专利名称：射频微机械系统移相器的制作方法
技术领域：
本实用新型是关于相控阵雷达天线波束控制用的移相器，具体地说是一种射频微机械系统移相器。
本实用新型技术解决方案本实用新型采用RF MEMS开关线结构实现移相，即在每一位移相信号输入输出电路中，接入两组RF MEMS开关，每组由两只RF MEMS开关组成；两组开关分别连接在两条电长度不相等的传输线支路中。
本实用新型的优点RF MEMS移相器与传统的PIN二极管或FET制作的移相器相比有插入损耗小、功耗低，无常规的谐波失真，以及成本低等优点，与国外现行的RF MEMS移相器设计相比有体积小，相移精度高，高可靠性等优点。
图1是RF MEMS移相器开关线电路原理图。
权利要求1.一种射频微机械系统移相器，其特征是在每一位移相信号输入输出电路中，接入两组RF MEMS开关，每组由两只RF MEMS开关组成；两组开关分别连接在两条电长度不相等的传输线支路中。
2.根据权利要求1所述的射频微机械系统移相器，其特征是支路1由RF MEMS K1、传输线L2、RF MEMS K2级联组成。
3.根据权利要求1所述的射频微机械系统移相器，其特征是支路2由RF MEMS K3、传输线L1、RF MEMS K4级联组成。
专利摘要本实用新型采用RF MEMS开关线结构实现移相，即在每一位移相信号输入输出电路中，接入两组RF MEMS开关，每组由两只RF MEMS开关组成；两组开关分别连接在两条电长度不相等的传输线支路中。本实用新型具有体积小，相移精度高，高可靠性等优点。
文档编号H01P1/18GK2562497SQ0226374
公开日2003年7月23日 申请日期2002年8月15日 优先权日2002年8月15日
发明者朱健 申请人:信息产业部电子第五十五研究所