本文中。
微致动器54形成于滑块24的前缘面上，并且与翼片表面50协同工作以扭曲旋转滑块24从而改变滑块24边缘上转换头56的位置。在有些实施例中，第二微致动器形成于滑块24前缘面相对一侧附近，与微致动器54协同扭曲旋转滑块24。以下借助图3-20描述微致动器54和其它微致动器的操作。除了VCM12以外，还采用微致动器54精确定位滑块24。先操纵VCM12来移动致动器臂16和载重臂18以将支撑面滑块24上的转换头56粗略地定位在面对转换器磁盘30表面磁道34的各个位置上。
图3-8为按照本发明第一实施例的处于制造阶段的滑块的视图。如图3所示，小丘62、64和66形成于滑块24前缘面60上。小丘62、64和66比较好的是由绝缘材料构成并且与滑块衬底和小丘上形成的陶瓷部件热匹配。小丘62、64和66之间的区域63和65用易于去除的材料填充以形成暴露的顶面与小丘62、64和66的暴露顶面共面的结构。如图4所示，由例如硅、氧化铝和氧化锆组成的陶瓷部件70印制在由小丘62、64和66以及区域63和65共同形成的表面上。陶瓷部件70跨越滑块24前缘面60的整个宽度，并且包括跨越小丘62与64之间区域63的横梁72和跨越小丘66与64之间区域65的横梁74。部件74印制之后，去除结构横梁72、74下面区域63和65内的材料，从而使横梁72、74分别跨越小丘62与64以及小丘64与66之间的空间。例如，区域63与65内的材料可以是通过化学腐蚀去除的金属或者被溶解的聚合物或盐。部件70将是微致动器的载体，用来控制滑块24的定位。其结构横梁72和74在微致动器的控制朝向或反向滑块24弯曲。
如图5所示，在部件70上形成底部导电体82和84。导电体比较好的是延伸至滑块24侧面附近以连接微致动器横梁72和74形成的激活区域外部的驱动电子线路(未画出)。如图6所示，压电元件92和94分别印制在底部导电体82和84上，直接位于相应横梁72和74之上。压电元件92和94比较好的是只印制在横梁72和74之上以便于弯曲并减少微致动器材料的应力。
如图7所示，导电经由结构102和104印制在靠近滑块中央的底部导体82和84上，位于激活微致动器横梁72和74之间。由诸如环氧树脂材料构成的绝缘平面层105(图9)覆盖在结构上，形成包含压电元件92和94的顶面、经由结构102和104以及共面层105的平面。横梁72和74下面的空间比较好的是被遮盖掉以防材料淀积其中。在涂覆绝缘平面层105之后，如图8所示印制顶部导体112和114，它将经由结构102和104与压电元件92和94的顶面接触。图8所示的结构在功能上是一个用于滑块24的完整微致动器结构。
图9为形成于滑块24前缘面60上的微致动器层和材料的剖面图。为了在磁盘驱动系统中采用滑块24，在由环氧树脂材料构成的微致动器上提供了封装层120，并且粘结至弯曲翼片表面50(图2)。因此微致动器响应弯曲翼片表面50以使滑块24的转换头56定位在旋转磁盘的同心磁道上。
在操作中，第一电压施加在底部导体82上，而第二电压施加在底部导体84上。经由结构102将第一电压连接至顶部导体114，而经由结构104将第二电压连接至导体112。因此压电元件92和94上的电压差相等但符号相反。其中一个压电元件92和94响应电压差纵向膨胀而另一个纵向收缩。在图9所示的实例中，压电元件92沿箭头122方向膨胀而压电元件94沿箭头124方向收缩。
压电元件92的膨胀使得部件70的结构横梁72沿箭头126方向向上弯曲(远离滑块24)。相反，压电元件94的收缩使得部件70的结构横梁74沿箭头128方向向下弯曲(朝向滑块24)。这些弯曲动作使得滑块24旋转至虚线所示位置24’。位于滑块24边缘的转换头56位移至虚线所示的位置56’，使得转换头的总体位移如箭头129所示。因此施加在底部导体82和84的电压使得滑块24边缘上的转换头56产生可控位移。
图10为处于中间制造阶段的压电微致动器的视图，它位于滑块24的前缘面60上，用于极化压电元件92和94。压电元件92和94需要在同一方向极化，从而使得其上相反的电压一个使压电元件膨胀另一个使其收缩。如果极化取向电场施加在图8和9所示的结构中，则压电元件92和94将沿相反的方向，并且对于施加的相反电压沿相同方向反应。因此中间处理结构需要使压电元件92和94沿同一方向而又不使整个基片处于极高的电场下。
图10的结构示出了一种极化压电元件92和94的简单方法。压电元件92和94所需的极化取向通过临时在压电元件上形成极化导体132实现。两个底部导体82和84(图8和9)耦合至极化电路一侧(未画出)的基准电压，并且将临时的顶部导体132设定至极化电路另一侧上大电压。因此压电元件92和94极化于同一方向。在完成极化之后，去除临时的顶部导体132。
对本领域内技术人员显而易见的是，还有其它方法使压电元件92和94的极化取向一致。本发明的方案提供了足够的灵活性从而使得可以采用几种标准的薄膜光刻技术构造和极化微致动器层。所选的用于构成层的材料必须适合于所用工艺。例如，如果压电元件92和94必须在极高温度下处理，则加热过程中的层必须耐高温。在这种情况下，用于底部导体82和84的材料可以是铂。材料和工艺可以根据设计方案选择，这对本发明的应用并无限定作用。
图11和12为按照本发明第二实施例的压电微致动器的视图。伸长状压电元件142形成于部件70之上，几乎跨越整个滑块24的前缘面60，它包含部件70的横梁72和74。如图12所示，在压电元件142顶面上印制有一对导体，它们分别终止于导电焊盘144和146。在空间区域63和65上分别形成区域143和145并包括沿区域148侧向延伸和沿区域149纵向延伸的交错电极脚。与焊盘144相连的脚与连接焊盘146的脚交错以构成交错区域148和149，其延伸区域147和147’将区域143和145的脚与各自的焊盘144和146相连。与实施例中所用的那样，沿压电元件142长度最长的方向称为纵向，沿长度最短的方向称为厚度方向，而中等长度的方向称为横向。对于本领域内技术人员显而易见的是，电极脚和焊盘的方向可以改动，但是实质不变。
首先在焊盘144与146之间施加大的电压差从而使压电元件142极化。在压电元件142这样极化后，施加在焊盘144与146之间的电压可以控制压电元件142的受力和弯曲。具体而言，电极脚的长度沿区域148横向区域对齐，电压差产生的电场包含主要的纵向分量。这也是厚度方向分量，但是该分量对压电元件142的弯曲没有明显贡献。当电场包含主要的纵向分量时，施加在压电元件142上的应力在印制导体附近也具有主要的正纵向分量。因此靠近压电元件142顶部的区域148(在那里电极脚横向对齐)将纵向拉伸并经受横向收缩力。相反，在电极脚纵向对齐的区域149，电场基本是横向的。其结果是正的横向应力和负的纵向应力，从而使得压电元件142在印制导体附近纵向收缩而横向伸展。
由于区域148和149内印制导电脚和电场的布局，由部件70(包括横梁72和74)、压电元件142和印制导体构成的夹层结构响应施加在具有与初始极化电压同一极性的焊盘144和146的电压弯曲。图13所示的弯曲形状例如压电元件142包含位于137的偏角和位于139的凸缘。当施加在焊盘144和146上的电压极性相反时，夹层结构沿相反方向弯曲(偏角137变为凸缘而凸缘139变为偏角)。因此可以获得与图3-9所示相同的变形结构，但是在滑块24的前缘面60上形成的材料层更少。
在另一实施例中，不包括部件70，但是压电元件142本身构成横梁72和74的弯曲结构。该实施例通过减少一层进一步减少了形成微致动器的工艺步骤。微致动器的工作方式与上述相同，压电元件142构成跨越微致动器空间区域63和65的横梁72和74的部分弯曲以实现所需的机械运动从而改变滑块24的位置。
图14为按照本发明第三实施例的包含形成于顶面和底面上导体图案的伸长压电元件142的顶面视图，而图15为底面视图。位于压电元件142顶面上的导电焊盘154和156与纵向延伸的交错脚153相连接。位于压电元件142底面上的导电焊盘158和159与沿纵向延伸的交错脚155a和155b连接。电压差施加在焊盘154与156之间和焊盘158与159之间。在压电元件142中央，脚153的长度沿纵向对齐，压电元件142顶面附近的电场基本上为横向，从而导致顶面附近的压电元件142沿横向伸展而沿纵向收缩。在压电元件142底面靠近压电元件142中央处，脚155a和155b的长度沿纵向对齐，有一个横向电场导致底面附近压电元件142横向伸展而纵向收缩。因此压电元件142如图13所示呈弯曲状，如上所述，使施加在焊盘154、156、158和159的电压极性相反可使得弯曲方向相反。
图16为按照本发明第四实施例的包含形成于顶面和底面的另一种导体图案的伸长状压电元件142的顶面视图，图17为底面视图。位于压电元件142顶面上的导电焊盘164和166与沿横向延伸的脚163a和163b连接。位于压电元件142底面上的导电焊盘168和169与沿横向延伸的脚165连接。电压差施加在焊盘164与166之间和焊盘168与169之间。在压电元件142中央，脚165的长度沿横向对齐，压电元件142底面附近的电场基本上为纵向，从而导致底面附近的压电元件142沿纵向伸展而沿横向收缩。在压电元件142顶面靠近压电元件142中央处，脚163a和163b的长度沿横向对齐，纵向电场导致顶面附近压电元件纵向伸展而横向收缩。因此压电元件142如图13所示呈弯曲状，如上所述，使施加在焊盘164、166、168和169的电压极性相反可使得弯曲方向相反。
图18为按照本发明第五实施例的用作悬臂压电横梁的压电元件172的顶面视图，图19为底面视图。位于压电元件172顶面上的导电焊盘174和176与沿横向延伸的脚171连接。位于压电元件172底面上的导电焊盘178和179与沿纵向延伸的脚173连接。压电元件172钳制或束缚在远心端175，并且在相对的近邻端可以自由运动。在压电元件172顶面，脚171的长度沿横向对齐，压电元件172顶面附近的电场为纵向(在焊盘174与176之间施加电压差)，从而导致压电元件172沿纵向膨胀。在压电元件172底面，脚173的长度沿纵向对齐，压电元件172底面附近的电场为横向(在焊盘178与179之间施加电压差)，从而导致压电元件172沿纵向收缩。电场加上压电元件172的变形使得压电横梁向下弯曲。相反的电压极性施加在焊盘174、176、178和179上导致相反的电场并且使压电元件向上弯曲。
图20为滑块24前缘面60上图18和19所示悬臂压电横梁172a和172b的视图。在滑块24的前缘面60上形成绝缘小丘62、64和66以及陶瓷部件182和184，部件182和184跨越小丘62、64和66之间的空间区域63和65。压电横梁172a和172b形成于部件182和184的跨距。在这种结构下，压电横梁172b向上弯曲而压电横梁172a向下弯曲使得滑块64与图9所示的方式旋转。
对于本领域内技术人员来说作出各种修改都是显而易见的。例如在滑块24上只有一个致动器单元，但是仍然能实现滑块24的旋转和转换头56的选择性位移。图11-20内导体图案的改动也可以改变利用微致动器的压电元件的弯曲结构。导体可以印制在本发明实施例的压电元件一面或两面。在一些实施例中，被去除的平面材料可以是无需去除的机械顺应性材料。
本发明在磁盘驱动器的滑块前缘面上提供了高效微致动器，它能够转动滑块以选择性位移滑块载带的转换头。由此通过简单的结构(采用制造滑块和转换头相同的高产量制造工艺)实现的高分辨率的转换头定位。
以上借助实施例描述了本发明，但是本发明的精神和范围由后面所附权利要求限定。
权利要求
1.一种磁盘驱动器，其特征在于包含致动器，致动器具有支承滑块的致动器臂，滑块将转换头载带至由多各同心磁道组成的磁盘的选定磁道附近；位于滑块前缘面上的微致动器，用来将转换头精确定位在选定磁道上，所述微致动器包括位于滑块前缘面上的空间区域；以及伸长状微致动器元件，它跨越空间区域并根据电压情况选择是膨胀还是收缩，从而改变滑块和转换头的位置。
2.如权利要求1所述的磁盘驱动器，其特征在于所述微致动器元件包含跨越空间区域的横梁；以及由横梁支承的压电元件，它根据电压情况选择是膨胀还是收缩，从而改变滑块和转换头的位置。
3.如权利要求2所述的磁盘驱动器，其特征在于微致动器元件进一步包含位于横梁上的底面导体；位于微致动器元件上的顶面导体；以及第一装置，用于将第一电压施加在底面导体上而将第二电压施加在顶面导体上，从而使得第一电压施加在压电元件底面而第二电压施加在压电元件顶面。
4.如权利要求1所述的磁盘驱动器，其特征在于微致动器进一步包含位于滑块前缘面上的第二空间区域；以及跨越第二空间区域的第二微致动器元件，它根据电压情况选择膨胀或收缩，从而与第一微致动器元件的弯曲互补以改变滑块和转换头的位置。
5.如权利要求4所述的磁盘驱动器，其特征在于第一和第二微致动器元件包含跨越第一空间区域和第二空间区域的横梁；以及支承在横梁上的压电元件，所述压电元件包括分别靠近第一和第二空间区域的第一和第二部分，所述第一和第二部分根据施加的电压选择是膨胀还是收缩并弯曲横梁以改变滑块和转换头的位置。
6.如权利要求1所述的磁盘驱动器，其特征在于微致动器进一步包含位于滑块前缘面上的第二空间区域；以及微致动器元件是跨越第一和第二空间区域的伸长状压电元件，极化取向于第一方向，包括顶面和底面并且在顶面上印制有第一和第二导体，所述伸长状压电元件根据第一与第二导体之间的电压差选择膨胀还是收缩，从而弯曲以改变滑块和转换头的位置。
7.如权利要求6所述的磁盘驱动器，其特征在于伸长状压电元件进一步包含选择性地印制在底面上的第三和第四导体，所述伸长状压电元件根据第三与第四导体之间的电压差选择膨胀还是收缩，从而弯曲以改变滑块和转换头的位置。
8.如权利要求2所述的磁盘驱动器，其特征在于横梁为约束在第一端部的悬臂横梁并且压电元件位于悬臂横梁上，极化取向于第一方向并且约束在悬臂横梁的第一端部，所述压电元件包括顶面和底面并且在顶面上选择印制有第一和第二导体而在底面上选择印制第三和第四导体，所述压电元件根据第一与第二导体之间的电压差和第四与第四导体之间的电压差选择膨胀还是收缩，从而弯曲悬臂横梁以改变滑块和转换头的位置。
9.如权利要求8所述的磁盘驱动器，其特征在于微致动器元件进一步包含位于滑块前缘面上的第二空间区域；跨越第二空间区域并约束在第二端部的第二悬臂横梁；以及位于第二悬臂横梁上的第二压电元件，它极化取向于第一方向并且约束在第二悬臂横梁的第二端部，所述第二压电元件包括顶面和底面并且在顶面上选择印制有第五和第六导体而在底面上选择印制第七和第八导体，所述第二压电元件根据第五与第六导体之间的电压差和第七与第八导体之间的电压差选择膨胀还是收缩，从而弯曲悬臂横梁以改变滑块和转换头的位置。
10.如权利要求1所述的磁盘驱动器，其特征在于微致动器在滑块前缘面上包括第一和第二小丘，微致动器元件位于小丘上并且跨越小丘之间和微致动器元件与滑块前缘面之间的空间区域。
11.一种在滑块前缘面上形成微致动器的方法，滑块将转换头精确地载带至由多各同心磁道组成的磁盘的选定磁道上，所述方法的特征在于在滑块前缘面上形成空间区域；形成跨越空间区域的微致动器元件，它采用具有顶面和底面的压电材料；以及使微致动器元件极化取向于第一方向，从而使压电材料根据根据顶面与底面的电压差选择是膨胀还是收缩，从而弯曲横梁以改变滑块和转换头的位置，
12.如权利要求11所述的方法，其特征在于形成微致动器的步骤进一步包含形成跨越空间区域的横梁；在横梁上形成底面导体；在底面导体上形成压电元件；以及在压电元件上形成顶面导体。
13.如权利要求11所述的方法，其特征在于进一步包含在滑块前缘面上形成第二空间区域；在第二横梁上形成第二微致动器元件，它采用具有顶面和底面的压电材料；以及使第二微致动器元件极化取向于第一方向，从而使第二压电元件根据顶面与底面的电压差选择是膨胀还是收缩，从而弯曲第二横梁使其与第二横梁的弯曲互补以改变滑块和转换头的位置。
14.如权利要求13所述的方法，其特征在于进一步包含形成分别跨越第一和第二空间区域的第一和第二横梁，并在第一和第二横梁上分别形成第一和第二底面导体，其中使第一和第二微致动器元件极化取向的步骤包括在第一和第二微致动器元件上放置极化取向导体；将基准电压施加在第一和第二底面导体上；将极化取向电压施加在极化取向导体上以使第一和第二微致动器元件沿第一方向；以及去除极化取向导体。
全文摘要
一种磁盘驱动器(10),包含支承滑块(24)的致动器臂(16),滑块(24)将转换头(56)载带至由多各同心磁道(34)组成的磁盘(30)的选定磁道附近,磁盘驱动器还包括位于滑块(24)前缘面(60)上的微致动器(54),用来将转换头(56)精确定位在选定磁道(34)上,所述微致动器(54)包括:位于滑块(24)前缘面(60)上的空间区域(63,65)。微致动器元件(72,74,92,94,142,172)跨越空间区域(63,65)并根据电压情况选择是膨胀还是收缩,从而改变滑块(24)和转换头(56)的位置。
文档编号G11B21/08GK1240528SQ9718030
公开日2000年1月5日 申请日期1997年10月30日 优先权日1996年12月4日
发明者L·J·伯格, Z·E·波塔侯 申请人:西加特技术有限公司